Γραμμή στίλβωσης γκοφρετών πυριτίου και SiC 6–8 ιντσών με τέσσερις κεφαλές και κλειστό βρόχο τοποθέτησης

Επισκόπηση προϊόντος

Η γραμμή αυτοματισμού στίλβωσης γκοφρετών ημιαγωγών 6–8 ιντσών είναι ένα πλήρως ενσωματωμένο σύστημα παραγωγής μετά τη στίλβωση, σχεδιασμένο για γκοφρέτες πυριτίου και καρβιδίου του πυριτίου (SiC).

Συνδυάζει στίλβωση με τέσσερις κεφαλές, αυτόματη αφαίρεση γκοφρετών, διαχείριση κεραμικών φορέων, καθαρισμό ακριβείας και τοποθέτηση γκοφρετών υψηλής ακρίβειας σε μια ενιαία πλατφόρμα αυτοματισμού κλειστού βρόχου.

Αυτό το σύστημα επιτρέπει τη συνεχή επεξεργασία γκοφρετών ελεγχόμενης μόλυνσης, υψηλής απόδοσης, καθιστώντας το ιδανικό για εργοστάσια ημιαγωγών ισχύος, κατασκευαστές υποστρωμάτων SiC και προηγμένες γραμμές γκοφρετών συσκευασίας.

Αρχιτεκτονική συστήματος

Ολόκληρη η γραμμή αποτελείται από τέσσερις συντονισμένες μονάδες επεξεργασίας:

1. Μονάδα αυτόματης αφαίρεσης γκοφρετών

Μετά τη στίλβωση με τέσσερις κεφαλές, οι γκοφρέτες διαχωρίζονται αυτόματα από τους κεραμικούς φορείς χρησιμοποιώντας αλγόριθμους κίνησης ελεγχόμενης χαμηλής καταπόνησης, αποτρέποντας:

• Θραύση άκρων

• Μικρο-ρωγμές

• Ζημιά από υπολειμματική τάση

Αυτό είναι ιδιαίτερα κρίσιμο για εύθραυστες και υψηλής αξίας γκοφρέτες SiC.

2. Σύστημα αποθήκευσης και αποθήκευσης κεραμικών φορέων

Οι κεραμικοί φορείς ταξινομούνται, αποθηκεύονται και αποστέλλονται αυτόματα.
Το σύστημα αποθήκευσης επιτρέπει:

• Συνεχή λειτουργία της γραμμής στίλβωσης

• Συμβατότητα φορέων πολλαπλών προδιαγραφών

• Σταθερό έλεγχο χρόνου κύκλου

Αυτό εξαλείφει τις διακοπές παραγωγής που προκαλούνται από χειροκίνητο χειρισμό ή έλλειψη φορέων.

3. Σύστημα πλύσης κεραμικών φορέων εξαιρετικά καθαρό

Πριν από την επανατοποθέτηση, κάθε κεραμικός φορέας υποβάλλεται σε καθαρισμό ακριβείας σε βαθύ επίπεδο για την απομάκρυνση:

• Πολυμερές στίλβωσης

• Σωματίδια υπο-μικρομέτρων

• Χημικά υπολείμματα

Αυτό εξασφαλίζει μια επαναλαμβανόμενη, απαλλαγμένη από μόλυνση επιφάνεια για κάθε νέο κύκλο τοποθέτησης γκοφρετών.

4. Μονάδα επανατοποθέτησης γκοφρετών υψηλής ακρίβειας

Οι γκοφρέτες τοποθετούνται σε καθαρισμένους φορείς με:

• Ελεγχόμενη πίεση

• Ευθυγράμμιση υπο-μικρομέτρων

• Έλεγχος εξαιρετικά υψηλής επιπεδότητας

Αυτό παρέχει την ιδανική αρχική κατάσταση για το επόμενο βήμα στίλβωσης με τέσσερις κεφαλές, βελτιώνοντας άμεσα την ομοιομορφία στίλβωσης και την τελική ποιότητα της γκοφρέτας.

Βασικά πλεονεκτήματα διεργασίας

Εξαιρετικά υψηλή καθαριότητα

Καθαριότητα περιοχής τοποθέτησης:

• ≥ 0,5 µm σωματίδια: < 50 ea

• ≥ 5 µm σωματίδια: < 1 ea

Πλήρως συμβατό με προηγμένα πρότυπα κατασκευής ημιαγωγών ισχύος και SiC.

Εξαιρετική επιπεδότητα τοποθέτησης

Επιπεδότητα τοποθέτησης ≤ 2 µm
Αυτό εξασφαλίζει:

• Ομοιόμορφη πίεση στίλβωσης

• Σταθεροί ρυθμοί αφαίρεσης υλικού

• Ανώτερη ομοιομορφία πάχους

Κρίσιμο για συσκευές υψηλής απόδοσης ισχύος και προηγμένες γκοφρέτες συσκευασίας.

Ευέλικτη παραγωγή υψηλής απόδοσης

Το σύστημα επιτρέπει στους κατασκευαστές να εξισορροπούν την απόδοση, το κόστος και την ποιότητα της επιφάνειας με βάση τη στρατηγική παραγωγής τους.

Τεχνικές προδιαγραφές

• Μέγεθος γκοφρέτας: γκοφρέτες πυριτίου & SiC 6–8 ιντσών

• Διαστάσεις εξοπλισμού: 13.643 × 5.030 × 2.300 mm (Μ × Π × Υ)

• Τροφοδοσία ρεύματος: AC 380 V, 50 Hz

• Συνολική κατανάλωση ισχύος: Περίπου 119 kW

• Επιπεδότητα τοποθέτησης: ≤ 2 µm

• Καθαριότητα τοποθέτησης:
  ≥0,5 µm < 50 ea, ≥5 µm < 1 ea

Εφαρμογή 

• Γκοφρέτες ημιαγωγών ισχύος Si και SiC (MOSFET, IGBT, δίοδοι)

• Υποστρώματα SiC και επιταξιακές γκοφρέτες

• Προηγμένες γκοφρέτες συσκευασίας και διασύνδεσης

• Γκοφρέτες στίλβωσης ακριβείας βαθμού συσκευής

Εξυπηρέτηση και υποστήριξη μετά την πώληση

• 24/7 απομακρυσμένη και επιτόπια τεχνική υποστήριξη

• Απάντηση εντός 2 ωρών

• Άφιξη στο χώρο: εντός 24 ωρών (τοπικά) / 36 ωρών (εκτός τοπικών)

• Δωρεάν επισκευή και σέρβις εγγύησης

• Διά βίου συντήρηση και υποστήριξη ανταλλακτικών

• Κρίσιμα ανταλλακτικά πάντα σε απόθεμα

• Τακτικές επισκέψεις προληπτικής συντήρησης από μηχανικούς πεδίου

Συχνές ερωτήσεις – Συχνές ερωτήσεις

Ε1: Είναι αυτή η γραμμή κατάλληλη τόσο για γκοφρέτες πυριτίου όσο και για SiC;

Ναι. Το σύστημα είναι ειδικά βελτιστοποιημένο τόσο για γκοφρέτες πυριτίου όσο και για καρβίδιο του πυριτίου. Τα προφίλ κίνησης, η πίεση τοποθέτησης και οι τροχιές αφαίρεσης ρυθμίζονται για να χειρίζονται την υψηλή σκληρότητα και την ευθραυστότητα του SiC με ασφάλεια.

Ε2: Πώς αυτό το σύστημα βελτιώνει την απόδοση στίλβωσης;

Συνδυάζοντας εξαιρετικά καθαρούς φορείς, τοποθέτηση υψηλής επιπεδότητας και πλήρως αυτοματοποιημένο χειρισμό, το σύστημα ελαχιστοποιεί:

• Μόλυνση σωματιδίων

• Παραμόρφωση γκοφρέτας

• Μη ομοιομορφία πίεσης
  Αυτό οδηγεί σε πιο σταθερή στίλβωση, χαμηλότερα ποσοστά θραύσης και υψηλότερη απόδοση γκοφρέτας.

Ε3: Μπορεί το σύστημα να λειτουργεί συνεχώς με το quad-polisher;

Ναι. Η αποθήκευση φορέων και η αυτοματοποιημένη εφοδιαστική έχουν σχεδιαστεί για να επιτρέπουν 24/7 συνεχή λειτουργία, διατηρώντας το quad-polisher σε λειτουργία χωρίς να περιμένει χειροκίνητη φόρτωση ή καθαρισμό.

Σχετικά προϊόντα

Σύστημα λέπτυνσης γκοφρετών Εξοπλισμός λέπτυνσης ακριβείας SiC Si Συμβατό με γκοφρέτες 4 -12 ιντσών