Προσαρμοσμένη Πλάκα Κεραμικού Καρβιδίου του Πυριτίου (SiC) με Σκαλοπάτια για Εξοπλισμό Ημιαγωγών

Επισκόπηση Προϊόντος

Αυτό το προσαρμοσμένο κεραμικό εξάρτημα από καρβίδιο του πυριτίου διαθέτει γεωμετρία κυκλικής πλάκας με ακριβώς μηχανουργημένο σκαλοπάτι. Η δομή με σκαλοπάτια επιτρέπει την ακριβή αξονική τοποθέτηση και τη σταθερή ενσωμάτωση σε θάλαμους διεργασιών ημιαγωγών και προηγμένα θερμικά συστήματα.

Κατασκευασμένο από SiC κεραμικό υψηλής καθαρότητας, το εξάρτημα προσφέρει εξαιρετική αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες, έκθεση σε πλάσμα, χημική διάβρωση και θερμικό σοκ. Η επιφάνεια παραμένει σκόπιμα μη γυαλισμένη, καθώς το εξάρτημα έχει σχεδιαστεί για λειτουργική και δομική χρήση και όχι για οπτικές ή ηλεκτρονικές εφαρμογές.

Τυπικές χρήσεις περιλαμβάνουν καλύμματα θαλάμων, καπάκια επένδυσης, πλάκες στήριξης και προστατευτικά δομικά εξαρτήματα σε εξοπλισμό κατασκευής ημιαγωγών όπου η μακροχρόνια σταθερότητα διαστάσεων και η αξιοπιστία του υλικού είναι κρίσιμης σημασίας.

Βασικά Χαρακτηριστικά

• Κεραμικό υλικό καρβιδίου του πυριτίου υψηλής καθαρότητας

• Σχεδιασμός με σκαλοπάτια για ακριβή τοποθέτηση και συναρμολόγηση

• Λειασμένη, μη γυαλισμένη επιφάνεια βελτιστοποιημένη για λειτουργική απόδοση

• Εξαιρετική θερμική σταθερότητα και χαμηλή θερμική παραμόρφωση

• Εξαιρετική αντοχή σε πλάσμα, χημικά και διαβρωτικά αέρια

• Υψηλή μηχανική αντοχή και ακαμψία

• Κατάλληλο για περιβάλλοντα κενού και καθαρών διεργασιών

• Διαθέσιμες προσαρμοσμένες διαστάσεις και γεωμετρίες

Τεχνικές Παράμετροι (Τυπικές)

Σημείωση: Οι παράμετροι ενδέχεται να διαφέρουν ανάλογα με τον βαθμό SiC, τη μέθοδο σχηματισμού και τις απαιτήσεις μηχανουργικής κατεργασίας.

Τυπικές Εφαρμογές

• Θάλαμοι διεργασιών ημιαγωγών (CVD, PECVD, LPCVD, συστήματα χάραξης)

• Καλύμματα θαλάμων και καπάκια επένδυσης

• Δομικές πλάκες στήριξης σε εξοπλισμό υψηλής θερμοκρασίας

• Κεραμικά εξαρτήματα που βλέπουν ή είναι παρακείμενα στο πλάσμα

• Προηγμένα συστήματα επεξεργασίας κενού

• Προσαρμοσμένα κεραμικά δομικά μέρη για εξοπλισμό ημιαγωγών και οπτικοηλεκτρονικής

Δυνατότητες Προσαρμογής

• Προσαρμοσμένη εξωτερική διάμετρος και πάχος

• Προσαρμοσμένο ύψος και πλάτος σκαλοπατιού

• Προαιρετική λεπτή λείανση ή στίλβωση κατόπιν αιτήματος

• Μηχανουργική κατεργασία σύμφωνα με σχέδια ή δείγματα πελατών

• Υποστηρίζεται μικρή παρτίδα, πρωτότυπο και παραγωγή όγκου

Συχνές Ερωτήσεις

Ε1: Ποια είναι η κύρια λειτουργία αυτής της κεραμικής πλάκας SiC με σκαλοπάτια;

Α:
Αυτό το εξάρτημα χρησιμοποιείται κυρίως ως δομικό ή λειτουργικό κεραμικό μέρος, όπως κάλυμμα θαλάμου, πλάκα στήριξης ή καπάκι επένδυσης, σε εξοπλισμό διεργασιών ημιαγωγών και υψηλής θερμοκρασίας. Ο σχεδιασμός με σκαλοπάτια επιτρέπει την ακριβή τοποθέτηση και τη σταθερή συναρμολόγηση εντός των δομών του εξοπλισμού.

Ε2: Γιατί η επιφάνεια είναι μη γυαλισμένη;

Α:
Η μη γυαλισμένη επιφάνεια είναι σκόπιμη. Αυτό το εξάρτημα δεν χρησιμοποιείται για οπτικές ή ηλεκτρονικές λειτουργίες, αλλά για δομικούς και προστατευτικούς σκοπούς. Οι λειασμένες επιφάνειες είναι επαρκείς και συχνά προτιμώνται για βελτιωμένη μηχανική σταθερότητα και μειωμένο κόστος κατασκευής σε εφαρμογές θαλάμων διεργασιών.

Ε3: Είναι αυτό το εξάρτημα κατάλληλο για περιβάλλοντα πλάσματος;

Α:
Ναι. Το καρβίδιο του πυριτίου προσφέρει εξαιρετική αντοχή στη διάβρωση από πλάσμα και τη χημική διάβρωση, καθιστώντας το κατάλληλο για εφαρμογές που βλέπουν ή είναι παρακείμενες στο πλάσμα σε θαλάμους διεργασιών ημιαγωγών.

Ε4: Μπορεί αυτό το εξάρτημα να χρησιμοποιηθεί σε συστήματα κενού;

Α:
Ναι. Το υλικό και η διαδικασία κατασκευής είναι συμβατά με περιβάλλοντα κενού. Το κεραμικό SiC παρουσιάζει χαμηλή εκπομπή αερίων και διατηρεί τη σταθερότητα των διαστάσεων υπό συνθήκες κενού και θερμικής κυκλοφορίας.

Ε5: Μπορούν οι διαστάσεις και η γεωμετρία των σκαλοπατιών να προσαρμοστούν;

Α:
Απολύτως. Η εξωτερική διάμετρος, το πάχος, το ύψος του σκαλοπατιού, το πλάτος του σκαλοπατιού και τα χαρακτηριστικά των άκρων μπορούν όλα να προσαρμοστούν σύμφωνα με τα σχέδια ή τις απαιτήσεις εφαρμογής του πελάτη.

Ε6: Προσφέρετε γυαλισμένες ή επικαλυμμένες εκδόσεις;

Α:
Προαιρετικό φινίρισμα επιφανειών, συμπεριλαμβανομένης της λεπτής λείανσης ή στίλβωσης, μπορεί να παρασχεθεί κατόπιν αιτήματος. Οι επιστρώσεις μπορεί επίσης να είναι διαθέσιμες ανάλογα με την εφαρμογή και το περιβάλλον λειτουργίας.

Ε7: Ποιες βιομηχανίες χρησιμοποιούν συνήθως αυτόν τον τύπο εξαρτήματος;

Α:
Αυτός ο τύπος κεραμικού εξαρτήματος SiC χρησιμοποιείται συνήθως στην κατασκευή ημιαγωγών, την οπτοηλεκτρονική, τα προηγμένα συστήματα κενού και τον βιομηχανικό εξοπλισμό επεξεργασίας υψηλής θερμοκρασίας.

Σχετικό Προϊόν

Πλάκα λείανσης CMP​​ ​​ Χημική-Μηχανική Στίλβωση των Γκοφρετών