Οι σωλήνες εφοδιασμού με ζαφείρι είναι εξειδικευμένα εξαρτήματα που χρησιμοποιούνται σε ημιαγωγικά πλάσμα και εξοπλισμό επεξεργασίας, όπου ο σωλήνας μπορεί να εκτεθεί σε ενέργεια μικροκυμάτων ή ραδιοσυχνοτήτων, σε αντιδραστικά αέρια επεξεργασίας,αυξημένες θερμοκρασίες και πλάσμα που παράγεται από τα είδη.

Σε απομακρυσμένα συστήματα πλάσματος, το αέριο της διαδικασίας μπορεί να περάσει από ένα σωλήνα εφαρμοστή ενώ η ενέργεια μικροκυμάτων συνδυάζεται στην περιοχή του εφαρμοστή για να παράγει αντιδραστικά είδη πλάσματος.Το ζαφείρι είναι ιδιαίτερα κατάλληλο για αυτό το είδος εφαρμογής λόγω του συνδυασμού της θερμικής σταθερότητας, ηλεκτρική μόνωση, χημική αντοχή και χαρακτηριστικά μετάδοσης μικροκυμάτων/RF.

Οι σωλήνες εφαρμοστή ζαφείρι μπορούν να προμηθευτούνται ως μεμονωμένοι σωλήνες ή ως ολοκληρωμένα σύνολα που ενσωματώνουν μεταλλικά περιβλήματα ακριβείας, συσσωρευτές με νήματα,Συσκευές για την κατασκευή ή την κατασκευή οχημάτων με κινητήρα.

Το προϊόν που παρουσιάζεται εδώ συνδυάζει ένα σωλήνα ζαφείρινης ακρίβειας με μηχανική μεταλλική δομή τοποθέτησης και προορίζεται για χρήση ως αντικαταστατικό ή εξατομικευμένο εξαρτήμα για εξοπλισμό διεργασίας ημιαγωγών.

Βασικά χαρακτηριστικά

Υλικό υψηλής καθαρότητας ζαφείρι

Ο σωλήνας εφοδιασμού κατασκευάζεται από συνθετικό ζαφείρι κατάλληλο για απαιτητικά περιβάλλοντα εξοπλισμού ημιαγωγών.

Το ζαφείρι παρέχει εξαιρετική αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες, έκθεση σε πλάσμα και χημικά επιθετικές συνθήκες διαδικασίας, διατηρώντας παράλληλα υψηλή μηχανική αντοχή.

Κατάλληλο για εφαρμογές πλάσματος

Τα σωλήνες σαφείρου χρησιμοποιούνται ευρέως σε εφαρμογές επεξεργασίας ημιαγωγών, συμπεριλαμβανομένων σωλήνων εφαρμοστή πλάσματος, σωλήνων περιορισμού πλάσματος,Συστατικά των εγχέτρων αερίων διεργασίας και συναφή συστήματα παραγωγής πλάσματος.

Συμφωνητικό με τα μικροκύματα και τις ραδιοσυχνότητες

Το ζαφείρι προσφέρει εξαιρετικά διηλεκτρικά χαρακτηριστικά και ικανότητα μετάδοσης ραδιοκυμάτων/μικροκυμάτων, καθιστώντας το κατάλληλο για στοιχεία που τοποθετούνται σε συστήματα παραγωγής πλάσματος μικροκυμάτων ή απομακρυσμένων.

Κατασκευή σωλήνων ακριβείας

Οι διαστάσεις των σωλήνων μπορούν να ελέγχονται σύμφωνα με τις απαιτήσεις του πελάτη, συμπεριλαμβανομένων:

• Εξωτερική διάμετρος
• Εσωτερική διάμετρος
• Μοντέλο
• Συνολικό μήκος
• Τελική γεωμετρία
• Δομή ώμου
• Σχεδιασμός αυλαίας
• Εκτέλεση επιφάνειας
• Διασύνδεση συναρμολόγησης

Ζαφείρι + συναρμολόγηση μετάλλου

Εκτός από την κατασκευή σωλήνων ζαφείρι, μπορούμε να παρέχουμε ολοκληρωμένες συναρμολογίες που ενσωματώνουν μεταλλικά εξαρτήματα.

Οι διαθέσιμες υπηρεσίες μπορεί να περιλαμβάνουν:

• Κεφάλαια από μεταλλικό υλικό ακριβείας
• Εξωτερικά νήματα
• Εσωτερικές δομές στερέωσης
• Μηχανοκίνητα μανίκια
• Άλλες συσκευές
• Διασύνδεση σφράγισης
• Συγκρότημα από ζαφείρι σε μέταλλο
• Κατασκευή ανταλλακτικών συναρμολογίων

Αντικειμενικά ανταλλακτικά

Υποστηρίζουμε εξατομικευμένα εξαρτήματα εξοπλισμού ημιαγωγών σύμφωνα με:

• Σχέδια πελατών
• Αρχικά δείγματα
• Μέγεθος εξοπλισμού
• Υφιστάμενες προδιαγραφές κατασκευαστικών στοιχείων
• Αριθμοί αναφοράς OEM
• Απαιτήσεις αντίστροφης μηχανικής

Αυτό καθιστά το προϊόν κατάλληλο για έργα συντήρησης, αντικατάστασης και τοπικοποίησης εξοπλισμού ημιαγωγών.

Τυπικές εφαρμογές

Οι σωλήνες εφοδιασμού με ζαφείρι μπορούν να χρησιμοποιηθούν σε εξοπλισμό και διαδικασίες όπως:

• Συστήματα απομακρυσμένης πηγής πλάσματος
• Καθαρισμός θαλάμου πλάσματος
• Παραγωγή πλάσματος μικροκυμάτων
• Εξοπλισμός CVD με ημιαγωγούς
• Εξοπλισμός PECVD
• Εξοπλισμός HDP-CVD
• Εξοπλισμός χαρακτικής με πλάσμα
• Συστήματα ξηρής χαρακτικής
• Παροχή αερίου διεργασίας
• Συστήματα ενεργοποίησης αερίων πλάσματος
• Ανταλλακτικά εξαρτημάτων εξοπλισμού ημιαγωγών

Οι σωλήνες ζαφείριου χρησιμοποιούνται ήδη εμπορικά για εφαρμογές σε εφαρμοστή πλάσματος ημιαγωγών, περιορισμό πλάσματος και εγχέσεις αερίων διεργασίας.

Προδιαγραφές προϊόντος

Σημείωση: Οι διαστάσεις και οι δομές συναρμολόγησης παράγονται σύμφωνα με τον εξοπλισμό, το σχέδιο ή το υπάρχον δείγμα του πελάτη.

Γιατί να Χρησιμοποιούμε Ζαφείρι για Τύπους Εφαρμογής Πλάσματος;

Ο σωλήνας εφαρμοστή βρίσκεται σε ένα από τα πιο απαιτητικά σημεία ενός συστήματος παραγωγής πλάσματος.

Ανάλογα με τον σχεδιασμό του εξοπλισμού, ο σωλήνας μπορεί ταυτόχρονα να αντιμετωπίζει αντιδραστικά αέρια, ενεργητικά είδη πλάσματος, ενέργεια μικροκυμάτων και αυξημένες θερμοκρασίες.

Σε σύγκριση με τα συμβατικά υλικά γυαλιού, το ζαφείρι παρέχει συνδυασμό:

• Αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες
• Υψηλή μηχανική αντοχή
• Εξαιρετική χημική σταθερότητα
• Αντίσταση πλάσματος
• Καλές διηλεκτρικές ιδιότητες
• Μεταφορά μικροκυμάτων/RF
• Πιθανότητα μακροχρόνιας εξυπηρέτησης σε απαιτητικά περιβάλλοντα διαδικασίας

Για το λόγο αυτό, ο ζαφείριος έχει γίνει ένα σημαντικό μηχανολογικό υλικό για σωλήνες εφαρμοστή πλάσματος και άλλα εξαρτήματα εξοπλισμού διεργασίας ημιαγωγών.

Κατασκευή σωλήνων για την εφαρμογή ζαφείριου

Κατασκευάζουμε εξαρτήματα ζαφείρι για εξοπλισμό ημιαγωγών με έμφαση στις προσαρμοσμένες και αντικαταστατικές εφαρμογές.

Αντί να περιορίζουμε τους πελάτες σε τυποποιημένες διαστάσεις σωλήνων, μπορούμε να κατασκευάζουμε εξαρτήματα σύμφωνα με τις πραγματικές απαιτήσεις εξοπλισμού διαδικασίας.

Οι επιλογές προσαρμογής περιλαμβάνουν:

Σωλήνες ζαφείρι

• Υπερβολική δόση και ταυτοποίηση
• μήκος του σωλήνα
• Μοντέλο
• Τέρματα σωλήνων
• Βήματα και ώμοι
• Άλλες συσκευές και συσκευές
• Ακατέργαστη επιφάνεια
• Απαιτήσεις γυάλωσης

Μεταλλικά στοιχεία

• Διάμετροι του σπιτιού
• Προδιαγραφές νήματος
• Διασύνδεση τοποθέτησης
• Άλλες συσκευές
• Άγγελα
• Διαρθρώσεις συνδέσμων

Συγκρότηση

Οι σωλήνες σαφείρου μπορούν επίσης να προμηθεύονται με αντίστοιχα μεταλλικά εξαρτήματα ως συναρμολογημένο μέρος εξοπλισμού ημιαγωγών.

Υπηρεσία αντικατάστασης και αντίστροφης μηχανικής

Για τα εξαρτήματα εξαρτημάτων ημιαγωγών που έχουν διακοπεί, είναι δύσκολο να προμηθευτούνται ή έχουν προσαρμοστεί, οι πελάτες μπορούν να μας στείλουν:

1. Αριθμός μέρους αρχικού εξοπλισμού
2. Τεχνικό σχέδιο
3. Φωτογραφίες
4. Χρησιμοποιημένο ή νέο δείγμα
5. Κριτικές διαστάσεις
6. Πρότυπο εξοπλισμού
7. Πληροφορίες για την αίτηση

Η ομάδα μηχανικών μας μπορεί να αξιολογήσει τη δομή και την κατασκευαστική σκοπιμότητα πριν από την προσφορά.

Για τα εξαρτήματα που κατασκευάζονται ως εναλλακτικά υφιστάμενων εξαρτημάτων εξοπλισμού, η τελική συμβατότητα θα πρέπει πάντα να επιβεβαιώνεται με βάση τη διαμόρφωση του εξοπλισμού και τις τεχνικές προδιαγραφές του πελάτη.

Έλεγχος ποιότητας

Ανάλογα με τις απαιτήσεις του πελάτη, η επιθεώρηση μπορεί να περιλαμβάνει:

• Επιθεώρηση διαστάσεων
• Επιθεώρηση OD / ID
• Μέτρηση πάχους τοίχου
• Επιθεώρηση μήκους
• Επιθεώρηση επιφάνειας
• Επιθεώρηση νήματος
• Επιθεώρηση συναρμολόγησης
• Επιθεώρηση οπτικών ελαττωμάτων
• Επιθεώρηση συσκευασίας

Οι εκθέσεις επιθεώρησης μπορούν να παρέχονται σύμφωνα με τις απαιτήσεις του έργου.

Ποιες Πληροφορίες Πρέπει να Στέλνετε για Προτιμήματα;

Για ταχύτερη προσφορά, παρακαλείστε να αναφέρετε:

• Σχέδιο προϊόντος
• Υπερβολική δόση σαφείρινου σωλήνα
• Ταυτοποίηση σωλήνα ζαφείριου
• μήκος του σωλήνα
• Μοντέλο
• Εκτέλεση επιφάνειας
• Μεταλλικό υλικό στερέωσης
• Προδιαγραφές νήματος
• Ετικέτα/μοντέλο εξοπλισμού
• Αριθμός εξαρτήματος OEM, εάν υπάρχει
• Απαιτούμενη ποσότητα
• Περιβάλλον εφαρμογής ή διαδικασίας

Εάν δεν υπάρχει διαθέσιμο σχέδιο, παρακαλείσθε να στείλετε σαφείς φωτογραφίες και φυσικό δείγμα για αξιολόγηση.

Γενικές ερωτήσεις

Για ποιο σκοπό χρησιμοποιείται ένας σωλήνας εφαρμοστή ζαφείρι;

Ένας σωλήνας εφαρμοστή ζαφείρι χρησιμοποιείται συνήθως σε εξοπλισμό πλάσματος ημιαγωγών, ιδιαίτερα στην παραγωγή πλάσματος, στο απομακρυσμένο καθαρισμό πλάσματος και στα συστήματα ενεργοποίησης αερίων διεργασίας.

Μπορείτε να κατασκευάσετε το πλήρες σύνολο του σωλήνα εφαρμοστή;

Εκτός από τους σαφείριους σωλήνες, μπορούν να κατασκευαστούν προσαρμοσμένα μεταλλικά περιβλήματα, συστατικά με νήματα και μηχανικά σύνολα σύμφωνα με σχέδια ή δείγματα.

Μπορείτε να κατασκευάσετε ανταλλακτικά για υπάρχοντα εξαρτήματα ημιαγωγών;

Υποστηρίζουμε την κατασκευή βασισμένη σε σχέδια και δείγματα για ανταλλακτικά εξαρτημάτων εξοπλισμού ημιαγωγών.πληροφορίες για δείγματα και εξοπλισμό για αξιολόγηση.

Μπορείτε να προσαρμόσετε τις διαστάσεις του σωλήνα;

Η εξωτερική διάμετρος, η εσωτερική διάμετρος, το μήκος, το πάχος του τοίχου, η γεωμετρία του τερματισμού του σωλήνα και η επιφάνεια μπορούν να προσαρμοστούν.

Προσφέρετε μικρές ποσότητες;

Τα έργα πρωτοτύπου, συντήρησης και μικρών παρτίδων εξοπλισμού ημιαγωγών μπορούν να αξιολογηθούν σύμφωνα με τις απαιτούμενες διαστάσεις και τη δυσκολία κατασκευής.