Σύνοψη
Πλήρως αυτόματο εξοπλισμό πριονιστικού πριονιστικού πριονιστή για την κοπή κυψελών 8 ιντσών 12 ιντσών
Το πλήρως αυτόματο πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονιστικό πριονισΧρησιμοποίηση τεχνολογίας με διαμαντένια λεπίδες (30,000-60,000 RPM), επιτυγχάνει ακρίβεια κοπής σε επίπεδο μικρών (± 2μm) με ελάχιστη θραύση (< 5μm), ξεπερνώντας τις εναλλακτικές μεθόδους σε εφαρμογές ημιαγωγών και προηγμένων συσκευασιών.Το σύστημα ενσωματώνει σπινθήρες υψηλής ακαμψίας, νανομετρικά στάδια θέσης και ευφυής ευθυγράμμιση όρασης για μη επανδρωμένη λειτουργία, ανταποκρινόμενες στις αυστηρές απαιτήσεις της σύγχρονης κατασκευής τσιπ και της επεξεργασίας ημιαγωγών τρίτης γενιάς.
Τεχνικές παραμέτρους
| Παράμετρος |
Προδιαγραφές |
| Μέγεθος εργασίας |
Φ8", Φ12" |
| Στρίψιμο |
Δύο άξονες 1.2/1.8/2.4/3.0, Μαξ 60000 στροφές ανά λεπτό |
| Μέγεθος λεπίδας |
2 ~ 3 |
| Άξονας Y1/Y2 |
Μία μονάδα αύξησης: 0,0001 mm |
| Ακριβότητα θέσης: < 0,002 mm |
| Πεδίο κοπής: 310 mm |
| Άξονας Χ |
Πεδίο ταχύτητας τροφοδοσίας: 0,1 ̇ 600 mm/s |
| Άξονας Z1 / Z2 |
Μία μονάδα αύξησης: 0,0001 mm |
| Ακριβότητα θέσης: ≤ 0,001 mm |
| θ Άξονας |
Ακριβότητα θέσης: ±15" |
| Σταθμός καθαρισμού |
Ταχύτητα περιστροφής: 100~3000 στροφές ανά λεπτό |
| Μέθοδος καθαρισμού: Αυτοπλύσιμο και στεγνώσεις |
| Δραστηριακή τάση |
3 φάσεις 380V 50Hz |
| Μέγεθος (W × D × H) |
1550×1255×1880 mm |
| Βάρος |
2100 χιλιοστά |
Πλεονεκτήματα
1Η υψηλής ταχύτητας σάρωση κασέτας με σύστημα προειδοποίησης πρόληψης συγκρούσεων επιτρέπει την ταχεία ακριβή τοποθέτηση και την ανώτερη ικανότητα διόρθωσης σφαλμάτων.
2Η καινοτόμος λειτουργία συγχρονισμένης κοπής διπλού σπινδέλου αυξάνει την αποδοτικότητα επεξεργασίας κατά 80% σε σύγκριση με τα συστήματα ενός σπινδέλου.
3. Πρωταθλή εισαγόμενες βίδες σφαίρας, γραμμικές οδηγίες, και Y-άξονας πλέγμα κλειστό κύκλο ελέγχου διασφαλίζουν τη μακροπρόθεσμη σταθερότητα της επεξεργασίας·
4Η πλήρως αυτοματοποιημένη λειτουργία (φόρτωση/τοποθέτηση/κόψιμο/επιθεώρηση) μειώνει σημαντικά την χειροκίνητη παρέμβαση.
5Ο μοναδικός σχεδιασμός διπλού σπινδέλου σε στυλ γκαράζ με ελάχιστη απόσταση λεπίδων 24 mm ικανοποιεί τις διαφορετικές απαιτήσεις κοπής.
Χαρακτηριστικά
1Σύστημα μέτρησης ύψους χωρίς επαφή υψηλής ακρίβειας.
2Δυνατότητα ταυτόχρονης κοπής διπλών λεπίδων με πολλαπλά πλακάκια.
3. Διανοητικά συστήματα ανίχνευσης (αυτοβαθμοποίηση/ελέγχος σημάτων κοπής/παρακολούθηση σπασμάτων λεπίδων) ·
4. Αλγορίθμοι ευθυγράμμισης πολλαπλών τρόπων προσαρμόσιμοι σε διάφορες απαιτήσεις διαδικασίας·
5Παρακολούθηση θέσης σε πραγματικό χρόνο με αυτόματη διόρθωση σφαλμάτων.
6. Μηχανισμός επαλήθευσης ποιότητας πρώτης κοπής·
7. Προσαρμόσιμη ενσωμάτωση μονάδας αυτοματισμού εργοστασίου
Υλικά και εφαρμογές προσαρμογής
| Υλικό |
Τυπικές εφαρμογές |
Απαιτήσεις επεξεργασίας |
| Νιτρικό αλουμίνιο (AlN) |
Θερμικά υποστρώματα υψηλής ισχύος, συσκευασίες LED |
Ελάχιστη πίεση, πρόληψη της αποστρωματοποίησης |
| Κεραμική PZT |
Φίλτρα 5G, συσκευές SAW |
Τρίψιμο σταθερότητας υψηλής συχνότητας |
| Τελυρίδιο βισμούτου (Bi2Te3) |
Θερμοηλεκτρικές μονάδες |
Επεξεργασία χαμηλής θερμοκρασίας |
| Μονοκρυσταλλικό πυρίτιο (Si) |
Τσιπάκια IC |
Ακριβότητα διακόσμησης σε υπομικρόνια |
| Εποξυγλυπτική ένωση |
Υποστρώματα BGA |
Συνδυασμός υλικών πολυεπίπεδων |
| Πυλώνα Cu/Δηλεκτρικό PI |
WLCSP |
Επεξεργασία υπεράπλευρων πλακών |
Επιδράσεις από την εκμετάλλευση
Το μήνυμά σας πρέπει να αποτελείται από 20-3.000 χαρακτήρες!
