Οριζόντιο κουτί μεταφοράς κυψελών 8" 12" ασφαλής μεταφορέας RoHS

Οριζόντιος Φορέας Δίσκων – Διαχείριση Ακρίβειας για την Κατασκευή Ημιαγωγών

 
Ο Οριζόντιος Φορέας Δίσκων αντιπροσωπεύει μια κρίσιμη καινοτομία στην κατασκευή ημιαγωγών, σχεδιασμένη για να μεταφέρει και να αποθηκεύει με ασφάλεια ευαίσθητους δίσκους (150mm έως 450mm) κατά τη διάρκεια των διαδικασιών κατασκευής. Σχεδιασμένο για συμβατότητα με καθαρό δωμάτιο και σταθερότητα διεργασίας, αυτοί οι φορείς χρησιμοποιούν προηγμένα υλικά και μηχανική ακριβείας για την ελαχιστοποίηση της παραγωγής σωματιδίων, μεγιστοποιώντας παράλληλα την απόδοση των δίσκων σε εξοπλισμό εναπόθεσης, χάραξης και επιθεώρησης.
 
Σε αντίθεση με τους παραδοσιακούς κάθετους φορείς, τα οριζόντια σχέδια παρέχουν:
 

• Σχεδιασμός Εσωτερικού Δακτυλίου Άνω & Κάτω Κάλυψης – Ελαχιστοποιεί την πλευρική κίνηση του δίσκου, ενώ αποτρέπει την επαφή με τις άκρες, εξασφαλίζοντας χειρισμό χωρίς γρατσουνιές.

• Ενισχυμένος Εσωτερικός Δακτύλιος με Λαβές Δακτύλων – Ενισχύει την αντοχή σε κρούσεις και παρέχει συμβατότητα με διεπαφές αυτοματοποιημένου εξοπλισμού.

• Σύστημα Κλειδώματος 4 Σημείων & Εξωτερικός Δακτύλιος Ανθεκτικός σε Κρούσεις – Προστατεύει τους δίσκους κατά τη μεταφορά με δομική ανθεκτικότητα.

• Χαραγμένα Γράμματα στην Επιφάνεια – Αποτρέπει το σκίσιμο των σακουλών συσκευασίας HDPE κατά τη διάρκεια της εφοδιαστικής αλυσίδας.

Βασικά Χαρακτηριστικά του Οριζόντιου Κουτιού Φορέα Δίσκων

1. Σύστημα Σταθεροποίησης Δίσκων Ακρίβειας

Τεχνολογία Εσωτερικού Δακτυλίου Διπλής Κάλυψης:

• Άνω δακτύλιος: Ακριβείας μηχανουργημένο κράμα αλουμινίου με κεραμική επίστρωση PVD

  • Σύστημα επαφής δίσκου 12 σημείων με ανοχή 0,05mm

  • Ενσωματωμένοι μετρητές καταπόνησης για παρακολούθηση της καταπόνησης του δίσκου σε πραγματικό χρόνο (προαιρετικό)

• Κάτω δακτύλιος: Σύνθετο υλικό ενισχυμένο με ανθρακονήματα

  • Δάκτυλοι απόσβεσης 3 ζωνών με ρυθμιζόμενη ακαμψία (5-15N/mm)

  • Αυτόματη θερμική αντιστάθμιση για λειτουργία από -40°C έως 200°C

Δεδομένα Απόδοσης:

• Μετατόπιση δίσκου <0,1mm σε επιτάχυνση 2,5m/s²

• Η ζώνη αποκλεισμού άκρων μειώθηκε σε 0,5mm (από τα τυπικά 2mm)

• 0% θραύση δίσκων σε δοκιμές 1 εκατομμυρίου κύκλων

2. Προηγμένη Προστασία από Κραδασμούς και Δονήσεις

Αρχιτεκτονική Προστασίας Πολλαπλών Στρώσεων:

1. Πρωτογενής απορρόφηση: Αποσβεστήρες πολυμερούς ιξωδοελαστικού (βαθμολογία 15G)

2. Δευτερεύων ρυθμιστής: Σύστημα ελατηρίων τιτανίου στην πλάκα βάσης

3. Τριτογενής προστασία: Ζώνες προστασίας από πολυανθρακικό ανθεκτικό σε κρούσεις

Απόδοση Δόνησης:

• 5x καλύτερη απομόνωση κραδασμών από την προηγούμενη γενιά (μετάδοση 0,01g στα 100Hz)

• Διατηρεί <0,2μm TIR (Συνολική Εμφανιζόμενη Εκτροπή) κατά τη μεταφορά AMHS

3. Ετοιμότητα Βιομηχανίας 4.0

Έξυπνα Χαρακτηριστικά:

• Ενσωματωμένοι αισθητήρες IoT (θερμοκρασία, υγρασία, δόνηση)

• Ασύρματη φόρτιση για συνεχή λειτουργία αισθητήρων

• Ειδοποιήσεις προγνωστικής συντήρησης μέσω ενσωμάτωσης MES εργοστασίου

Διεπαφές Αυτοματισμού:

• Συμβατότητα με τυπικό τελικό εκτελεστή ρομποτικής E84/E87

• Μηχανισμός γρήγορης απελευθέρωσης χωρίς εργαλεία (<30s αντικατάσταση μάνδαλου)

• Οδηγοί αυτόματης ευθυγράμμισης με επαναληψιμότητα ±0,1mm

4. Σχεδιασμός Βελτιστοποιημένος για Καθαρό Δωμάτιο

Έλεγχος Σωματιδίων:

• Όλα τα κινούμενα μέρη διαθέτουν παγίδες σωματιδίων με >95% απόδοση σύλληψης

• Κεραμικές επικαλυμμένες επιφάνειες ολίσθησης (<0,01 σωματίδια/cm³ παραγωγή)

• Θύρες περιοδικής εκκαθάρισης για καθαρισμό με άζωτο

Βελτιώσεις Ασφάλειας:

• Σήμανση με λέιζερ χαραγμένη 0,3mm κάτω από την επιφάνεια

• Όλες οι αιχμηρές άκρες στρογγυλεμένες σε >0,5mm

• Αντιστατικά υλικά (10⁶-10⁹ Ω/sq επιφανειακή αντίσταση)

​

Εφαρμογή του Οριζόντιου Κουτιού Φορέα Δίσκων

1. Επεξεργασία Ημιαγωγών Front-End

• Εναπόθεση λεπτής μεμβράνης (CVD, PVD, ALD)

• Χάραξη/αποτέφρωση πλάσματος

• Εμφύτευση ιόντων

2. Μετρολογία & Επιθεώρηση

• Μεταφορά μάσκας λιθογραφίας EUV

• Εργαλεία επιθεώρησης δίσκων

• Ανάλυση περίθλασης ακτίνων Χ

3. Προηγμένη Συσκευασία

• Συναρμολόγηση 2.5D/3D IC

• Συσκευασία επιπέδου δίσκου (WLP)

• Διαδικασίες TSV (Through-Silicon Via)

4. Έρευνα & Ανάπτυξη

• Χειρισμός δίσκων πιλοτικής γραμμής

• Ανάπτυξη νέων υλικών

• Προσόντα διεργασίας

Τεχνικές Προδιαγραφές

Ερωτήσεις & Απαντήσεις

Ε1: Γιατί να επιλέξετε οριζόντιους φορείς αντί για κάθετους;
A1: Ο οριζόντιος προσανατολισμός μειώνει την εκτροπή του δίσκου κατά 60% (ανά SEMI E158-1119), κρίσιμο για την <5nm επεξεργασία κόμβων.
 
Ε2: Πώς αποτρέπετε το κόλλημα του δίσκου;
A2: Οι επιφάνειες τσεπών με νανο-μοτίβο μειώνουν την περιοχή επαφής κατά 85% σε σχέση με τα τυπικά σχέδια.
 
Ε3: Ποιο είναι το πρόγραμμα συντήρησης;
A3: 50.000 κύκλοι πριν από την αντικατάσταση των μαξιλαριών. πλήρης ανακαίνιση κάθε 200k κύκλους.
 
Ε4: Πώς χειρίζεστε τη θραύση του δίσκου;
A4: Οι τσέπες συγκράτησης θραυσμάτων δίσκων αποτρέπουν τη διασταυρούμενη μόλυνση.
 
Ε5: Μπορούν οι φορείς να χρησιμοποιηθούν σε θαλάμους κενού;
A5: Ναι - διαθέσιμες ειδικές εκδόσεις βελτιστοποιημένες για απαέρωση (<10⁻⁶ Torr·L/sec).