| Ονομασία μάρκας: | ZMSH |
| Αριθμός μοντέλου: | SiC Wafer HPSI |
| MOQ: | 25 |
| Τιμή: | Fluctuates with market |
| Χρόνος παράδοσης: | 2-4 εβδομάδες |
| Όροι πληρωμής: | T/T |
Οι πλακέτες καρβιδίου του πυριτίου HPSI (High Purity Semi-Insulating) είναι κρίσιμες θεμελιώδεις υποστρώσεις για συσκευές GaN RF υψηλής συχνότητας και προηγμένα ημιαγωγούς τρίτης γενιάς. Με την ταχεία επέκταση της επικοινωνίας 5G, των ραντάρ χιλιοστομετρικού κύματος και των αγορών αεροδιαστημικής ηλεκτρονικής, η παγκόσμια αγορά υποστρωμάτων SiC αναμένεται να ξεπεράσει τα 2 δισεκατομμύρια USD έως το 2030, παίζοντας αναντικατάστατο στρατηγικό ρόλο στην ασύρματη επικοινωνία επόμενης γενιάς και σε συστήματα ηλεκτρονικών ισχύος. υψηλής ισχύος.![]()
Ανάντη: Σκόνη καρβιδίου του πυριτίου υψηλής καθαρότητας (βαθμός άνω του 6N), φούρνοι ανάπτυξης κρυστάλλων με φυσική μεταφορά ατμών (PVT) και εξαρτήματα θερμικού πεδίου γραφίτη υψηλής καθαρότητας. Ο εξοπλισμός ανάπτυξης κρυστάλλων υψηλής τεχνολογίας και οι πρώτες ύλες εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας εξακολουθούν να αντιμετωπίζουν μερική εξάρτηση από εισαγωγές στην αλυσίδα βιομηχανίας. Μεσαίο τμήμα: Ανάπτυξη μονοκρυστάλλου SiC → διαμόρφωση ράβδου → κοπή με πολλαπλά σύρματα → λείανση → χημική μηχανική στίλβωση (CMP) → επεξεργασία επιφάνειας έτοιμης για επιταξία. Αυτό το τμήμα χαρακτηρίζεται από εξαιρετικά υψηλά τεχνικά εμπόδια, με την απόδοση κρυστάλλου και τον έλεγχο ελαττωμάτων ως βασικούς δείκτες ανταγωνιστικότητας. Κατάντη: Συσκευές ισχύος GaN RF (που αντιπροσωπεύουν το μεγαλύτερο μερίδιο κατανάλωσης HPSI SiC), ενισχυτές ισχύος σταθμών βάσης 5G, τσιπ ραντάρ χιλιοστομετρικού κύματος, εξαρτήματα αεροδιαστημικής ηλεκτρονικής, συσκευές μικροκυμάτων υψηλής συχνότητας και πρωτότυπα συσκευών ισχύος υψηλής τάσης. Η ζήτηση κατάντη συνεχίζει να αυξάνεται, οδηγούμενη από την αναβάθμιση της τεχνολογίας επικοινωνιών και τις νέες ενεργειακές και αμυντικές βιομηχανίες.
Οι πλακέτες 4H HPSI SiC είναι ημιαγώγιμες μονοκρυσταλλικές υποστρώματα καρβιδίου του πυριτίου υψηλής καθαρότητας με <0001> κρυσταλλική προσανατολισμό, που παράγονται κυρίως με τη μέθοδο ανάπτυξης κρυστάλλων Φυσικής Μεταφοράς Ατμών (PVT). Η ημιαγώγιμη ιδιότητα επιτυγχάνεται μέσω ελέγχου εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας και τεχνολογίας ντόπινγκ βαναδίου, επιτυγχάνοντας εξαιρετικά υψηλή ειδική αντίσταση. Η επιφάνεια έτοιμη για επιταξία υφίσταται στίλβωση CMP ακριβείας για να επιτευχθεί λείανση ατομικού επιπέδου, πληρώντας τις αυστηρές απαιτήσεις επιταξίας MOCVD GaN.
Οι πλακέτες HPSI SiC μας κατασκευάζονται από μονοκρυσταλλικό καρβίδιο του πυριτίου υψηλής καθαρότητας βαθμού 6N (4H-SiC), ειδικά αναπτυγμένο για περιβάλλοντα κατασκευής ημιαγωγών RF υψηλής συχνότητας και υψηλής τεχνολογίας. Το υλικό διαθέτει εξαιρετική θερμική αγωγιμότητα, εξαιρετικά υψηλή ηλεκτρική ειδική αντίσταση, εξαιρετική αντοχή στη χημική διάβρωση και ανώτερη μηχανική αντοχή, διατηρώντας σταθερή ηλεκτρική και φυσική απόδοση υπό συνθήκες επιταξίας υψηλής θερμοκρασίας, λειτουργίας υψηλής ισχύος και σκληρών συνθηκών επεξεργασίας πλάσματος.
Τα υποστρώματα SiC διατίθενται σε κύριους πολυτύπους και κρυσταλλικούς προσανατολισμούς για να ταιριάζουν με διαφορετικές απαιτήσεις συσκευών ημιαγωγών. Το 4H-SiC είναι η κυρίαρχη επιλογή για συσκευές RF και ισχύος με ισορροπημένη κινητικότητα ηλεκτρονίων και σταθερότητα υλικού. Οι επιλογές 6H-SiC καλύπτουν ειδικά σενάρια οπτοηλεκτρονικών συσκευών και συσκευών υψηλής θερμοκρασίας. Διατίθενται προσαρμοσμένες προδιαγραφές εκτός γωνίας (π.χ., 4° εκτός άξονα) για τη βελτιστοποίηση της ποιότητας της επιταξιακής στρώσης και της απόδοσης της συσκευής.
Διατίθεται σε βαθμούς SSP (Single Side Polished) και DSP (Double Side Polished) για να ταιριάζει με διαφορετικά σενάρια διαδικασίας. Οι επιφάνειες που έχουν στυλβωθεί με CMP έτοιμες για επιταξία επιτυγχάνουν εξαιρετικά χαμηλή τραχύτητα επιφάνειας Ra < 0.1 nm, με αυστηρά ελεγχόμενες τιμές TTV, BOW και WARP. Η ατομικού επιπέδου λεία, χωρίς ελαττώματα επιφάνεια πληροί τέλεια τα πρότυπα ανάπτυξης επιταξίας MOCVD GaN, διασφαλίζοντας ομοιόμορφη εναπόθεση επιταξιακής στρώσης και υψηλή συνέπεια της απόδοσης RF της συσκευής.![]()
Τα υποστρώματα HPSI SiC παρέχουν εξαιρετικά υψηλή ειδική αντίσταση (≥ 1×10¹⁰ Ω·cm) και εξαιρετικά χαμηλή διηλεκτρική απώλεια, εξαλείφοντας αποτελεσματικά τη διασταύρωση σημάτων και τη διαρροή για συσκευές RF υψηλής συχνότητας και υψηλής ισχύος. Με θερμική αγωγιμότητα 3–4 φορές υψηλότερη από το ζαφείρι, προσφέρουν εξαιρετική ικανότητα απαγωγής θερμότητας, βελτιώνοντας σημαντικά την πυκνότητα ισχύος της συσκευής και τη μακροπρόθεσμη αξιοπιστία υπό λειτουργία υψηλού φορτίου.
Οι προδιαγραφές των υποστρωμάτων μπορούν να προσαρμοστούν πλήρως σύμφωνα με τις τεχνικές απαιτήσεις του πελάτη, συμπεριλαμβανομένων:
Εκτός από τις τυπικές πλακέτες SiC χωρίς επίστρωση, παρέχουμε προσαρμοσμένη λειτουργική επεξεργασία πλήρους διαδικασίας για την υποστήριξη διαφοροποιημένων εφαρμογών πελατών. Οι διαθέσιμες υπηρεσίες περιλαμβάνουν:
Υποστηρίζουμε την προσαρμοσμένη ανάπτυξη και παραγωγή πλακετών SiC βάσει σχεδίων πελατών, δειγμάτων αναφοράς, παραμέτρων διαδικασίας εξοπλισμού, προδιαγραφών υπαρχόντων εξαρτημάτων και απαιτήσεων αντίστροφης μηχανικής. Όλα τα προϊόντα συμμορφώνονται με τα πρότυπα RoHS και REACH, παρέχοντας σταθερές λύσεις υποστρωμάτων υψηλής απόδοσης για αναβάθμιση διαδικασιών ημιαγωγών, αντιστοίχιση εξοπλισμού και έργα τοπικής αντικατάστασης.
Οι πλακέτες HPSI SiC είναι βασικές θεμελιώδεις υποστρώσεις που υιοθετούνται ευρέως στις βιομηχανίες επικοινωνιών RF και προηγμένων ημιαγωγών, εφαρμόσιμες για τις ακόλουθες συσκευές και διαδικασίες κατασκευής:
Τα υποστρώματα HPSI SiC έχουν εμπορευματοποιηθεί μαζικά για κύρια σενάρια RF και υψηλής τεχνολογίας ημιαγωγών, χαρακτηρίζονται από σταθερή συνέπεια παρτίδας, χαμηλό ρυθμό ελαττωμάτων και εξαιρετική συμβατότητα διαδικασιών.
| Στοιχείο | Προδιαγραφή |
|---|---|
| Προϊόν | Πλακέτα Καρβιδίου του Πυριτίου HPSI / Υπόστρωμα SiC |
| Υλικό | Μονοκρύσταλλο 4H-SiC Ημιαγώγιμο Υψηλής Καθαρότητας |
| Μέθοδος Ανάπτυξης | Φυσική Μεταφορά Ατμών (PVT) |
| Κρυσταλλική Δομή | Εξαγωνική Δομή Wurtzite |
| Διάμετρος | 2" / 4" / 6" / 8" ή Προσαρμοσμένο |
| Πάχος | Προσαρμοσμένο (π.χ., 350 µm – 650 µm) |
| Προσανατολισμός | (0001) C-plane, 4° εκτός άξονα / Προσαρμοσμένο |
| Φινίρισμα Επιφάνειας | SSP (Single Side Polished) / DSP (Double Side Polished) / Lapped |
| Ποιότητα Επιφάνειας | Scratch-Dig κατά MIL-PRF-13830B (π.χ., 20/10, 10/5) |
| Ειδική Αντίσταση | ≥ 1×10¹⁰ Ω·cm (Ημιαγώγιμο) |
| Πυκνότητα Μικροσωλήνων (MPD) | ≤ 1 τεμ./cm² (Βαθμός Παραγωγής) / Προσαρμοσμένο |
| TTV (Συνολική Απόκλιση Πάχους) | ≤ 3 µm (ή κατά απαίτηση πελάτη) |
| Κύρτωση / Παραμόρφωση | ≤ 10 µm (ή κατά απαίτηση πελάτη) |
| Τραχύτητα (Ra) | Στιλβωμένο: ≤ 0.1 nm / Λείανση: ≤ 0.5 µm |
| Τύπος Άκρου | Με Κύρια Επίπεδη Ακμή / Εγκοπή (κατά πρότυπο SEMI) |
| Προφίλ Άκρου | Κομμένο / Στρογγυλεμένο όπως απαιτείται |
| Ντόπαντ | Ντοπαρισμένο με Βανάδιο / Εγγενές Ημιαγώγιμο |
| Καθαρότητα | ≥ 99.9999% (Βαθμός 6N) |
| Επίστρωση | Χωρίς επίστρωση / Επιταξιακή στρώση / Μεταλλική επίστρωση διαθέσιμη |
| Εφαρμογή | Επικοινωνία RF / Επιταξία GaN / Μικροκύματα / Αεροδιαστημική |
Οι πλακέτες καρβιδίου του πυριτίου HPSI είναι βασικές θεμελιώδεις υποστρώσεις που εφαρμόζονται ευρέως στην επιταξία GaN RF, την κατασκευή συσκευών υψηλής συχνότητας και τα συστήματα ηλεκτρονικών μικροκυμάτων. Λειτουργώντας ως φορέας για την ανάπτυξη επιταξιακών στρώσεων GaN, AlGaN και άλλων, λειτουργούν σε ακραία περιβάλλοντα κατασκευής που χαρακτηρίζονται από υψηλή θερμοκρασία, υψηλή πυκνότητα ισχύος, ισχυρή διάβρωση πλάσματος και ηλεκτρομαγνητικά πεδία υψηλής συχνότητας.
Σε σύγκριση με τα παραδοσιακά υλικά υποστρωμάτων από ζαφείρι, πυρίτιο και κοινά κεραμικά, τα ημιαγώγιμα υποστρώματα SiC υψηλής καθαρότητας ενσωματώνουν ανώτερες ολοκληρωμένες φυσικές και ηλεκτρικές ιδιότητες, καθιστώντας τα αναντικατάστατα για διαδικασίες ημιαγωγών RF υψηλής τεχνολογίας και υψηλής ισχύος. Τα βασικά πλεονεκτήματα περιλαμβάνουν:![]()
Για τους παραπάνω λόγους, τα υποστρώματα HPSI SiC έχουν γίνει το προτιμώμενο κύριο υλικό για συσκευές GaN RF, τσιπ επικοινωνιών χιλιοστομετρικού κύματος, αεροδιαστημική ηλεκτρονική και άλλα βασικά εξαρτήματα ημιαγωγών.
Ειδικευόμαστε στην προσαρμοσμένη και τυποποιημένη κατασκευή πλακετών HPSI SiC για εξοπλισμό επικοινωνιών RF και προηγμένων ημιαγωγών, εστιάζοντας σε λύσεις υψηλής ακρίβειας προσαρμοσμένες για βιομηχανική παραγωγή και εργαστηριακή έρευνα και ανάπτυξη. Σπάμε τους περιορισμούς των σταθερών τυπικών προδιαγραφών και προσαρμόζουμε τις πλακέτες πλήρως σύμφωνα με τις πραγματικές παραμέτρους διαδικασίας των πελατών, τις απαιτήσεις αντιστοίχισης εξοπλισμού και τα πρότυπα σχεδιασμού συσκευών.
Οι ολοκληρωμένες επιλογές προσαρμογής καλύπτουν παραμέτρους πλακέτας πλήρους διαδικασίας και υποστηρικτικές δομές:
Μπορούμε να παρέχουμε ολοκληρωμένα εξαρτήματα συναρμολογημένα με πλακέτες SiC και αντιστοιχισμένα μεταλλικά/κεραμικά μέρη για να καλύψουμε τις ανάγκες άμεσης εγκατάστασης και χρήσης των πελατών.
Για διακοπείσες πλακέτες SiC, δυσπρόσιτα πρωτότυπα εξαρτήματα και προσαρμοσμένα υποστρώματα μη τυπικών προδιαγραφών για ειδικό εξοπλισμό ημιαγωγών, παρέχουμε επαγγελματικές υπηρεσίες αντίστροφης μηχανικής και κατασκευής αντικατάστασης. Οι πελάτες μπορούν να παρέχουν τις ακόλουθες πληροφορίες για αξιολόγηση και προσφορά:
Η επαγγελματική ομάδα μηχανικών μας θα πραγματοποιήσει ολοκληρωμένη αξιολόγηση της δομής της πλακέτας, της κρυσταλλικής απόδοσης, της δυσκολίας επεξεργασίας και της εφικτότητας κατασκευής πριν από την επίσημη προσφορά. Όλες οι προσαρμοσμένες πλακέτες αντικατάστασης θα βελτιστοποιηθούν για συμβατότητα διαδικασίας. Η τελική απόδοση αντιστοίχισης θα επιβεβαιωθεί σύμφωνα με την πραγματική διαμόρφωση εξοπλισμού των πελατών και τα πρότυπα διαδικασίας παραγωγής για να διασφαλιστεί μηδενική διαφορά στο αποτέλεσμα χρήσης.
Εφαρμόζουμε ποιοτικό έλεγχο ακριβείας πλήρους διαδικασίας για όλες τις πλακέτες HPSI SiC, και μπορούμε να παρέχουμε στοχευμένα στοιχεία ελέγχου και πλήρεις αναφορές δοκιμών σύμφωνα με τις απαιτήσεις του έργου του πελάτη και τα βιομηχανικά πρότυπα. Τα βασικά περιεχόμενα ελέγχου περιλαμβάνουν:
Μπορούν να παρασχεθούν επίσημες αναφορές ελέγχου με πλήρη δεδομένα δοκιμών για την υποστήριξη της επαλήθευσης εισερχόμενων υλικών του πελάτη και της ιχνηλασιμότητας ποιότητας παραγωγής.
Για να διασφαλιστεί ακριβής προσφορά και να μειωθεί ο κύκλος παράδοσης, παρακαλούμε να παρέχετε τις ακόλουθες λεπτομερείς πληροφορίες κατά τη διαβούλευση:
Εάν δεν υπάρχουν πλήρη τεχνικά σχέδια, παρακαλούμε να παρέχετε σαφείς φωτογραφίες υψηλής ευκρίνειας και φυσικά δείγματα της πλακέτας για να πραγματοποιήσει η ομάδα μας δοκιμές παραμέτρων και αξιολόγηση σχεδίου.
Για τι χρησιμοποιούνται κυρίως οι πλακέτες HPSI SiC;
Οι πλακέτες HPSI (High Purity Semi-Insulating) SiC είναι βασικές υποστρώσεις φορέα για την κατασκευή συσκευών RF υψηλής συχνότητας και προηγμένων ημιαγωγών, που χρησιμοποιούνται κυρίως σε ενισχυτές ισχύος GaN RF, τσιπ σταθμών βάσης 5G, ραντάρ χιλιοστομετρικού κύματος, αεροδιαστημική ηλεκτρονική, MMIC μικροκυμάτων και άλλους τομείς, κατάλληλες για επιταξία υψηλής θερμοκρασίας, εναπόθεση λεπτών υμενίων και διαδικασίες χάραξης ακριβείας.
Μπορείτε να παρέχετε προσαρμοσμένα ολοκληρωμένα εξαρτήματα συναρμολόγησης πλακετών;
Ναι. Εκτός από μεμονωμένα υποστρώματα πλακετών SiC, μπορούμε να προσαρμόσουμε διάφορες αντιστοιχισμένες βάσεις, μεταλλικές βάσεις, εξαρτήματα θέσης και ολοκληρωμένα συναρμολογημένα εξαρτήματα σύμφωνα με σχέδια και απαιτήσεις δειγμάτων, πραγματοποιώντας μονοαπευθυντική υποστηρικτική προμήθεια.
Μπορείτε να παράγετε πλακέτες αντικατάστασης για παλιό και ειδικό εξοπλισμό;
Ναι. Υποστηρίζουμε πλήρως προσαρμοσμένη κατασκευή, συμπεριλαμβανομένης της παραγωγής βάσει σχεδίων και της αντίστροφης μηχανικής δειγμάτων. Οι πελάτες μπορούν να παρέχουν αριθμούς πρωτότυπων εξαρτημάτων, τεχνικές παραμέτρους, φυσικά δείγματα και πληροφορίες εξοπλισμού, και η ομάδα μας θα ολοκληρώσει την αντιστοίχιση απόδοσης και την εναλλακτική κατασκευή.
Μπορούν να προσαρμοστούν όλες οι βασικές παράμετροι των πλακετών SiC;
Ναι. Όλες οι βασικές παράμετροι, συμπεριλαμβανομένου του μεγέθους πλακέτας, του πάχους, του πολυτύπου κρυστάλλου, της επεξεργασίας άκρων, της τραχύτητας επιφάνειας, της επιπεδότητας και του βαθμού στίλβωσης, μπορούν να προσαρμοστούν πλήρως σύμφωνα με τις απαιτήσεις διαδικασίας του πελάτη για να καλύψουν εξατομικευμένες ανάγκες έρευνας και ανάπτυξης και παραγωγής.
Υποστηρίζετε παραγγελίες μικρών παρτίδων και πρωτοτύπων;
Ναι. Υποστηρίζουμε πλήρως την ανάπτυξη πρωτοτύπων, τις δοκιμές μικρών παρτίδων εργαστηρίου, την αντικατάσταση συντήρησης εξοπλισμού και τις παραγγελίες μαζικής παραγωγής. Θα αξιολογήσουμε το σχέδιο παραγωγής και την προσφορά σύμφωνα με τις προσαρμοσμένες παραμέτρους και τη δυσκολία επεξεργασίας.