Ζαφείρινη πλάκα 6' διάμετρος 150mm±0.1mm πάχος 1000um C-Plane

Δίσκος ζαφειριού 6" Διάμετρος 150mm±0.1mm Πάχος 1000um C-plane 99.99%pure

Οι δίσκοι ζαφειριού διαμέτρου 6 ιντσών είναι υπόστρωμα Al₂O₃ μονόκρυστάλλου ακριβείας, σχεδιασμένα για απαιτητικές εφαρμογές ημιαγωγών. Με αυστηρό έλεγχο διαμέτρου στα 150.0±0.1mm και τυπικό πάχος 1000±15μm, αυτοί οι δίσκοι προσανατολισμού C-plane (0001) προσφέρουν εξαιρετική απόδοση για:

• Παραγωγή LED και συσκευών ισχύος με βάση το GaN
• Συστατικά RF υψηλής συχνότητας
• Προηγμένα οπτικά συστήματα

Προδιαγραφές

Εφαρμογές Δίσκων Ζαφειριού

Δίσκοι Ζαφειριού στην Οπτοηλεκτρονική

• Οθόνες Micro-LED
• Συσκευές αποστείρωσης UV
• Φωτισμός υψηλής φωτεινότητας

Δίσκοι Ζαφειριού στην Ηλεκτρονική Ισχύος

• GaN HEMTs για 5G/6G
• Μονάδες ισχύος EV
• Συστήματα ραντάρ

Δίσκοι Ζαφειριού σε Αναδυόμενες Τεχνολογίες

• Συσκευές κβαντικών κουκκίδων
• MEMS αντηχητές
• Φωτονικοί αισθητήρες

ΒΑΣΙΚΑ Χαρακτηριστικά του Δίσκος Ζαφειριού

1. Ανώτερη Θερμική Απόδοση των Δίσκων Ζαφειριού

• Υψηλή θερμική αγωγιμότητα: 35 W/m·K @25°C
• Χαμηλός CTE: 5.3×10⁻⁶/K (25-500°C)
• Ανθεκτικό σε θερμικό σοκ: Αντέχει ΔT >500°C

2. Δίσκοι ΖαφειριούΟπτική Αριστεία

• Ευρυζωνική μετάδοση: 85%@250nm → 92%@450nm → 90%@4000nm
• Ελάχιστη διπλοθλαστικότητα: <3 nm/cm @633nm
• Γυάλισμα ποιότητας λέιζερ: PV <λ/4 @633nm

3. Δίσκοι ΖαφειριούΜηχανική Ανθεκτικότητα

• Ακραία σκληρότητα: 2000 HV (Mohs 9)
• Υψηλή αντοχή σε κάμψη: 700±50 MPa
• Μέτρο Young: 400 GPa

4. Δίσκοι ΖαφειριούΠλεονεκτήματα Κατασκευής

• Έλεγχος διαμέτρου: 150.0±0.1mm (συμβατό με εργαλεία 6")
• Επιλογές πάχους: Διαθέσιμα 430-1000μm
• Διαμόρφωση άκρων: Εγκοπή ή σήμανση με λέιζερ σύμφωνα με τα πρότυπα SEMI

Διαδικασία κατασκευής δίσκου ζαφειριού

1. Προσανατολισμός: Εντοπίστε με ακρίβεια τη θέση της ράβδου κρυστάλλου ζαφειριού στο μηχάνημα κοπής, ώστε να διευκολυνθεί η ακριβής επεξεργασία κοπής 

2. Κοπή: Κόψτε τη ράβδο κρυστάλλου ζαφειριού σε λεπτούς δίσκους

3. Λείανση: Αφαιρέστε το στρώμα ζημιάς κοπής τσιπ που προκαλείται από την κοπή και βελτιώστε την επιπεδότητα του δίσκου

4. Λοξοτμήση: Κόψτε την άκρη του δίσκου σε κυκλική αψίδα για να βελτιώσετε τη μηχανική αντοχή της άκρης του δίσκου για να αποφύγετε τα ελαττώματα που προκαλούνται από τη συγκέντρωση τάσης

5. Γυάλισμα: Βελτιώστε την τραχύτητα του δίσκου για να φτάσετε στην ακρίβεια του επιταξιακού δίσκου

6. Καθαρισμός: Αφαιρέστε τους ρύπους στην επιφάνεια του δίσκου (όπως σωματίδια σκόνης, μέταλλα, οργανικούς ρύπους)

7. Έλεγχος ποιότητας: Η ποιότητα του δίσκου (επιπεδότητα, σωματίδια σκόνης επιφάνειας κ.λπ.) θα πρέπει να επιθεωρείται με όργανα δοκιμών υψηλής ακρίβειας για την κάλυψη των απαιτήσεων των πελατών