Λεπτομέρειες προϊόντων
Place of Origin: CHINA
Μάρκα: ZMSH
Πιστοποίηση: rohs
Model Number: Automatic double cavity fast annealing furnace
Όροι πληρωμής και αποστολής
Minimum Order Quantity: 1
Τιμή: by case
Payment Terms: T/T
Temperature range:: |
1300℃ |
Heating rate:: |
Up to 100°C/ s |
Degree of automation:: |
Fully automatic control system |
Application:: |
SIC,GaN and other third generation semiconductor field |
Temperature range:: |
1300℃ |
Heating rate:: |
Up to 100°C/ s |
Degree of automation:: |
Fully automatic control system |
Application:: |
SIC,GaN and other third generation semiconductor field |
Περιγραφή του προϊόντος
Ο αυτόματος φούρνος ταχείας αναψίξεως διπλού θαλάμου είναι εξοπλισμός θερμικής επεξεργασίας υψηλής ακρίβειας που έχει σχεδιαστεί για υλικά ημιαγωγών,που χρησιμοποιεί δομή διπλού θαλάμου για την επίτευξη αποτελεσματικής και ομοιόμορφης διαδικασίας γρήγορης θέρμανσης και ψύξηςΣτην βιομηχανία υλικών ημιαγωγών, η συσκευή χρησιμοποιείται κυρίως για διαδικασίες θερμικής επεξεργασίας πλακιδίων, σύνθετων ημιαγωγών (όπως GaN, SiC) και υλικών λεπτών ταινιών,βελτιστοποίηση των ηλεκτρικών και δομικών ιδιοτήτων των υλικών μέσω ακριβούς ελέγχου της θερμοκρασίας και του χρόνου, βελτιώνοντας τις επιδόσεις και την απόδοση της συσκευής.
Προδιαγραφές εξοπλισμού
1.Πεδίο θερμοκρασίας:θερμοκρασία δωματίου έως 1300°C (η υψηλότερη θερμοκρασία μπορεί να προσαρμοστεί).
2.Δυνατότητα θέρμανσης:έως 100°C/ s.
3.Αριθμός θαλάμων:Δύο θάλαμοι, υποστήριξη παράλληλης επεξεργασίας, βελτίωση της παραγωγικής απόδοσης.
4.Έλεγχος ατμόσφαιρας:Υποστήριξη αζώτου, αργώνου, υδρογόνου και άλλων ατμοσφαιρών για την κάλυψη διαφορετικών απαιτήσεων της διαδικασίας.
5.Ομοιότητα:Ομοιότητα πεδίου θερμοκρασίας ≤±1°C για τη διασφάλιση της ομοιότητας της επεξεργασίας υλικού.
6.Στον βαθμό αυτοματοποίησης:αυτόματο σύστημα ελέγχου, προκαθορισμός παραμέτρων διαδικασίας υποστήριξης και τηλεπαρακολούθηση.
Βασική εφαρμογή της διαδικασίας
· Ημιαγωγούς με βάση το πυρίτιο:Χρησιμοποιείται για την ταχεία θερμική αναψύξη (RTA) των πλακών πυριτίου για την ενεργοποίηση ντοπιζόμενων ιόντων και την αποκατάσταση ελαττωμάτων πλέγματος.
· Συνθετικοί ημιαγωγοί:Είναι κατάλληλο για θερμική επεξεργασία GaN, SiC και άλλων υλικών ημιαγωγών ευρείας ζώνης για τη βελτίωση της ποιότητας των κρυστάλλων και των χαρακτηριστικών των διεπαφών.
· Υλικό ταινίας:Χρησιμοποιείται για αναψύκλωση μεταλλικής ταινίας και οξειδίου ταινίας (όπως υψηλό k μέσο) για τη βελτιστοποίηση της αγωγιμότητας και της σταθερότητας της ταινίας.
· Εμφυτοποίηση ιόντων/επεξεργασία με επαφή
· Επεξεργασία υψηλής θερμοκρασίας
· Διάχυση υψηλής θερμοκρασίας
· Χάλυβα
· Θερμική οξείδωση
Κύριο πεδίο εφαρμογής
- Κατασκευή πλακών:για την ενεργοποίηση με ντόπινγκ, την αναψύκλωση με οξείδια και την αναψύκλωση με μεταλλικοποίηση και άλλες βασικές διεργασίες.
- Συσκευή τροφοδοσίας:Κατάλληλο για θερμική επεξεργασία SiC, GaN και άλλων συσκευών ημιαγωγών ισχύος για τη βελτίωση της απόδοσης και της αξιοπιστίας της συσκευής.
- Προηγμένη συσκευασία:για θερμική αναψύξη σε διεργασίες TSV (through-silicon) και RDL (Redistributed layer).
- Φωτοηλεκτρικά υλικά:είναι κατάλληλο για τη διαδικασία ανάψυξης LED, λέιζερ και άλλων φωτοηλεκτρικών υλικών, βελτιστοποιεί την φωτεινή απόδοση και τη σταθερότητα μήκους κύματος.
Υπηρεσίες μας
Η XKH παρέχει εξατομικευμένες υπηρεσίες για πλήρως αυτόματους φούρνους ταχείας αναψίξεως διπλού θαλάμου, συμπεριλαμβανομένης της προσαρμογής των προδιαγραφών εξοπλισμού,βελτιστοποίηση παραμέτρων διαδικασίας και τεχνική υποστήριξη για να εξασφαλιστεί ότι ο εξοπλισμός πληροί τις ειδικές ανάγκες των πελατώνΕπιπλέον, η XKH παρέχει εκπαίδευση εγκατάστασης, τακτική συντήρηση και υπηρεσίες αναβάθμισης διαδικασιών για να βοηθήσει τους πελάτες να μεγιστοποιήσουν την απόδοση του εξοπλισμού και την αποτελεσματικότητα της παραγωγής,συμβολή στην υψηλής ποιότητας ανάπτυξη της επεξεργασίας υλικών ημιαγωγών.
Ετικέτα: #Αυτόματος ημιαγωγός με διπλή κοιλότητα, φούρνος γρήγορου αναψίματος, #συμβατός με 6 ιντσών 8 ιντσών 12 ιντσών, #ηλεκτρική μηχανή υψηλής ταχύτητας, #εξοπλισμός θερμικής επεξεργασίας, #SIC, #GaN
Βίντεο
Βίντεο
Βίντεο
Βίντεο
