Υπόστρωμα χαλαζία 3 ιντσών, υψηλής καθαρότητας, τήγματος πυριτίου, δίσκος διαμέτρου 76,2mm, JGS1/JGS2

3 ίντσες Κουάρτζιο Υπόστρωμα υψηλής καθαρότητας λιωμένο σιλικόζη Wafer 76.2mm Διαμέτρου JGS1/JGS2

- Δεν ξέρω.Η πλακέτα κουάρτζης 3 ιντσών (76,2 mm) είναι ένα υποστρώμα σιδηροπυριτίου μεγάλης μορφής υψηλής καθαρότητας που έχει σχεδιαστεί ειδικά για προηγμένους ημιαγωγούς, οπτικοηλεκτρονικά,και οπτικές εφαρμογές ακριβείας που απαιτούν μεγαλύτερες περιοχές επεξεργασίας. Σε σύγκριση με τις πλάκες 2 ιντσών, η προδιαγραφή 3 ιντσών βελτιώνει την αποτελεσματικότητα της παραγωγής και μειώνει την απώλεια άκρων, καθιστώντας την ιδιαίτερα κατάλληλη για συσκευές MEMS που κατασκευάζονται σε παρτίδες, προηγμένες φωτομάσκες,και οπτικά συστήματα λέιζερ.

Η ZMSH ειδικεύεται στην εξατομικευμένη παραγωγή πλακιδίων κουαρτσού μεγάλου μεγέθους, προσφέροντας:

· Πλήρης κάλυψη:Από 2 ιντσών έως 12 ιντσών πλακίδια, που υποστηρίζουν προσαρμογή μη τυποποιημένου μεγέθους

· Επεξεργασία σύνθετων μορφών:Στρογγυλές πλάκες, τετράγωνες πλάκες και ειδικές διατομές (π.χ. διατομές, διατομές D)

· Πολυλειτουργική επεξεργασία επιφάνειας:Ηλεκτρονική λαξευτική μεμονωμένη/διπλή πλευρά, επικάλυψη (AR/IR/DLC), χαρακτική μικροδομής

· Λύσεις βιομηχανίας:Καθαρότητα στην κατηγορία των ημιαγωγών (κλάση 100), γεώτρηση με λέιζερ, σημάδια ευθυγράμμισης υψηλής ακρίβειας

Προδιαγραφή για3 ιντσών κουάρτζινη πλάκα

Βασικά χαρακτηριστικά του3 ιντσών κουάρτζινη πλάκα

- Ομοιογένεια μεγάλου μεγέθους: TTV≤15μm σε διάμετρο 76,2mm εξασφαλίζει την ομοιομορφία της διαδικασίας σε μεγάλες περιοχές

- Βαθιά βελτιστοποίηση UV: > 92% διαπερατότητα σε 193nm, υποστηρίζοντας εφαρμογές λιθογραφίας ArF και laser DUV

- Αντοχή σε θερμικές συγκρούσεις: Συντελεστής θερμικής διαστολής 0,55×10−6/°C, αντέχει γρήγορους κύκλους θερμοκρασίας (1000°C/min)

- Χημική αδράνεια: Ανθεκτικό στην διάβρωση από πλάσμα, κατάλληλο για ξηρή χαρακτική και περιβάλλον CMP

- Μηχανική ενίσχυση: Προαιρετική χημική ενίσχυση αυξάνει την αντοχή στην κάμψη κατά 300% σε 500MPa

Κεντρικές εφαρμογές του3 ιντσών κουάρτζινη πλάκα

Προσαρμοσμένες λύσεις πρισμίου

Η ZMSH παρέχει υπηρεσίες προσαρμογής πρισμμάτων κουάρτζου για μήκη κύματος UV έως IR, συμπεριλαμβανομένων πρισμμάτων ορθογώνιας γωνίας, πενταπρισμμάτων και πρισμμάτων διαίρεσης δέσμης, με:

· Ακριβότητα επιφάνειας σε επίπεδο νανομέτρου(λ/10@632.8nm)

· Ειδικές επικαλύψεις(επιχρίσεις ανθεκτικές σε ζημιές από λέιζερ, επιχρίσεις διαίρεσης ακτίνων με πόλωση)

· Ενσωματωμένη επεξεργασία(υβριδικές δομές πρίσμα-κλάστρου, σχέδια ψύξης μικροκαναλιών)

Ιδανικό για εφαρμογές αιχμής στη διαμόρφωση δέσμης λέιζερ, τη φασματική ανάλυση και τα πειράματα φυσικής υψηλών ενεργειώνΕπενδύσεις.