Δίσκος Χαλαζία 4 ιντσών, Διάμετρος 100mm, Δίσκος Διογκωμένου Πυριτίου για την Κατασκευή Ημιαγωγών
Ο δίσκος χαλαζία 4 ιντσών (100mm) είναι ένα υπόστρωμα διογκωμένου πυριτίου εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας, μεγάλης μορφής, σχεδιασμένο για εφαρμογές υψηλής ακρίβειας και υψηλής σταθερότητας σε ημιαγωγούς, οπτοηλεκτρονική και προηγμένα οπτικά. Σε σύγκριση με τους δίσκους 3 ιντσών, η προδιαγραφή 4 ιντσών προσφέρει σημαντικά μεγαλύτερη χρησιμοποιήσιμη επιφάνεια, βελτιώνοντας την αποδοτικότητα της παραγωγής—ειδικά για τη μαζική κατασκευή φωτομασκών IC, οπτικών λέιζερ υψηλής ισχύος και αισθητήρων MEMS.
Η ZMSH ειδικεύεται στην Έρευνα και Ανάπτυξη και την παραγωγή δίσκων χαλαζία 4 ιντσών και μεγαλύτερων, προσφέροντας:
- Προσαρμογή πλήρους μεγέθους: Υποστηρίζει δίσκους 4 ιντσών, 6 ιντσών και 8 ιντσών, με μη τυπικά μεγέθη (π.χ., τετράγωνα, σε σχήμα τομέα) διαθέσιμα.
- Επεξεργασία υψηλής ακρίβειας: Περιλαμβάνει διπλής όψης εξαιρετικά στίλβωση (Ra≤0,5nm), κοπή με λέιζερ (ανοχή ±0,01mm) και διάτρηση μικρο-οπών/ειδικού σχήματος.
- Λειτουργικές επεξεργασίες: Αντιανακλαστικές (AR) επιστρώσεις, αντιανακλαστικές IR, επιστρώσεις άνθρακα τύπου διαμαντιού (DLC) και άλλα.
- Λύσεις βιομηχανικού επιπέδου: Καθαρότητα επιπέδου ημιαγωγών (Class 10), χαμηλή πυκνότητα ελαττωμάτων (≤0,1/cm²), ιδανικό για λιθογραφία EUV και κβαντική υπολογιστική.
Προδιαγραφή για δίσκου χαλαζία 4 ιντσών
| Τεχνικός Όρος |
Προδιαγραφή |
| Διάμετρος |
4 ίντσες (100mm) |
| Εύρος Πάχους |
0,5mm~1,5mm |
| Τραχύτητα επιφάνειας (Γυαλισμένη) |
≤0,5nm |
| Διαπερατότητα @193nm |
>93% |
| CTE (20-300°C) |
0,55×10⁻⁶/°C |
| Παραλληλότητα |
≤3μm |
| Συμβατότητα κενού |
10⁻¹⁰ Torr |
Βασικά Χαρακτηριστικά του δίσκου χαλαζία 4 ιντσών
1. Ακρίβεια μεγάλου μεγέθους: TTV≤10μm σε διάμετρο 100mm εξασφαλίζει ομοιομορφία διεργασίας.
2. Εξαιρετικά χαμηλό CTE: 0,55×10⁻⁶/°C, κατάλληλο για διεργασίες υψηλής θερμοκρασίας (π.χ., ανόπτηση, εμφύτευση ιόντων).
3. Ευρυζωνική διαφάνεια: >93% διαπερατότητα @193nm (DUV), >90% @3-5μm (IR).
4. Ανώτερη ποιότητα επιφάνειας: Διπλής όψης γυαλισμένο με Ra≤0,5nm για νανοκλίμακα λιθογραφία.
5. Βελτιωμένη ανθεκτικότητα: Προαιρετική χημική ενίσχυση ενισχύει την αντοχή σε κάμψη στα 600MPa; ανθεκτικό στο πλάσμα.
Στρατηγικές Εφαρμογές του δίσκου χαλαζία 4 ιντσών
| Πεδίο |
Εφαρμογές |
| Ημιαγωγοί |
Οπτικά λιθογραφίας EUV, υποστρώματα φωτομασκών, διασυνδέσεις 3D NAND |
| Λέιζερ υψηλής ισχύος |
Καθρέφτες λέιζερ, πλέγματα συμπίεσης παλμών, ακροφύσια ινών λέιζερ |
| Κβαντική Τεχνολογία |
Φορείς τσιπ qubit, θυρίδες παγίδας ψυχρών ατόμων, υποστρώματα ανιχνευτών μονοφωτονίων |
| Αεροδιαστημική |
Φακοί δορυφόρων, παράθυρα αισθητήρων ανθεκτικά στην ακτινοβολία, ανιχνευτές σωματιδίων |
| Βιοϊατρική |
Τσιπ αλληλουχίας DNA, οπτικά ενδοσκοπίων, καλούπια συσκευών μικρορευστολογίας |
Υπηρεσίες Προσαρμογής
Η ZMSH παρέχει προσαρμογή από άκρο σε άκρο για δίσκους χαλαζία 4 ιντσών, συμπεριλαμβανομένων:
- Επιλογή υλικού: JGS1/JGS2 UV-grade ή IR-grade διογκωμένο πυρίτιο.
- Μηχανική κατεργασία ακριβείας: Νανοκλίμακα στίλβωση (λ/20), μικροδομή λέιζερ (ακρίβεια ±1μm).
- Λειτουργικές επιστρώσεις: AR (193-1064nm), επιστρώσεις λέιζερ υψηλής LIDT (>5J/cm²).
- Υποστήριξη QA: Πλήρεις αναφορές επιθεώρησης (AOI, παρεμβολομετρία).
Συχνές ερωτήσεις
Το μήνυμά σας πρέπει να αποτελείται από 20-3.000 χαρακτήρες!
