Λεπτομέρειες:
Πληρωμής & Αποστολής Όροι:
|
Μέγεθος: | 2inch 3inch 4inch 6inch 8inch 12inch | Επενδύσεις: | < 0.5μm |
---|---|---|---|
TTV: | < 2μm/3μm/5μm | Τύπος επιφάνειας: | SSP/dsp |
Ακατέργαστη επιφάνεια: | ≤ 1 nm | Εφαρμογές: | Μάσκες Λιθογραφίας Ημιαγωγών, Συσκευές UV Οπτικής |
Επισημαίνω: | 12 ιντσών Κουάρτζινες βάφλες,6 ιντσών Κουαρτζικές βάφλες,4 γκοφρέτες χαλαζία ίντσας |
Τα πλακίδια κουάρτζου είναι υποστρώματα ακριβείας κατασκευασμένα από υλικά υψηλής καθαρότητας συνθετικού κουάρτζου, που χρησιμοποιούνται ευρέως σε ημιαγωγούς, οπτοηλεκτρονικά, οπτικά και μικροηλεκτρομηχανικά συστήματα (MEMS). Η ZMSH ειδικεύεται στην έρευνα και ανάπτυξη και την παραγωγή υλικών ημιαγωγών κουαρτσού, προσφέροντας προϊόντα όπως πλακίδια κουαρτσού, οπτικά παράθυρα κουαρτσού, σωλήνες κουαρτσού και σκάφη κουαρτσού,με τα κουάρτς σαν βασική μας γραμμή προϊόντων. Παρέχουμε προσαρμόσιμες λύσεις για πλακέτες από 2 έως 12 ίντσες, που πληρούν ειδικές απαιτήσεις σε διαστάσεις, πάχος και επεξεργασίες επιφάνειας (φλούδα, επικάλυψη κ.λπ.).
Η ZMSH προσφέρει διαθεσιμότητα σε αποθέματα και υπηρεσίες επεξεργασίας προσαρμοσμένων, διασφαλίζοντας υψηλή ακρίβεια (π.χ. TTV ≤5μm), ανώτερη επίπεδεια (Ra ≤1nm),και εξαιρετική αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες (σημείο μαλακώσεως έως 1730°C). Τα προϊόντα μας εφαρμόζονται ευρέως στην κατασκευή ημιαγωγών, στην τεχνολογία φωτομάσκας, στους αισθητήρες και στα συστήματα λέιζερ.
Μέγεθος | Δοκίμημα | 2 ίντσες. | 3 ίντσες. | 4 ίντσες. | 6 ίντσες. | 8 ίντσες. | 12 ίντσες. |
Διάμετρος |
χμ | 50.8 | 76.2 | 100 | 150 | 200 | 300 |
Ανεπάρκεια (±) | χμ | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
Δάχος | μm | 100 και άνω | 100 και άνω | 100 και άνω | 300 και άνω | 400 και άνω | 500 και άνω |
Πρωταρχικό επίπεδο αναφοράς | χμ | 32.5 | 32.5 | 32.5 | 57.5 | Τεχνικές συσκευές | Τεχνικές συσκευές |
Επικαιροποίηση των διαστάσεων των τροχών | μm | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 | < 0.5 |
TTV | μm | < 2 | < 2 | < 2 | < 3 | Επενδύσεις | < 5 |
Υποκλίνεσαι. | μm | ±20 | ±20 | ±20 | ±30 | ±40 | ±40 |
Δύση. | μm | ≤ 30 | ≤ 30 | ≤ 30 | ≤ 40 | ≤ 50 | ≤ 50 |
PLTV ((5mm*5mm) <0,4um | % | ≥ 95% | ≥ 95% | ≥ 95% | ≥ 95% | ≥ 95% | ≥ 95% |
Στρογγυλοποίηση άκρων | χμ | ΣΕΜΙ STD. | ΣΕΜΙ STD. | ΣΕΜΙ STD. | ΣΕΜΙ STD. | ΣΕΜΙ STD. | ΣΕΜΙ STD. |
Τύπος επιφάνειας | ΕΣΠ/ΕΣΠ | ΕΣΠ/ΕΣΠ | ΕΣΠ/ΕΣΠ | ΕΣΠ/ΕΣΠ | ΕΣΠ/ΕΣΠ | ΕΣΠ/ΕΣΠ | |
Επεξεργασία της επιφάνειας | nm | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 1 | ≤ 1 |
Οι βασικές ιδιότητες των πλακιδίων κουαρτς περιλαμβάνουν:
1Υλικό υψηλής καθαρότητας: Συνθετικός κουαρτς (π.χ. Suprasil ή Corning 7980) με καθαρότητα SiO2 ≥ 99,99%, ελαχιστοποιώντας τις προσμείξεις στις διεργασίες των ημιαγωγών.
2Θερμική σταθερότητα: Χαμηλός συντελεστής θερμικής διαστολής (5,5×10−7/°C), αντέχει θερμοκρασίες άνω των 1000°C σε ακραία περιβάλλοντα.
3Οπτική απόδοση: Υψηλή διαπερατότητα από UV σε IR μήκη κύματος (π.χ. > 90% σε βαθειά UV), ιδανική για λιθογραφία και εφαρμογές λέιζερ.
4. Επιφανειακή ακρίβεια: Εξαιρετικής ακρίβειας γυαλισμός με τραχύτητα επιφάνειας (Ra) ≤ 0,5 nm και συνολική διακύμανση πάχους (TTV) ≤ 5 μm.
5. Πεδίο μεγέθους: Τυποποιημένα μεγέθη2 ίντσες, 4 ίντσες, 6 ίντσες, 8 ίντσες έως 12 ίντσες, με υποστήριξη εξατομικευμένων προδιαγραφών.
6Χημική αδράνεια: Ανθεκτικό στα ισχυρά οξέα (εκτός από το HF), τα αλκαλικά και την εικόνα πλάσματος, κατάλληλο για διεργασίες ημιαγωγών.
Τα πλακίδια κουάρτζου διαδραματίζουν κρίσιμο ρόλο στους τομείς προηγμένης τεχνολογίας, όπως περιγράφεται λεπτομερώς παρακάτω:
Πεδίο εφαρμογής | Ειδικές χρήσεις | Τα πλεονεκτήματα των κυψελών από χαλαζία |
Κατασκευή ημιαγωγών | - Υποστρώματα φωτομάσκες - Φορείς επεξεργασίας χαρακτικής - Χοντρή γυάλισσα CMP - Προσωρινές πλάκες σύνδεσης |
Υψηλή επίπεδεια, χαμηλή θερμική διαστολή, αντοχή στη διάβρωση από πλάσμα |
Οπτοηλεκτρονικές συσκευές | - Λάιζερ παράθυρα - Υποστρώματα οπτικών φίλτρων - Υποστρώματα αισθητήρων υπέρυθρων - Συσκευή φωτοανιχνευτή |
Υψηλή διαπερατότητα UV-IR, χαμηλή απώλεια απορρόφησης |
MEMS/NEMS | - Διαρθρωτικές στρώσεις MEMS - Διαφράγματα αισθητήρων ακριβείας - Πρότυπα νανοαποτυπώσεων |
Υπερ-ομαλή επιφάνεια, υψηλή ακαμψία, χημική σταθερότητα |
Συσκευές 5G & RF | - Υπόστρωμα φίλτρου SAW/BAW - Βάσεις κεραίας υψηλής συχνότητας - Δηλεκτρικοί αντηχούντες μικροκυμάτων |
Μικρή διαλεκτρική απώλεια, σταθερή απόδοση σήματος υψηλής συχνότητας |
Έρευνα & Οπτική | - Οπτική ακτινοβολίας συγχροντρονίου - Διάφραση ακτίνων Χ. - Αντίθρακες λέιζερ υψηλής ισχύος |
Αντίσταση στην ακτινοβολία, υψηλό κατώτατο όριο ζημιών από λέιζερ |
Νέα Ενέργεια | - Υποστρώματα επικάλυψης φωτοβολταϊκών κυψελών - στρώματα ηλεκτρολυτών κυψελών καυσίμου - Έρευνα για διαχωριστικά μπαταριών λιθίου |
Αντοχή σε υψηλές θερμοκρασίες, πρόληψη της μετανάστευσης ιόντων |
Ολοκληρωμένες λύσεις κυψελών από χαλαζία: Η ZMSH παρέχει εξατομικευμένη παραγωγή κυψελών από χαλαζία (2 "-12" τυποποιημένα / μη τυποποιημένα μεγέθη) με επεξεργασία ακριβείας (φώτιση, επίστρωση κλπ.) με χρήση υλικών υψηλής καθαρότητας (φυσιογενής πυριτίνη UV), χαμηλής περιεκτικότητας σε OH). Οι υπηρεσίες μας περιλαμβάνουν σε απόθεμα πλακίδια 4"/6"/8", βοηθητικά προϊόντα (φωτογραφικά παράθυρα, σωλήνες κουάρτζου), πλήρη πιστοποίηση δοκιμών και τεχνική υποστήριξη για την επιλογή υλικών και βελτιστοποίηση διαδικασιών.
1. Ε: Ποια μεγέθη πλακιδίων κουαρτζ είναι διαθέσιμα για εφαρμογές ημιαγωγών;
Α: Παρέχουμε τυποποιημένα πλακάκια κουάρτς από 2 ίντσες έως 12 ίντσες με εξατομικευμένα μεγέθη και προδιαγραφές που είναι διαθέσιμα κατόπιν αιτήματος.
2Ε: Ποια είναι τα κύρια πλεονεκτήματα της χρήσης των πλακών κβαρτζ στην παραγωγή ημιαγωγών;
Απάντηση: Τα πλακίδια από χαλαζία προσφέρουν εξαιρετική θερμική σταθερότητα, υψηλή καθαρότητα και εξαιρετική χημική αντοχή, καθιστώντας τα ιδανικά για απαιτητικές διεργασίες ημιαγωγών.
Ετικέτες: #2-12Inch Quartz Substrate, #2inch,3inch,4inch,6inch,8inch,12inch, #Customized, #Fused Silica Plates, #SiO2 Crystal, #Quartz wafers, #JGS1/JGS2 Grade, #High-Purity,Οπτικά εξαρτήματα πυριτίου, #Πλάκα γυαλιού κουάρτζου, #διάμετρος 200 mm, #Σφαιρίδιο γυαλιού κρυστάλλου κουάρτζου, #5N καθαρότητα SiO2, #Ανθεκτικό στη θερμότητα, #διαφανές, #Μονοκρυσταλλικό υπόστρωμα κρυστάλλου κουάρτζου, #TTV ≤10μm, #Ra ≤1,0 nm,Αισθητήρες υψηλής ακρίβειας
Υπεύθυνος Επικοινωνίας: Mr. Wang
Τηλ.:: +8615801942596