logo
Αρχική Σελίδα ΠροϊόνταΕξοπλισμός ημιαγωγών

Όργανο προσανατολισμού δίσκων βασισμένο σε XRD για τον προσδιορισμό γωνίας κοπής υψηλής ακρίβειας

Είμαι Online Chat Now

Όργανο προσανατολισμού δίσκων βασισμένο σε XRD για τον προσδιορισμό γωνίας κοπής υψηλής ακρίβειας

​​XRD-Based Wafer Orientation Instrument for High-Precision Cutting Angle Determination​​
​​XRD-Based Wafer Orientation Instrument for High-Precision Cutting Angle Determination​​ ​​XRD-Based Wafer Orientation Instrument for High-Precision Cutting Angle Determination​​ ​​XRD-Based Wafer Orientation Instrument for High-Precision Cutting Angle Determination​​ ​​XRD-Based Wafer Orientation Instrument for High-Precision Cutting Angle Determination​​

Μεγάλες Εικόνας :  Όργανο προσανατολισμού δίσκων βασισμένο σε XRD για τον προσδιορισμό γωνίας κοπής υψηλής ακρίβειας

Λεπτομέρειες:
Τόπος καταγωγής: Κίνα
Μάρκα: ZMSH
Πιστοποίηση: rohs
Αριθμό μοντέλου: Διατάξεις Προσανατολισμού Wafer
Πληρωμής & Αποστολής Όροι:
Ποσότητα παραγγελίας min: 3
Τιμή: by case
Συσκευασία λεπτομέρειες: Πακέτο στο δωμάτιο καθαρισμού 100 βαθμών
Χρόνος παράδοσης: 3-6 μήνες
Όροι πληρωμής: Τ/Τ
Δυνατότητα προσφοράς: 1000 κομμάτια το μήνα
Λεπτομερής Περιγραφή Προϊόντος
Σύστημα Ακτίνων Χ: Σωλήνας ακτίνας X Μέγεθος δείγματος: Διάμετρος κυψελού: 2 ′′12 ίντσες· Ίγκοντ: ≤ 200 mm (διάμετρος) × 500 mm (μήκος)
Γωνιακή περιοχή: θ: -10° έως +50°, 2θ: -10° έως +110° Ακρίβεια προσανατολισμού: ±10″–±30″ (μοντέλα υψηλής ακρίβειας: ±3″)
Κίνηση Πολλαπλών Αξόνων: Τοποθέτηση άξονα X/Y/Z, περιστροφή 360° ±15°, έλεγχος κλίσης Ταχύτητα σάρωσης: Πλήρης προσανατολισμός σε 10 δευτερόλεπτα (πλήρως αυτόματο)
Εφαρμογές: Παραγωγή ημιαγωγών, επεξεργασία οπτικών υλικών
Επισημαίνω:

Όργανο προσανατολισμού δίσκων για τον προσδιορισμό γωνίας κοπής

,

Όργανο προσανατολισμού δίσκων υψηλής ακρίβειας

 Επισκόπηση του εξοπλισμού οργάνου προσανατολισμού πλάκας

  

Όργανο προσανατολισμού δίσκων βασισμένο σε XRD για τον προσδιορισμό γωνίας κοπής υψηλής ακρίβειας 0

 

Εργαλείο προσανατολισμού κυψελών με βάση το XRD για τον προσδιορισμό γωνίας κοπής υψηλής ακρίβειας

 

 

Ένα όργανο προσανατολισμού πλάκας είναι μια συσκευή υψηλής ακρίβειας που βασίζεται στην τεχνολογία διαθλίωσης ακτίνων Χ (XRD),που προορίζονται για τις βιομηχανίες ημιαγωγών και οπτικών υλικών για τον προσδιορισμό του προσανατολισμού των κρυστάλλων και των γωνιών κοπήςΤα βασικά στοιχεία της περιλαμβάνουν:

 

  • Συστήματα παραγωγής ακτίνων Χ: Στόχοι σωλήνων ακτινοβολίας Χ από χαλκό ή μολυβδένιο με μέγεθος εστιακού σημείου 0,4 × 1 mm, τάση σωλήνα 30·50 kV και ρεύμα σωλήνα 0·5 mA.
  • Γονιομετρητής: Σχεδιασμός σύνδεσης διπλού άξονα (Ω-θ) που υποστηρίζει γωνιακή ανάλυση ± 0,001° και ανάλυση καμπύλης κλίσης.
  • Στάδιο δειγματοληψίας: δομή με V-σχισμή ή επίπεδη ευθυγράμμιση, συμβατή με πλακίδια 2·12 ιντσών και μεγάλες ίνες (≤20 kg).
  • Μονάδα αυτοματισμού: συσκευή στοίβασης για ταυτόχρονη τοποθέτηση 12 ινγκότ, βελτιώνοντας την αποδοτικότητα της παραγωγής.

 

 


 

Περιεκτικές τεχνικές προδιαγραφές του οργάνου προσανατολισμού κυψελών


 

- Δεν ξέρω.Κατηγορία παραμέτρου Παράμετρος Προδιαγραφές/Περιγραφή
Σύστημα ακτίνων Χ.


 
Τύπος ακτινογραφίας Στόχος χαλκού (Cu), εστιακό σημείο 0,4 × 1 mm, ψύξη αέρα
Η τάση/ή το ρεύμα των ακτίνων Χ 30 kV, ρυθμιζόμενη σε 0·5 mA
Τύπος ανιχνευτή Τύπος Γκάιγκερ-Μίλερ (χαμηλή ενέργεια) ή μετρητής σπινθηροποίησης (υψηλή ενέργεια)
Σταθερή του χρόνου 0.1/0.4/3 δευτερόλεπτα ρυθμιζόμενο
Γονιομέτρο.



 
Μέγεθος δείγματος Διάμετρος κυψελού: 2 ′′12 ίντσες· Ίγκοντ: ≤ 200 mm (διάμετρος) × 500 mm (μήκος)
Γωνιακή περιοχή θ: -10° έως +50°, 2θ: -10° έως +110°
Ακριβότητα προσανατολισμού ±10′′ ′′±30′′ (μοντέλα υψηλής ακρίβειας: ±3′′)
Γωνιακή ανάλυση Ελάχιστη ένδειξη: 1′′ (ψηφιακό) ή 10′′ (μακρογραφία)
Ταχύτητα σάρωσης Πλήρης προσανατολισμός σε 10 δευτερόλεπτα (πλήρως αυτόματο)
Αυτοματοποίηση και Έλεγχος

 
Στάδιο δειγματοληψίας Σχοινιά σε V (2 ′′ πλάκες), ευθυγράμμιση άκρου/OF, χωρητικότητα 1 ′′50 kg
Πολυάξια κίνηση Θέση του άξονα X/Y/Z, περιστροφή 360° ±15°, έλεγχος κλίσης
Διασύνδεση ΠΛΚ/RS232/Ethernet, συμβατό με το MES
Φυσικές προδιαγραφές


 
Μέγεθος 1130 × 650 × 1200 mm (L × W × H)
Βάρος 150~300 χλμ.
Απαιτήσεις ισχύος Μονοφασική 220V±10%, 50/60 Hz, ≤ 0,5 kW
Επίπεδο θορύβου < 65 dB (λειτουργία)
Προχωρημένα χαρακτηριστικά

 
Έλεγχος τάσης κλειστού κυκλώματος Παρακολούθηση σε πραγματικό χρόνο, ρύθμιση τάσης 0,1·1,0 MPa
Βελτιστοποίηση με βάση την ΤΝ Ανίχνευση ελαττωμάτων, προγνωστικές ειδοποιήσεις συντήρησης
Συνδυασμός υλικών Υποστηρίζει κύβους (Si), εξάγωνους (σαφείριους) και ασύμμετρους κρυστάλλους (YAG)

 

 


 

Όργανο προσανατολισμού πλάκαςΑρχή λειτουργίας

 

Όργανο προσανατολισμού δίσκων βασισμένο σε XRD για τον προσδιορισμό γωνίας κοπής υψηλής ακρίβειας 1

Η συσκευή λειτουργεί με τη χρήση τεχνολογιών διάθλασης ακτίνων Χ και σάρωσης Ωμέγα:

 

 

1. Διαθλασμός ακτίνων Χ:

  • Οι ακτίνες Χ που εισέρχονται στην επιφάνεια του κρυστάλλου με γωνίες Bragg παράγουν σήματα διάθλασης, επιτρέποντας τον υπολογισμό του διαστήματος και του προσανατολισμού του πλέγματος.
  • Η σάρωση καμπύλης κλίσης αξιολογεί ελαττώματα πλέγματος και επιφανειακή καταπόνηση.

- Δεν ξέρω.

 

2Ωμέγα σάρωση:

  • Ο κρύσταλλος περιστρέφεται γύρω από έναν σταθερό άξονα, ενώ ο σωλήνας ακτίνων Χ και ο ανιχνευτής παραμένουν ακίνητοι, συλλέγοντας δυναμικά δεδομένα πολλαπλών γωνιών διαθλασμού για πλήρη χαρτογράφηση πλέγματος σε 5 δευτερόλεπτα.
  • Η ολοκληρωμένη κίνηση στον άξονα X/Y/Z επιτρέπει τον 3D κρυσταλλογραφικό προσανατολισμό.

- Δεν ξέρω.

Όργανο προσανατολισμού δίσκων βασισμένο σε XRD για τον προσδιορισμό γωνίας κοπής υψηλής ακρίβειας 2

3Αυτοματοποιημένος έλεγχος:

  • Πλήρης ή μερική διαμόρφωση των μηχανισμών για την παρακολούθηση των επιβατών και την παρακολούθηση των επιβατών.

 

 

 

 


 

Όργανο προσανατολισμού πλάκας Βασικά χαρακτηριστικά και πλεονεκτήματα

 

 

- Δεν ξέρω.Χαρακτηριστικό

 

Περιγραφή

 

Τεχνικές παραμέτρους/Σπουδές περιπτώσεων

 

Υψηλή ακρίβεια.

 

Ακριβότητα σάρωσης Ωμέγα ±0,001°, ανάλυση FWHM καμπύλης κλίσης <0,005°

 

Λάθος κοπής πλακιδίων από καρβίδιο του πυριτίου ≤±0,5°

 

Μέτρηση υψηλής ταχύτητας

- Δεν ξέρω.

Μία μόνο σάρωση αποκτά όλα τα κρυσταλλογραφικά δεδομένα, 200 φορές πιο γρήγορα από το χειροκίνητο

 

Δοκιμή παρτίδας πλακιδίων πυριτίου: 120 πλακιδίων/ώρα

 

Συνδυασμός υλικών

- Δεν ξέρω.

Υποστηρίζει κύβους (Si), εξάγωνους (σαφείριους) και ασύμμετρους κρυστάλλους (YAG)

 

Εφαρμόσιμα υλικά: SiC, GaN, κουαρτς, γρανάτη

 

Ενσωμάτωση

 

Αλγόριθμοι βαθιάς μάθησης για ανίχνευση ελαττωμάτων, βελτιστοποίηση διαδικασιών σε πραγματικό χρόνο

 

Η διαλογή ελαττωμάτων μειώνει το ποσοστό απορριμμάτων σε < 1%

 

Μονουλικός σχεδιασμός

 

Επεκτάσιμη πλατφόρμα X-Y για 3D χαρτογράφηση ή ενσωμάτωση EBSD

 

Ανίχνευση πυκνότητας εκτόξευσης σε κυψέλες πυριτίου ≤ 100 cm−2

 

 

 


 

 

Όργανο προσανατολισμού πλάκαςΠεδία εφαρμογής

 

Όργανο προσανατολισμού δίσκων βασισμένο σε XRD για τον προσδιορισμό γωνίας κοπής υψηλής ακρίβειας 3

1Παρασκευή ημιαγωγών:

  • Κόψιμο κυψελών πυριτίου: καθορίζει προσανατολισμούς <100> και <111>, ελαχιστοποιώντας την απώλεια κοπής (<5%).
  • Σιλικονικό Καρμίδιο (SiC) Wafers: 8 ° off-cut διαδικασία αυξάνει την τάση διάσπασης συσκευής, ποσοστό απώλειας <10%.

 

2Επεξεργασία οπτικών υλικών:

  • Υποστρώματα ζαφείριου: Κόβει τα τσιπάκια LED με ακρίβεια ± 0,1° για τη μείωση της απώλειας αποτελεσματικότητας του φωτός.
  • Κρυστάλλοι λέιζερ YAG: Ακριβής κοπή επιφανειών λέιζερ συντονιστή για ανώτερη ποιότητα δέσμης.

 

3- Σύνθετα υψηλής θερμοκρασίας και κεραμικά:

  • Βάλες τουρμπίνων: Ο έλεγχος του προσανατολισμού του κράματος με βάση το νικέλιο βελτιώνει την αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες (> 1200°C).
  • Ζυρκόνια κεραμική: Κόβει πλακέτες πίσω από smartphone με ομοιομορφία πάχους ±0,02 mm.

 

4Έρευνα και έλεγχος ποιότητας:

  • Ανάλυση Κρυστάλλιων Ελαττωμάτων: Σχεδιάζει την πυκνότητα εκτόξευσης μέσω καμπυλών κλίσης (<103 cm−2).
  • Νέα Ε&Α υλικών: Αξιολογεί τον προσανατολισμό του πλέγματος των ηλιακών κυψελών περοβσκίτη για τη φωτοβολταϊκή απόδοση.

 

 


 

Όργανο προσανατολισμού πλάκαςΓενικές ερωτήσεις

 

 

1. Ε: Πώς να βαθμολογήσετε ένα όργανο προσανατολισμού πλακέτας;

Α: Η βαθμονόμηση περιλαμβάνει την ευθυγράμμιση της πηγής ακτίνων Χ και του ανιχνευτή με χρήση κρυστάλλων αναφοράς, η οποία συνήθως απαιτεί γωνιακή ακρίβεια <0,001° και αυτοματοποιημένες προσαρμογές λογισμικού για ακρίβεια.

 

 

2. Ε: Ποια είναι η τυπική ακρίβεια ενός οργάνου προσανατολισμού πλάκας;

Α: Τα μοντέλα υψηλής ποιότητας επιτυγχάνουν ακρίβεια ± 0,001 °, κρίσιμη για την κοπή των ημιαγωγών πλακών και την ανάλυση κρυστάλλων ελαττωμάτων σε βιομηχανίες όπως η φωτοβολταϊκή και η προηγμένη κεραμική.

 

 

 

Ετικέτες:Όργανο προσανατολισμού πλάκας,#Βασισμένο σε XRD, #Sapphire, #SiC, #High-Precision Cutting, # Angle Determination

- Δεν ξέρω.

 
 

Στοιχεία επικοινωνίας
SHANGHAI FAMOUS TRADE CO.,LTD

Υπεύθυνος Επικοινωνίας: Mr. Wang

Τηλ.:: +8615801942596

Στείλετε το ερώτημά σας απευθείας σε εμάς (0 / 3000)