Πλακίδιο Ζαφειριού 12 ιντσών: Οπτοηλεκτρονικές Συσκευές C-plane SSP / DSP 12 ιντσών Βιομηχανικής Ποιότητας

Επισκόπηση του προϊόντος

Η πλακέτα ζαφείρου μήκους 12 ιντσών (300 mm) είναι μια υψηλής ποιότητας προδιαγραφή μεγάλου μορφότυπου στον τομέα του υποστρώματος ζαφείρου.Κατασκευάζεται από υψηλής καθαρότητας συνθετική μονοκρυσταλλική αλουμίνη 4N5 έως 5N (α-Al2O3), με μονοκρυσταλλικές ίνες που καλλιεργούνται με προηγμένες διαδικασίες όπως η μέθοδος Kyropoulos, ακολουθούμενη από διαδικασίες σε επίπεδο ημιαγωγών, συμπεριλαμβανομένης της κοπής πολλών καλωδίων,Πληροφορίες σχετικά με την παραγωγή, την παραγωγή και την πώληση των προϊόντων που χρησιμοποιούνται για την παραγωγή των προϊόντων που χρησιμοποιούνται για την παραγωγή των προϊόντων αυτών.Ως βασικό υπόστρωμα μεγάλου μεγέθους για τη βιομηχανία ημιαγωγών τρίτης γενιάς, είναι πλήρως συμβατό με τις γραμμές παραγωγής 12 ιντσών.Η αποτελεσματική επιταξιακή έκταση ανά πλάκα είναι περίπου 9 φορές μεγαλύτερη από εκείνη μιας πλάκας 4 ιντσών και 2.25 φορές μεγαλύτερη από μια πλάκα 8 ιντσών, αυξάνοντας σημαντικά την παραγωγή τσιπ ανά παρτίδα και μειώνοντας σημαντικά το κόστος υποστρώματος ανά τσιπ.Αυτό το προϊόν ξεπερνά τεχνικές δυσκολίες όπως η ομοιομορφία της ανάπτυξης των μεγάλων κρυστάλλων, συνολικός έλεγχος της επίπεδης επιφάνειας και αντοχή στην καμπύλη σε διαδικασίες υψηλής θερμοκρασίας,και χρησιμεύει ως βασικό υλικό υποστήριξης για τη μαζική παραγωγή οθονών Mini/Micro LED επόμενης γενιάς και συσκευών ηλεκτροδότησης GaN μεγάλου μορφότυπου.

Βασικά τεχνικά χαρακτηριστικά

1Υπερμεγάλη μορφή για μαζική παραγωγή

Η μεγάλη διάμετρος των 300 mm επιτυγχάνει άλμα στην περιοχή του υποστρώματος. Είναι συμβατή με τα 12 ιντσών τυποποιημένα εξοπλισμούς επιταγής MOCVD και τις γραμμές παραγωγής ημιαγωγών,Περισσότερο από διπλασιασμό της παραγωγής τσιπ ανά παρτίδα σε σύγκριση με τα πλακίδια 8 ιντσών, και αποσβέστεται σημαντικά από την απόσβεση του εξοπλισμού και το κόστος της διαδικασίας.Είναι η κύρια κατεύθυνση τεχνικής αναβάθμισης για τη μείωση του κόστους και τη βελτίωση της αποδοτικότητας στις βιομηχανίες οπτικοηλεκτρονικών και συσκευών ισχύος.

2Υψηλής ομοιομορφίας υλικό υψηλής καθαρότητας μονοκρυστάλλου

Οι μονοκρυστάλλοι καλλιεργούνται από ακατέργαστη αλουμίνη υψηλής καθαρότητας, με αυστηρό έλεγχο της άξιας και ακτινικής κατανομής των προσμείξεων σε μεγάλες ίνες,διασφάλιση της σταθερής κρυσταλλικής δομής και της ομοιόμορφης πυκνότητας εκτόξευσης σε ολόκληρη την πλάκαΛύνει προβλήματα όπως ο διαχωρισμός των συστατικών και η άνιση πίεση που παρατηρούνται συνήθως σε μεγάλους κρυστάλλους ζαφείρου, και εγγυάται τη συνοχή σε όλη την πλάκα στην επιταξιακή ανάπτυξη και την απόδοση της συσκευής.

3.Θερμική σταθερότητα σε υψηλές θερμοκρασίες για μεγάλο μορφότυπο
Με σημείο τήξης 2050 °C, η κρυστάλλινη δομή παραμένει σταθερή στο περιβάλλον υψηλής θερμοκρασίας επιταξίας 1000~1200 °C.Μέσω της ρύθμισης του στρες της κρυσταλλικής ανάπτυξης και της επεξεργασίας των διαδικασιών ανακούφισης από το στρες, καταστέλλει αποτελεσματικά την κάμψη και την παραμόρφωση των μεγάλων μεγεθών πλακών κατά τη διάρκεια των διαδικασιών κύκλου υψηλής θερμοκρασίας, εξασφαλίζοντας την ομοιομορφία της ανάπτυξης της επιταξιακής στρώσης και της απόδοσης της συσκευής.

4Εξαιρετική ηλεκτρική μόνωση και διηλεκτρικές ιδιότητες.
Ο εσωτερικός σάφης υψηλής καθαρότητας έχει αντίσταση θερμοκρασίας δωματίου μεγαλύτερη από 1014 Ω·cm, με εξαιρετική ηλεκτρική μόνωση και εξαιρετικά χαμηλή διηλεκτρική απώλεια.Παρέχει αξιόπιστη ηλεκτρική απομόνωση μεταξύ των συσκευών, καταστέλλει τη διαρροή και την διασταύρωση του σήματος υπό συνθήκες υψηλής τάσης και πληροί τις απαιτήσεις απόδοσης των συσκευών υψηλής τάσης GaN και των συσκευών υψηλής συχνότητας RF.

5.Ελεγχόμενο επιφανειακό επίπεδο με εξαιρετική ακρίβεια

Η επιφανειακή επιφάνεια επιφάνειας επιτάχυνσης επιπέδου ατόμου μέσω CMP, με τραχύτητα επιφάνειας Ra ≤ 0,2nm.Στόχος των χαρακτηριστικών του μεγάλου μορφότυπου 12 ιντσών, η παγκόσμια μεταβολή συνολικού πάχους (TTV), το τόξο και η δίνη ελέγχονται ειδικά, με εξαιρετική ομοιομορφία επίπεδης πλάκας σε όλη τη πλάκα, ικανοποιώντας πλήρως τις απαιτήσεις της επιταξιακής ανάπτυξης MOCVD μεγάλου μορφότυπου.

6Ανθεκτικότητα σε χημικά και πλάσμα.
Το ζαφείρι έχει εξαιρετικά ισχυρή χημική αδρανότητα, αδιάλυτο στα περισσότερα οξέα, αλκαλικά και οργανικούς διαλύτες σε θερμοκρασία δωματίου.Καθαρισμός σε υγρό και αναψύκωση σε υψηλές θερμοκρασίες στην παραγωγή ημιαγωγών, με ελάχιστη βλάβη από διάβρωση και αποβολή σωματιδίων στην επιφάνεια, εξασφαλίζοντας την καθαρότητα της διαδικασίας και τη μακροχρόνια αξιοπιστία της συσκευής.

7Πολλαπλές προσανατολίσεις κρυστάλλων και πλήρης προσαρμογή παραμέτρων

Ο προσανατολισμός C-plane (0001) παρέχεται ως πρότυπο, ενώ διατίθενται επίσης ειδικοί προσανατολισμοί, συμπεριλαμβανομένων των προσανατολισμών A-plane, R-plane και M-plane, με προσαρμόσιμες προδιαγραφές εκτός γωνίας.Παραμέτροι όπως το πάχος της πλάκαςΗ καθαρότητα των τμημάτων, των τρυπών και των επιφανειών μπορούν να προσαρμοστούν σύμφωνα με τις απαιτήσεις των πελατών, προσαρμόζοντας τους σε διαφορετικές διεργασίες συσκευών και πρότυπα εξοπλισμού.

8Υψηλή μηχανική αντοχή και συμβατότητα με τις τυποποιημένες διαδικασίες

Με σκληρότητα Mohs 9, έχει εξαιρετική μηχανική ακαμψία και αντοχή στην κάμψη.που τους επιτρέπουν να αντέχουν σε διάφορες διαδικασίες μεταποίησης, όπως η αραίωση, διαχωρισμός σε κομμάτια, διαμόρφωση με PSS και μεταλλικοποίηση, και προσαρμογή στις ροές χειρισμού και επεξεργασίας των 12 ιντσών τυποποιημένων εξοπλισμούς ημιαγωγών.

Τυπικές προδιαγραφές

Τυπικές εφαρμογές

1. Οπτικοηλεκτρονικό πεδίο οθόνης: Επιταξιακή ανάπτυξη μεγάλων μικροδιαστάσεων μικρο/μικρο LED τσιπ οθόνης, γραμμές μαζικής παραγωγής οθόνης υψηλής τεχνολογίας
2. Το πεδίο των ημιαγωγών ισχύος: συσκευές υψηλής τάσης με βάση το GaN 12 ιντσών, τσιπ γρήγορης φόρτισης, μαζική παραγωγή ηλεκτρονικών συστημάτων ισχύος αυτοκινήτων
3. Ενσωματωμένο πεδίο κυκλώματος: Συμπληρωματικά κυκλώματα ραδιοσυχνοτήτων (RF) Silicon-on-Sapphire (SOS), συμβατές μικροηλεκτρονικές συσκευές υψηλής συχνότητας 12 ιντσών
4. Οπτικό πεδίο παραθύρου: μεγάλα οπτικά παράθυρα υψηλής ακρίβειας, παράθυρα ανίχνευσης υπέρυθρου, ειδικά οπτικά συστατικά προστασίας
5. Ειδικό ηλεκτρονικό πεδίο: Ηλεκτρονικές συσκευές υψηλής θερμοκρασίας, ηλεκτρονικά εξαρτήματα αεροδιαστημικής κλάσης ανθεκτικά σε ακτινοβολία, υποστρώματα μεγάλου μεγέθους για αισθητήρες MEMS

Έλεγχος ποιότητας

Ένα ειδικό σύστημα ελέγχου ποιότητας πλήρους διαδικασίας σε βαθμό ημιαγωγών δημιουργείται για πλακίδια μεγάλου μεγέθους 12 ιντσών.και μπορεί να παρασχεθεί πλήρες πιστοποιητικό ανάλυσης (COA)Τα βασικά στοιχεία επιθεώρησης περιλαμβάνουν: επιθεώρηση της διαμετρικής ακρίβειας και της ομοιομορφίας πάχους σε ολόκληρο το πλακάκι, επαλήθευση της απόκλισης του κρυσταλλικού προσανατολισμού, σάρωση της συνολικής επίπεδης και τραχύτητας,επιθεώρηση χαρτογράφησης οπτικών ελαττωμάτων σε όλη τη πλάκα, δοκιμές καθαρότητας και επιφανειακής αντοχής, επαλήθευση της ποιότητας των ακτών και της σφραγίδωσης των συσκευασιών, διασφαλίζοντας τη συνέπεια των παραμέτρων και την αξιοπιστία της διαδικασίας των προϊόντων μεγάλου μεγέθους.

Γενικές ερωτήσεις

Ποια είναι η κύρια διαφορά ανάμεσα σε 12 ιντσών ζαφείρινες πλάκες και μικρότερες 6 ιντσών / 8 ιντσών πλάκες;

Η πλάκα των 12 ιντσών (300 mm) παρέχει μια πολύ μεγαλύτερη χρήσιμη επιταξιακή περιοχή, περίπου 2,25 φορές μεγαλύτερη από εκείνη μιας πλάκας 8 ιντσών και 9 φορές μεγαλύτερη από εκείνη μιας πλάκας 4 ιντσών.Είναι συμβατό με γραμμές παραγωγής ημιαγωγών 12 ιντσών και αντιδραστήρες MOCVD υψηλής χωρητικότητας, αυξάνοντας σημαντικά την παραγωγή τσιπ ανά παρτίδα και μειώνοντας το κόστος τσιπ ανά μονάδα.Ενώ τα πλακάκια 6/8 ιντσών χρησιμοποιούνται ευρύτερα για την Ε& Α, μικρών έως μεσαίων όγκων παραγωγής και συμβατικών γραμμών LED.

Μπορεί να προσαρμοστεί το πάχος των 12 ιντσών ζαφείρινων πλακών;

Ναι. Οι τυποποιημένες επιλογές πάχους περιλαμβάνουν 800μm, 1000μm και 1200μm, και προσαρμοσμένες προδιαγραφές πάχους μπορούν να κατασκευαστούν σύμφωνα με τις απαιτήσεις της διαδικασίας του πελάτη.η πλώρη και η στροφή ελέγχονται αυστηρά σε όλες τις επιλογές πάχους για να διασφαλιστεί η επίπεδη φύση και η συμβατότητα της διαδικασίας.

Προσφέρετε άλλους κρυστάλλινους προσανατολισμούς εκτός του επιπέδου C (0001), και μπορεί να ρυθμιστεί η απόκλιση από τη γωνία;

    Εκτός από τον τυπικό προσανατολισμό C-επίπεδου για το GaN LED και την επιταξία της συσκευής ισχύος, διατίθενται προσανατολίσεις A-επίπεδου, R-επίπεδου και M-επίπεδου για τις συσκευές SOS RF,Μη πολικές συσκευές GaN και ειδικές οπτικές εφαρμογέςΗ ακριβής απόκλιση γωνίας μπορεί επίσης να προσαρμοστεί ανά σχεδίαση πελάτη ή απαιτήσεις επιταξιακής διαδικασίας για τη βελτιστοποίηση της ποιότητας του επιταξιακού φιλμ και της απόδοσης της συσκευής.

Μπορεί να εφαρμοστεί πρόσθετη επεξεργασία, όπως η διαμόρφωση με PSS ή η μεταλλικοποίηση σε πλακίδια 12 ιντσών;

    Ναι. Διατίθενται υπηρεσίες προστιθέμενης αξίας, συμπεριλαμβανομένης της διαμόρφωσης με PSS/NPSS, της πλήρους ή τοπικής μεταλλίωσης της πίσω πλευράς, της ακριβούς διαμόρφωσης των άκρων και της εξαιρετικά λεπτής αραίωσης των πλακιδίων.Η εφικτότητα εξαρτάται από τις διαστάσεις του σχεδίου, υλικά επικάλυψης, πάχος πλάκας και απαιτούμενη μηχανική αντοχή.

Πώς ελέγχεται η στρέβλωση για σαφείρινα πλακάκια μεγάλου μεγέθους 12 ιντσών υπό διαδικασίες υψηλής θερμοκρασίας; 

    Ο διακοσμητής ελέγχεται σε όλη την αλυσίδα παραγωγής, βελτιστοποιούμε την πίεση ανάπτυξης των κρυστάλλων κατά τη διάρκεια της ανάπτυξης των ίνγκων, απελευθερώνουμε υπολειμματική πίεση κατά τη διάρκεια της γλειψίματος και της γυάλωσης,και να εφαρμόσει ακριβή σχεδιασμό διαχωρισμού άκρωνΟι τιμές τόξου και δίνης ελέγχονται αυστηρά πριν από την παράδοση για να διασφαλιστεί η σταθερότητα των διαστάσεων και η ομοιόμορφη επιταξιακή ανάπτυξη υπό τις διαδικασίες MOCVD υψηλής θερμοκρασίας.

Υποστηρίζετε τις παραγγελίες μικρών παρτίδων πρωτότυπων για σαφείρινες πλάκες 12 ιντσών;

Ναι, ποσότητες πρωτότυπων, δοκιμαστικές παρτίδες σε εργαστηριακή κλίμακα και παραγγελίες αντικατάστασης συντήρησης είναι όλα αποδεκτά.Δυσκολία επεξεργασίας και απαιτούμενη ποιότητα.

Συγγενικά προϊόντα

Αλ2Ο3 Σαφείρι Κουτί ρολογιού Διαφανής Κλασικός κύκλος AR επίστρωση

Διαφανείς σωλήνες γυαλιού ζαφείριου