Θερμοσυμπίεση Ανωδική σύνδεση Εξοπλισμός Θερμική πίεση σύνδεση Si Cu Al-Ge υλικό 600 ° C 2-8 ίντσες

Θερμοσυμπίεση Ανωδική σύνδεση Εξοπλισμός Θερμική πίεση σύνδεση Si Cu Al-Ge υλικό 600 ° C 2-8 ίντσες

Σύνοψη του εξοπλισμού θερμοσυμπίεσης για την ανωτική σύνδεση

Ο εξοπλισμός θερμοσυμπίεσης ανωδικής δέσμευσης ενσωματώνει τεχνολογία δέσμευσης διπλής διαδικασίας που συνδυάζει θερμοσυμπίεση και ανωδική δέσμευση.ειδικά σχεδιασμένα για μεταλλωμένες συσκευασίες πλακίδων 2-8 ιντσών (eΣυσκευές ανωδικής δέσμευσης θερμοσυμπίεσης μέσω ακριβούς ελέγχου των παραμέτρων θερμοκρασίας-πίεσης-φόρτωσης,επιτυγχάνει υψηλής αντοχής ερμητική σφραγίδα μεταξύ των πλακών, καθιστώντας το κατάλληλο για εφαρμογές συσκευασίας που απαιτούν αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες και αξιοπιστία, όπως συσκευές MEMS και ημιαγωγούς ισχύος.Το βασικό πλεονέκτημα έγκειται στην ικανότητά του να συνδεθεί ταυτόχρονα με διάχυση μετάλλων (θερμοσυμπίεση) και με σύνδεση διασύνδεσης γυαλί-πυριτίου (ανωδική σύνδεση).

Τεχνικές προδιαγραφές συστήματος σύνδεσης κυψελών

Ο εξοπλισμός θερμοσυμπίεσης ανωδικής σύνδεσης υποστηρίζει την επεξεργασία πλακών 2-8 ιντσών με μέγιστη θερμοκρασία λειτουργίας 600 °C, εύρος πίεσης 5-200 kN και επίπεδο κενού ≤5×10−3 Pa.Ο εξοπλισμός θερμοσυμπίεσης ανωδικής σύνδεσης ενσωματώνει σύστημα υψηλής ακρίβειας κλειστού κυκλώματος ελέγχου θερμοκρασίας (± 1 °C), πίεση (διακυμάνσεις ≤±1%) και τάση (0-2000 V ρυθμιζόμενη για ανωδική σύνδεση). συμβατό με συστήματα υλικών όπως Si, Cu και Al-Ge,είναι ειδικά σχεδιασμένο για εφαρμογές ερμητικής συσκευασίας (ποσοστό διαρροής ≤1×10−8 Pa·m3/s) σε MEMS και συσκευές ισχύος.

Θερμική δέσμευση υπό πίεση

Σύνδεση Au-Si:

Αρχή λειτουργίας:

Συσκευές ανωδικής σύνδεσης θερμοσυμπίεσης:

Δυνατότητα ευθυγράμμισης της σύνδεσης θερμοσυμπίεσης (ακρίβεια < 2μm)

Εφαρμογές

· Συσκευή συσκευασίας συσκευής MEMS: Ο εξοπλισμός θερμοσυμπίεσης ανωδικής σύνδεσης επιτυγχάνει ερμητική ενσωμάτωση για μικροηλεκτρομηχανικά συστήματα, εξασφαλίζοντας μακροπρόθεσμη λειτουργική αξιοπιστία.

· Συσκευές συσκευασίας ημιαγωγών ισχύος: Ο εξοπλισμός θερμοσυμπίεσης ανωδικής σύνδεσης διευκολύνει τη σύνδεση διεπαφών ανθεκτικών σε υψηλές θερμοκρασίες και θερμικά αγωγών για τσιπ υψηλής ισχύος.

· Ηερμητική συσκευασία αισθητήρων: Ο εξοπλισμός θερμοσυμπίεσης ανωδικής σύνδεσης παρέχει προστατευτικό κάλυμμα που δεν προκαλεί υγρασία ή οξείδωση για τους ευαίσθητους στο περιβάλλον αισθητήρες.

· Οπτοηλεκτρονική ολοκλήρωση: Ο εξοπλισμός θερμοσυμπίεσης ανωδικής σύνδεσης επιτρέπει τη σύνδεση ετεροϋλικών μεταξύ οπτικών και ηλεκτρονικών εξαρτημάτων για τη βελτίωση της αποτελεσματικότητας της φωτοηλεκτρικής μετατροπής.

Ενεργειακή επίδρασηΑνωδική σύνδεση γυαλιού με πυρίτιο.