Λεπτομέρειες προϊόντων
Place of Origin: CHINA
Μάρκα: ZMSH
Πιστοποίηση: rohs
Model Number: SiCOI Wafers
Όροι πληρωμής και αποστολής
Τιμή: by case
Delivery Time: 2-4weeks
Payment Terms: T/T
Size: |
4inch/6inch/8inch |
Surface Roughness: |
Ra<0.5nm |
Fracture Toughness: |
3.5 MPa·m¹/² |
CTE (4H-SiC): |
4.2×10⁻⁶/K |
Resistivity (SI): |
>1×10⁶ Ω·cm |
Application: |
Power electronics, radio frequency and 5G communication |
Size: |
4inch/6inch/8inch |
Surface Roughness: |
Ra<0.5nm |
Fracture Toughness: |
3.5 MPa·m¹/² |
CTE (4H-SiC): |
4.2×10⁻⁶/K |
Resistivity (SI): |
>1×10⁶ Ω·cm |
Application: |
Power electronics, radio frequency and 5G communication |
ΣύνοψηΣίκοϊ
Τα πλακάκια SICOI (Silicon Carbide on Insulator) αντιπροσωπεύουν μια προηγμένη τεχνολογία σύνθετου υποστρώματος που κατασκευάζεται είτε μέσω διαδικασιών Smart CutTM είτε μέσω διαδικασιών Bonding & Thinning. ZMSH supply 4-6 inch 4H-SICOI wafers by integrating high-quality SiC thin films with insulating layers (SiO₂/AlN) on silicon or SiC substrates via hydrophilic bonding or plasma-activated bonding techniques. Η διαδικασία Smart CutTM: χρησιμοποιεί εμφύτευση ιόντων υδρογόνου, σύνδεση χαμηλής θερμοκρασίας και απολέπιση ακριβείας για την επίτευξη εξαιρετικά λεπτών στρωμάτων SiC (50nm-20μm) με ομοιομορφία πάχους ±20nm,ιδανικό για υψηλής συχνότητας, συσκευές χαμηλής απώλειας. Μεθοδολογία αλίευσης + CMP: Κατάλληλη για απαιτήσεις παχύτερης ταινίας (200 nm έως προσαρμοσμένα πάχους) με ομοιομορφία ± 100 nm, προσφέροντας οικονομική απόδοση για εφαρμογές ηλεκτρονικής ισχύος. Τα ZMSH παρέχουν προσαρμόσιμες διερχόμενες ή ημιμονωτικές ταινίες SiC,με δυνατότητες βελτιστοποίησης της αναψίξεως με εμφύτευση ιόντων ή άμεσης αραίωσης/φοντιάσματος για την κάλυψη διαφορετικών απαιτήσεων απόδοσης και κόστους.
Συστατικό | Ιδιοκτησία | Προδιαγραφές | Πρότυπο μέτρησης |
Φύλλα 4H-SiC | Κρυστάλλινη δομή | Μονοκρυστάλλιο 4H-SiC | ΑΣTM F2094 |
Πληθυσμός ελαττωμάτων | <103 cm−2 (εξώσεις της πεταλούδας) | ||
Επεξεργαστική επιφάνεια | < 0,5 nm | Μέτρηση AFM | |
Ημιαμονωτική αντίσταση | > 106 Ω·cm | ΣΕΜΙ MF397 | |
Διάστημα ντόπινγκ τύπου N | 1016-1019 cm−3 | ||
Θερμική αγωγιμότητα | > 300 W/m·K | ||
στρώμα SiO2 | Μέθοδος σχηματισμού | Θερμική οξείδωση | |
Διορθωτική σταθερά (ε) | 3.9 | JESD22-A109 | |
Δυνατότητα πεδίου διάσπασης | > 10 MV/cm | ||
Δυσσωματικότητα παγίδας διεπαφής | < 1011 cm-2eV-1 | ||
Si Υποστρώμα | Θερμική επέκταση (CTE) | ~3,5 × 10−6/°C | |
Πύργος βάμβακας (8 ίντσες) | < 50 μm | ΣΕΜΙ M1 | |
Σταθερότητα θερμοκρασίας | > 300°C | ||
Ενσωματωμένη απόδοση | Υποστήριξη μεγέθους πλάκας | Μεγέθη 4-8 ιντσών |
1Ηλεκτρονική ενέργεια
Αντιστρέφτες EV: Τα SiC MOSFET σε υποστρώματα SICOI λειτουργούν σε 1200V με 30% χαμηλότερες απώλειες μετάδοσης, συμβατά με συστήματα ταχείας φόρτισης 800V.
Βιομηχανικοί κινητήρες: Τα πλακάκια SICOI με μονωτικά στρώματα AlN βελτιώνουν την απώλεια θερμότητας κατά 50%, υποστηρίζοντας συσκευασίες μονάδων > 10kW.
2Επικοινωνίες ραδιοφωνίας και 5G
Ενεργειακές συσκευές που χρησιμοποιούνται για την παραγωγή ηλεκτρικής ενέργειας από ηλεκτρικό ρεύμα (π.χ. ηλεκτρικές συσκευές που χρησιμοποιούνται για την παραγωγή ηλεκτρικής ενέργειας)
Φάσιμες κεραίες συστοιχίας: Χαμηλή διηλεκτρική απώλεια (tanδ<0,001) ελαχιστοποιεί την εξασθένιση του σήματος για δορυφορικές επικοινωνίες.
3. Κβαντικά Υπολογιστικά & Αισθητήρια
Σπιν Qubit Carriers: Οι ταινίες Ultrathin SiC (<100nm) παρέχουν περιβάλλοντα χαμηλού θορύβου, επεκτείνοντας τους χρόνους συνοχής πέρα από 1ms.
Αισθητήρες MEMS υψηλής ταχύτητας: Σταθερή λειτουργία στους 300 °C για παρακολούθηση αεροδιαστημικών κινητήρων.
4Ηλεκτρονικά καταναλωτικά
Ταχεία φόρτιση IC: Οι συσκευές GaN που βασίζονται σε SICOI επιτρέπουν φόρτιση > 200W με 40% μικρότερο αποτύπωμα.
Ως κορυφαίος προμηθευτής υποστρώματος ημιαγωγών ευρείας ζώνης, προσφέρουμε τεχνική υποστήριξη από άκρο σε άκρο από την έρευνα και ανάπτυξη έως την μαζική παραγωγή:
· Ανάλογα με τις ανάγκες της συσκευής, βελτιστοποίηση του πάχους της ταινίας SiC (από τη νανοκλίμακα έως τα μικρόμετρα), του ντόπινγκ (τύπου N/P) και των μονωτικών στρωμάτων (SiO2/AlN/Si3N4).
· Συμβουλευτική διαδικασίας: Συνιστώνται λύσεις Smart CutTM (υψηλής ακρίβειας) ή Grinding+CMP (αποτελεσματικές από άποψη κόστους) με συγκριτικά δεδομένα.
· Δοκιμές επιπέδου κυψελών: Περιλαμβάνει ανάλυση της κατάστασης της διεπαφής, χαρτογράφηση θερμικής αντίστασης και επικύρωση αξιοπιστίας υψηλής τάσης.
1Ε: Τι είναι το SICOL wafer;
Α: Η πλάκα SICOI (Silicon Carbide on Insulator) είναι ένα προηγμένο σύνθετο υπόστρωμα που ενσωματώνει ένα μονοκρυσταλλικό φιλμ 4H-SiC με μονωτικό στρώμα SiO2 σε βάση πυριτίου/σαφείρου.που επιτρέπουν συσκευές υψηλής ισχύος και ραδιοσυχνότητας με ανώτερη θερμική/ηλεκτρική απόδοση.
2Ε: Πώς συγκρίνεται το SICOI με το SOI;
Α: Το SICOI προσφέρει 5 φορές υψηλότερη θερμική αγωγιμότητα (> 300W/m·K) και 3 φορές μεγαλύτερη τάση διάσπασης (> 8MV/cm) από το SOI, καθιστώντας το ιδανικό για ηλεκτρονική ισχύος 800V+ και εφαρμογές 5G mmWave.
Ετικέτα:4 ίντσες 6 ίντσες 8 ίντσες, # Προσαρμοσμένο, #Πλακέτες 4H-SiCOI, #Σύνθετο SiC σε υποστρώματα μονωτών, #SiC, #SiO2, #Si