Προσαρμοσμένο SiC κεραμικό φορτηγό πλοίου για χειρισμό κυψελών

Προσαρμοσμένος φορέας κεραμικών σκάφους SIC για χειρισμό πλακιδίων

 
Το προσαρμοσμένο κεραμικό μεταφορέα σκαφών Carbide (SIC) είναι ένα διάλυμα χειρισμού πλακιδίων υψηλής απόδοσης σχεδιασμένο για ημιαγωγούς, φωτοβολταϊκούς και διεργασίες παραγωγής LED. Σχεδιασμένο για σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας, χημική αντίσταση και εξαιρετικά χαμηλή μόλυνση, ο φορέας αυτός εξασφαλίζει ασφαλή και αποτελεσματική μεταφορά δίσκων σε απαιτητικά περιβάλλοντα όπως CVD, κλιβάνους διάχυσης και θαλάμους οξείδωσης.
 

Βασικά πλεονεκτήματα του κεραμικού σκάφους SIC

 
Υψηλή θερμική σταθερότητα - αντέχει τις θερμοκρασίες μέχρι την παραμόρφωση των 1.600 ° Cwithout.
Χημική αδράνεια-αντιστέκεται στα οξέα, τα αλκαλικά και τη διάβρωση του πλάσματος, εξασφαλίζοντας μακροπρόθεσμη ανθεκτικότητα.
Χαμηλή παραγωγή σωματιδίων - ελαχιστοποιεί τη μόλυνση στην κατασκευή EUV και προηγμένου κόμβου.
Προσαρμόσιμος σχεδιασμός - προσαρμοσμένο για μέγεθος πλακιδίων, γήπεδο υποδοχής και απαιτήσεις χειρισμού
Ιδανικό για Semiconductor Fabs, MEMS Production και Compound Semiconductor Processing
 
 

Προσδιορισμός

Εφαρμογές του κεραμικού σκάφους SIC

 
1. Κατασκευή ημιαγωγών
✔ Διάχυση και ανόπτηση κλιβάνου
- σταθερότητα υψηλής θερμοκρασίας- αντέχει 1.600 ° C (οξειδωτική) / 1.950 ° C (αδρανή) χωρίς παραμόρφωση.
- Χαμηλή θερμική διαστολή (4.3 × 10⁻⁶/k) - Αποτρέπει την περιποίηση του πλακιδίου στην ταχεία θερμική επεξεργασία (RTP).
✔ CVD & Epitaxy (ανάπτυξη SIC/GAN)
- Αντίσταση διάβρωσης αερίου - αδρανές σε SIH₄, NH₃, HCl και άλλους επιθετικούς πρόδρομους.
-Επιφάνεια χωρίς σωματίδια-γυαλισμένη (RA <0,2 μm) για επιταξιακή εναπόθεση χωρίς ελαττώματα.
Εμφυτά ιόντος
-HARDING-HARDED-Δεν υπάρχει υποβάθμιση υπό βομβαρδισμό ιόντων υψηλής ενέργειας.
 
 
2. Electronics Power (συσκευές SIC/GAN)
✔ Επεξεργασία πλακιδίων SIC
- αντιστοίχιση CTE (4.3 × 10⁻⁶/k) - ελαχιστοποιεί το άγχος σε 1.500 ° C+ επιταξονική ανάπτυξη.
- Υψηλή θερμική αγωγιμότητα (160 W/M · K) - Εξασφαλίζει την ομοιόμορφη θέρμανση των πλακιδίων.
✔ συσκευές gan-on-sic
- Μη μολυσματική- Χωρίς απελευθέρωση μεταλλικού ιόντος έναντι σκαφών γραφίτη.
 
 
3. Παραγωγή φωτοβολταϊκών (ηλιακών κυττάρων)
✔ Perc & Topcon ηλιακά κύτταρα
- Αντίσταση διάχυσης Pocl₃ - Αντέχει τα περιβάλλοντα ντόπινγκ φωσφόρου.
-Μεγάλη διάρκεια ζωής-5-10 χρόνια έναντι 1-2 ετών για βάρκες χαλαζία.
✔ ηλιακή ηλιακή ενέργεια (CIGS/CDTE)
- Αντίσταση διάβρωσης - Σταθερή σε H₂SE, CDS Διαδικασίες εναπόθεσης.
 
 
4. LED & OptoElectronics
✔ Mini/Micro-Led Epitaxy
- Σχεδιασμός υποδοχής ακριβείας - Κρατάει εύθραυστη 2 "-6" δίσκοι χωρίς άκρη.
- Συμβατό με καθαρό χώρο- πληροί τα πρότυπα σωματιδίων ημι-F57.
 
 
5. Έρευνα & Ειδικές Εφαρμογές
✔ Σύνθεση υλικού υψηλής θερμοκρασίας
- Βοηθήματα πυροσυσσωμάτωσης (π.χ., B₄C, ALN) - χημικά αδρανές σε περιβάλλοντα 2.000 ° C+.
- Ανάπτυξη κρυστάλλων (π.χ. Al₂o₃, ZnSe)- Μη αντιδραστική με λιωμένα υλικά.
 

Συχνές ερωτήσεις

 
Ε1:Ποια μεγέθη πλακιδίων υποστηρίζονται;
Πρότυπο: 150mm (6 "), 200mm (8"), 300mm (12 "). Προσαρμογή διαθέσιμη κατόπιν αιτήματος.
 
Ε2: Ποιος είναι ο χρόνος παράδοσης για προσαρμοσμένα σχέδια;
- Τυπικά μοντέλα: 4-6 εβδομάδες.
- Πλήρως προσαρμοσμένο: 8-12 εβδομάδες (ανάλογα με την πολυπλοκότητα).