1 ιντσών Single Wafer Cassette για αποθήκευση Wafer με ασφάλεια ESD

1 ιντσών Single Wafer Cassette για αποθήκευση Wafer με ασφάλεια ESD

Η κασέτα κυψελών 1 ίντσες είναι ένα εξειδικευμένο δοχείο σχεδιασμένο για την αποθήκευση, τη μεταφορά και τον αυτοματοποιημένο χειρισμό κυψελών 1 ίντσες (25,4 mm) στην κατασκευή ημιαγωγών, οπτοηλεκτρονικών συσκευών,και μικροηλεκτρονικής Ε&Α. Κατασκευάζεται από πολυμερή υψηλής καθαρότητας (όπως PEEK ή PVDF) ή αντιστατικά υλικά, εξασφαλίζει την προστασία της πλάκας από μόλυνση, ηλεκτροστατική βλάβη,και φυσική επίδραση σε περιβάλλοντα καθαρών δωματίωνΗ κασέτα συμμορφώνεται με τα πρότυπα SEMI και είναι κατάλληλη για αυτοματοποιημένα συστήματα μεταφοράς κυψελών σε διαδικασίες όπως MOCVD, PECVD, λιθογραφία και χαρακτική.

1 ίντσες κασέτα WaferΒασικά χαρακτηριστικά

1Υπερκαθαρή απόδοση:

• Κασέτα Wafer 1 ίντσες πιστοποιημένη για καθαρό δωμάτιο κλάσης 100 με εξαιρετικά χαμηλή παραγωγή σωματιδίων (< 5 σωματίδια/πόδι 3 για > 0,1μm)

• Η ομαλή επιφάνεια αποτρέπει τις γρατζουνιές

2Προστασία ESD:

• Επικάλυψη ενισχυμένη με αντηλιακή άνθρακα ή αντιστατική, με αντίσταση επιφάνειας 106-109Ω/sq

• Το 1 ιντσών Wafer Cassette αποτρέπει αποτελεσματικά την έλξη σωματιδίων και την ηλεκτροστατική βλάβη

3Μηχανική αξιοπιστία:

• Ανθεκτικότητα σε υψηλές θερμοκρασίες (μέχρι 150°C) και σε χημικές ουσίες (έναντι οξέων, αλκαλίων και οργανικών διαλύτες)

• 1 ιντσών Wafer Cassette δοκιμασμένο από δονήσεις σχεδιασμός σύμφωνα με την ασφαλή μεταφορά

4Συμφωνία αυτοματισμού:

• Τυποποιημένες διεπαφές 1 ιντσών Wafer Cassette (συμβατές SMIF/FOUP) για χειρισμό από ρομπότ

• Συμβατό με τους κύριους εξοπλισμούς ημιαγωγών (ASML, Εφαρμοσμένα υλικά κλπ.)

5Προστασία κυψελών ακριβείας:

• 1 ιντσών Wafer Cassette ακρίβεια γωνίας σχισμής ± 0,1 mm με σφάλμα τοποθέτησης wafer ≤ 0,05 mm

• Προαιρετικές υποδομές ετικέτας RFID για την ιχνηλασιμότητα της πλάκας