Συστήματα αραιώσεως κυκλωμάτων εξοπλισμός αραιώσεως ακριβείας SiC Si κυκλώματα συμβατά 4 -12 ιντσών χωρητικότητα κυκλώματος

Συστήματα αραιώσεως κυκλωμάτων εξοπλισμός αραιώσεως ακριβείας SiC Si κυκλώματα συμβατά 4 -12 ιντσών χωρητικότητα κυκλώματος

Τεχνική επισκόπηση εξοπλισμού αραίωσης κυψελών

Ο εξοπλισμός αραίωσης κυλίνδρων επιτρέπει τον ακριβή αραίωση εύθραυστων υλικών ημιαγωγών 4-12 ιντσών, συμπεριλαμβανομένου του πυριτίου (Si), του καρβιδίου του πυριτίου (SiC), του αρσενικού γαλλίου (GaAs) και των υποστρώσεων ζαφείρου,που επιτυγχάνει ακρίβεια ελέγχου πάχους ±1 μm και συνολική διακύμανση πάχους (TTV) ≤2 μm για την κάλυψη των αυστηρών απαιτήσεων της προηγμένης συσκευασίας και της κατασκευής συσκευών ισχύοςΟ εξοπλισμός αραίωσης κυψελών μέσω του βελτιστοποιημένου συντονισμού των παραμέτρων άλεσης και των διαδικασιών γυάλωσης, ο εξοπλισμός εξασφαλίζει ακριβή προσαρμογή σε διάφορες ιδιότητες υλικών,Ειδικότερα για την αντιμετώπιση των προκλήσεων του αραίωσης των ημιαγωγών ευρείας ζώνης όπως το SiCΟ εξοπλισμός αραίωσης κυψελών εγγυάται ελάχιστη απόκλιση πάχους και χαμηλή τραχύτητα της επιφάνειας.ενσωματωμένο με αυτοματοποιημένη παρακολούθηση πάχους σε πραγματικό χρόνο για τη διατήρηση σταθερής και αξιόπιστης απόδοσης επεξεργασίας.

Προδιαγραφές εξοπλισμού αραίωσης κυψελών

Πλεονεκτήματα

·Τεχνολογία επεξεργασίας ώριμη και σταθερή
·Υψηλής ακρίβειας αλέτριση σφινδάλων In-Feed με ανώτερη ακρίβεια επεξεργασίας
·Εύκολη λειτουργία και εργονομικό HMI (συνδέσμη ανθρώπου-μηχανής)
·Έλεγχος ακρίβειας του άξονα Z μέσω εισαγόμενων στροφών σφαίρας, γραμμικών οδηγών και υψηλής ακρίβειας σεροκινητήρων (ελάχιστη ανάλυση: 0,1 μm/s)
·Το σπινδύλιο υψηλής ακαμψίας που φέρνει αέρα σε συνδυασμό με την εξαιρετικά ακριβή συναρμολόγηση κυψελών και το μέτρο πάχους εξασφαλίζει τη σταθερότητα και την αξιοπιστία της διαδικασίας

Λειτουργίες:

·Καταγραφή ημερολογίου λειτουργίας
·Συμφωνία υλικού πλάκας 4-12 ιντσών
·Μέτρηση πάχους επαφής υψηλής ακρίβειας σε πραγματικό χρόνο
·Συστήματα ψύξης με νερό σπινθήρα
·Τρόποι λειτουργίας πλήρως αυτόματος/μη αυτόματος

Εξοπλισμός αραίωσης κυψελώνφωτογραφία

                  

Εφαρμογές

· Κατασκευή συσκευών ηλεκτρικής ενέργειας με βάση το πυρίτιο: Ο εξοπλισμός αραίωσης κυκλωμάτων επιτρέπει διαδικασίες αραίωσης κυκλωμάτων για DSC και άλλες συσκευές ηλεκτρικής ενέργειας από πυρίτιο.

· Σύνθετες συσκευασίες συσκευών ημιαγωγών: Ο εξοπλισμός αραίωσης κυψελών υποστηρίζει την αραίωση σε επίπεδο υποστρώματος για συστατικά που βασίζονται σε GaAs/GaN.

· Επεξεργασία συσκευών με καρβίδιο του πυριτίου: Ο εξοπλισμός αραίωσης κυψελών παρέχει ακριβή αραίωση των ινλών/κυψελών SiC για τις απαιτήσεις των μονάδων ισχύος.

Ενεργειακή επίδρασηΕξοπλισμός αραίωσης κυψελών

·Υψηλής ταχύτητας αραίωση για σφαιρίδια SiC, GaN, σαφφείρι, GaAs και InP

·Αυτοματοποιημένη προκαταρρύθμιση και μέτρηση πάχους

·Υψηλής ακαμψίας, χαμηλής δόνησης σφηνίδας με ελάχιστη διακύμανση στροφών ανά λεπτό (προσαρμόσιμες ταχύτητες ροής/ταχείας τροφοδοσίας)