Ο εξοπλισμός αυτός επιτρέπει τον ακριβή αραίωση εύθραυστων υλικών ημιαγωγών, όπως πυριτίου (Si), καρβιδίου πυριτίου (SiC), αρσενικού γαλλίου (GaAs) και υποστρώματος ζαφείριου.που επιτυγχάνει ακρίβεια ελέγχου πάχους ±1 μm και συνολική διακύμανση πάχους (TTV) ≤2 μm για την κάλυψη των αυστηρών απαιτήσεων της προηγμένης συσκευασίας και της κατασκευής συσκευών ισχύος.