3 ιντσών / 4 ιντσών / 6 ιντσών / 8 ιντσών Lithium Niobate Thin Film LNOI Wafers με οπτική απώλεια < 0,05 DB/cm

3 ιντσών/4 ιντσών/6 ιντσών/8 ιντσών Λιθιονιοβατικό Λεπτή Φύλλα LNOI με οπτική απώλεια < 0,05 dB/cm

Τα πλακίδια LNOI (Lithium Niobate on Insulator) αποτελούν ένα ολοκληρωμένο υποστρώμα φωτονικής υψηλών επιδόσεων που κατασκευάζεται με προηγμένες τεχνολογίες σύνδεσης πλακίδων (π.χ. Smart CutTM ή άμεση σύνδεση),ενσωματώνοντας λεπτές ταινίες μονοκρυστάλλων LiNbO3 (100nm-1μm πάχους) σε μονωτικά υπόστρωμα (όπως SiO2/Si ή ζαφείρι)Η ZMSH παρέχει πλακίδια LNOI μεγέθους 4 ιντσών, 6 ιντσών και προσαρμοσμένου μεγέθους που υποστηρίζουν πολλαπλούς κρυσταλλικούς προσανατολισμούς (X-cut, Y-cut, Z-cut), με προσαρμόσιμη ντόπινγκ φιλμ (π.χ.Δοπισμός MgO για την ενίσχυση του οπτικού ορίου βλάβης) και πάχος της στρώσης οξειδίου που έχει θαφτεί (100nm-2μm)Οι επιλογές υποστρώματος περιλαμβάνουν πυρίτιο, χαλαζία ή καρβίδιο πυριτίου για την κάλυψη διαφόρων αναγκών οπτοηλεκτρονικής ολοκλήρωσης.συμπεριλαμβανομένης της βελτιστοποίησης ταινίας, την εικόνα κυματοειδούς και τις υπηρεσίες δοκιμών σε επίπεδο συσκευής, επιτρέποντας τις προηγμένες εφαρμογές στις υψηλής ταχύτητας οπτικές επικοινωνίες και την κβαντική πληροφορική.

Προδιαγραφή για το νιοβατικό λίθιο σε σχήμα X σε πλάκες μονωτή (LNOI)

Βασικά χαρακτηριστικά τουΠυροσβεστήρες

(1) Υπερχαμηλή οπτική απώλεια: απώλεια εξάπλωσης κυματοδηγού < 0,05 dB/cm (πεδίο 1550 nm), 10 φορές χαμηλότερη από τις συμβατικές συσκευές LiNbO3 χύδην.

(2) Ισχυρή ηλεκτροφωτική επίδραση: Αποτελεσματικός ηλεκτρο-οπτικός συντελεστής (r33) έως και 90 pm/V (3× ενίσχυση μέσω περιορισμού του οπτικού πεδίου), επιτρέποντας τη διαμόρφωση υπερ-χαμηλής τάσης (Vπ~1V).

(3) Υψηλή πυκνότητα ολοκλήρωσης: Υποστηρίζει κυματοδρόμους υπομικρονικού μεγέθους (εύρος <1μm), μειώνοντας το αποτύπωμα της συσκευής κατά 100 φορές σε σύγκριση με το LiNbO3 χύδην.

(4) Συνδυασμός CMOSΔυνατότητα: Επιτρέπει την ετερογενή ολοκλήρωση με πλατφόρμες φωτονικής πυριτίου (SiPh) και νιτρικού πυριτίου (SiN) για πολυλειτουργικά φωτονικά τσιπ.

(5) Θερμική σταθερότητα: θερμοκρασία Curie έως 1140°C, κατάλληλη για διαδικασίες συσκευασίας υψηλής θερμοκρασίας.

Βασικές εφαρμογέςΠυροσβεστήρες

1. Υψηλής ταχύτητας οπτικές επικοινωνίες: Η ισχυρή ηλεκτρο-οπτική επίδραση του LNOI το καθιστά ιδανικό για 200Gbps+ συνεκτικές οπτικές μονάδες, όπως οι διαμορφωτές LiNbO3 λεπτής ταινίας (περίοδος ζώνης > 100GHz).

2Κβαντική οπτική.: Τα χαρακτηριστικά χαμηλής απώλειας υποστηρίζουν τη δημιουργία ζευγών φωτονίων και τον χειρισμό κβαντικών καταστάσεων για κλιμακώμενα δίκτυα κβαντικών υπολογιστών.

3Φωτονική μικροκυμάτων: Σε συνδυασμό με πιεζοηλεκτρικές επιδράσεις, επιτρέπει οπτικές φάσεις και φωτολογικά φίλτρα μικροκυμάτων (που καλύπτουν τις ζώνες 5G/6G mmWave).

4. Μη γραμμική οπτική: Υψηλός μη γραμμικός συντελεστής (χ(2)) κατάλληλος για χτένες συχνοτήτων και συσκευές παραμετρικής ενίσχυσης.

5Εφαρμογές αισθητήρα: Χρησιμοποιείται σε βιοχημικούς αισθητήρες υψηλής ευαισθησίας (π.χ. αντηχούντες μικροκύκλων LNOI με βάση το πυρίτιο).

Υπηρεσίες της ZMSH

Ως κορυφαίος προμηθευτής ολοκληρωμένων υποστρωμάτων φωτονικής, η ZMSH παρέχει πλήρες φάσμα τεχνικών υπηρεσιών που καλύπτουν ολόκληρη την αλυσίδα αξίας LNOI, συμπεριλαμβανομένου του προσαρμοσμένου σχεδιασμού λεπτών ταινιών (π.χ.Δομιζόμενο με κλίση LiNbO3), ανάπτυξη διαδικασιών σύνδεσης σε επίπεδο πλακιδίων (υποστηρίζοντας SiO2, AlN και άλλα μονωτικά στρώματα), νανοπλαστική (EBL και IBE) και επαλήθευση της απόδοσης σε επίπεδο συσκευής (π.χ.Δοκιμασία ηλεκτροφωτικής απόκρισης και χαρακτηρισμός THz)Η ZMSH έχει επιτύχει παραγωγή μικρών παρτίδων πλακών LNOI 6-ιντσών με απόδοση > 90%,και συνεργάζεται με παγκόσμια ερευνητικά ιδρύματα για την ανάπτυξη 8 ιντσών LNOI και ετερογενείς τεχνολογίες ενσωμάτωσης (eΗ μελλοντική Ε&Α επικεντρώνεται στη μείωση των απωλειών εισαγωγής (στόχος < 0,5%).02 dB/cm) και βελτίωση της αποτελεσματικότητας της διαμόρφωσης (r33 βελτιστοποίηση σε 120 pm/V) για την κάλυψη των απαιτήσεων για οπτικές επικοινωνίες 800G και κβαντικό διαδίκτυο.