Λεπτομέρειες:
Πληρωμής & Αποστολής Όροι:
|
Διάμετρος: | 6 ίντσες (150 χιλ.) | Δυνατότητα ανοχής σε πάχος: | ±0,02 mm |
---|---|---|---|
Συνολική διακύμανση πάχους: | ≤10μm | Ακατέργαστη επιφάνεια: | ≤ 0,5 nm Ra |
Παράλληλος: | ≤3μm | Αντίσταση: | > 1016 Ω·cm |
Επισημαίνω: | Υπόστρωμα διαφανούς κρυστάλλου κουαρτζίου ανθεκτικό στη θερμότητα,Μονοκρυσταλλικό κρύσταλλο κβάρτζου |
Ο δίσκος χαλαζία 6 ιντσών (διάμετρος 150mm) κατασκευάζεται από γυαλί χαλαζία υψηλής καθαρότητας (καθαρότητα ≥99,999%) με πάχος που κυμαίνεται από 50-500μm. Η τραχύτητα της επιφάνειας ελέγχεται σε Ra ≤0,5nm μέσω CMP (Χημική Μηχανική Στίλβωση). Η διαδικασία κατασκευής περιλαμβάνει:
· Καθαρισμός πρώτης ύλης: Εξαγωγή πυριτίου ηλεκτρονικής ποιότητας από άμμο χαλαζία μέσω διεργασιών χλωρίωσης και αναγωγής, επιτυγχάνοντας καθαρότητα 99,9999%.
· Ανάπτυξη μονοκρυστάλλου: Κατασκευή ράβδων πυριτίου μονοκρυστάλλου χρησιμοποιώντας τη μέθοδο Czochralski (CZ), με πυκνότητα ελαττωμάτων <1 ελάττωμα/cm².
· Κοπή και Επεξεργασία: Κοπή ράβδων πυριτίου σε δίσκους 150mm μέσω πριονίσματος πολλαπλών συρμάτων, ακολουθούμενη από στίλβωση διπλής όψης και χάραξη με λέιζερ για να εξασφαλιστεί ανοχή πάχους ≤±15μm.
Pαράμετρος | Προδιαγραφή |
Διάμετρος | 6 ίντσες (150mm) |
Εύρος πάχους | 0,5mm~3,0mm |
Ανοχή πάχους | ±0,02mm |
Συνολική μεταβολή πάχους | ≤10μm |
Τραχύτητα επιφάνειας (Γυαλισμένη) | ≤0,5nm Ra |
Παραλληλότητα | ≤3μm |
CTE (20-300°C) | 0,55×10⁻⁶/°C |
Διαπερατότητα @193nm | >92% |
Αντίσταση | >10¹⁶ Ω·cm |
Συμβατότητα κενού | 10⁻¹⁰ Torr |
Αντοχή σε κάμψη (Ενισχυμένη) | 500-700MPa |
Ο δίσκος χαλαζία 6 ιντσών είναι μια κυκλική λεπτή μεμβράνη κατασκευασμένη από υλικό χαλαζία υψηλής καθαρότητας, που χρησιμοποιείται ευρέως στην κατασκευή ημιαγωγών, την οπτοηλεκτρονική και την ακριβή οπτική. Τα βασικά χαρακτηριστικά περιλαμβάνουν:
· Υψηλή καθαρότητα και αντοχή στη θερμότητα: Καθαρότητα γυαλιού χαλαζία ≥99,999%, σημείο μαλάκυνσης ~1730°C, βραχυπρόθεσμη ανοχή έως 1450°C.
· Χαμηλή θερμική διαστολή: Συντελεστής θερμικής διαστολής 0,5×10⁻⁶/°C (25-300°C), ικανός να αντέχει σε θερμικό σοκ (ΔT ≥800°C).
· Χημική σταθερότητα: Αντιστέκεται στη διάβρωση από όλα τα οξέα εκτός από το υδροφθορικό οξύ, με αντοχή στη διάβρωση 30× υψηλότερη από τα κεραμικά και 150× υψηλότερη από τον ανοξείδωτο χάλυβα.
· Οπτική απόδοση: Υψηλή διαπερατότητα στο φάσμα υπεριώδους έως κοντινού υπέρυθρου (ορατό φως >93%, κοντινό υπέρυθρο >95%).
· Μηχανική αντοχή: Σκληρότητα Mohs 7, αντοχή σε θλίψη ανώτερη από το τυπικό γυαλί.
1. Κατασκευή ημιαγωγών: Χρησιμοποιείται σε διόδους, τρανζίστορ και MOSFET, υποστηρίζοντας την αυτοκινητοβιομηχανία και τους ημιαγωγούς ισχύος.
2. Οπτοηλεκτρονική: Χρησιμεύει ως υποστρώματα για οπτικές ίνες, συσκευές λέιζερ και κυματοδηγούς σε δίκτυα 5G και κέντρα δεδομένων.
3. Ακριβής οπτική: Εφαρμόζεται σε συστήματα υπέρυθρης απεικόνισης, οπτικά λέιζερ και φακούς υψηλής διαπερατότητας.
4. Αισθητήρες και όργανα: Βασικά εξαρτήματα σε αισθητήρες MEMS και ιατρικό διαγνωστικό εξοπλισμό.
5. Αεροδιαστημική: Οπτικά παράθυρα υψηλής θερμοκρασίας και ανθεκτικά στη θερμότητα εξαρτήματα για διαστημόπλοια.
Οι σωλήνες χαλαζία είναι γυαλί χαλαζία υψηλής καθαρότητας που κατασκευάζονται σε σωληνωτές δομές, που χρησιμοποιούνται ευρέως σε διαδικασίες διάχυσης/οξείδωσης ημιαγωγών και σε φωτοβολταϊκό εξοπλισμό. Οι υπηρεσίες μας περιλαμβάνουν:
· Προσαρμοσμένη επεξεργασία: Εσωτερικές διαμέτρους (5-50mm), μήκη (100-1000mm) και πάχη τοιχωμάτων (0,5-3mm). Υποστηρίζονται πολύπλοκες γεωμετρίες (λυγισμένοι σωλήνες, σωλήνες πολλαπλών θαλάμων).
· Τεχνικά πλεονεκτήματα: Λειτουργεί στους 1100°C μακροπρόθεσμα, χαμηλή περιεκτικότητα σε υδροξύλιο (<1ppm) και υψηλή αντοχή στη μόλυνση, πληρώντας τις απαιτήσεις καθαριότητας ποιότητας ημιαγωγών.
1. Ε: Ποιες είναι οι κύριες εφαρμογές των δίσκων χαλαζία 6 ιντσών?
Α: Οι δίσκοι χαλαζία 6 ιντσών χρησιμοποιούνται ευρέως στην κατασκευή ημιαγωγών (π.χ., δίοδοι, MOSFET), την οπτοηλεκτρονική (οπτικές ίνες, λέιζερ) και τους αισθητήρες ακριβείας λόγω της υψηλής θερμικής σταθερότητας και της οπτικής διαφάνειας.
2. Ε: Ποιες προκλήσεις υπάρχουν στην παραγωγή δίσκων χαλαζία 6 ιντσών?
Α: Οι βασικές προκλήσεις περιλαμβάνουν τη διατήρηση εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας (>99,999% SiO₂), την ελαχιστοποίηση των ελαττωμάτων κατά την ανάπτυξη κρυστάλλων και τη διασφάλιση ομοιομορφίας στις διαδικασίες κοπής/στίλβωσης.
Ετικέτες: #6 Ίντσα Υπόστρωμα Χαλαζία, #Προσαρμοσμένο, #Πλάκες από τήγμα πυριτίου, #SiO₂ Κρύσταλλο, #Δίσκοι χαλαζία, #Βαθμός JGS1/JGS2, # Υψηλής καθαρότητας, #Οπτικά εξαρτήματα από τήγμα πυριτίου, #Πλάκα γυαλιού χαλαζία, #Διάμετρος 150mm, #Δίσκος γυαλιού κρυστάλλου χαλαζία, #5N Καθαρότητα SiO₂, #Ανθεκτικό στη θερμότητα, #Διαφανές, #Υπόστρωμα μονοκρυσταλλικού κρυστάλλου χαλαζία, #Συσκευές SAW
Υπεύθυνος Επικοινωνίας: Mr. Wang
Τηλ.:: +8615801942596