Τι είναι το TTV, το Bow, το Warp των κυψελών πυριτίου;

Οι παράμετροι του προφίλ επιφάνειας του κυλίνδρου Bow, Warp, TTV είναι πολύ σημαντικοί παράγοντες που πρέπει να λαμβάνονται υπόψη στην κατασκευή τσιπ.Μαζί, αυτές οι τρεις παραμέτροι αντικατοπτρίζουν την ομοιότητα επίπεδου και πάχους της πλακέτας πυριτίου και έχουν άμεση επίδραση σε πολλά βασικά βήματα στη διαδικασία κατασκευής τσιπ.

Το TTV είναι η διαφορά μεταξύ του μέγιστου και του ελάχιστου πάχους μιας πλακέτας πυριτίου.Η παράμετρος αυτή είναι ένας σημαντικός δείκτης που χρησιμοποιείται για τη μέτρηση της ομοιομορφίας πάχους των πλακών πυριτίου.Σε μια διαδικασία ημιαγωγών, το πάχος της πλακέτας πυριτίου πρέπει να είναι πολύ ομοιόμορφο σε ολόκληρη την επιφάνεια.Οι μετρήσεις πραγματοποιούνται συνήθως σε πέντε σημεία της πλακέτας πυριτίου και υπολογίζεται η μέγιστη διαφορά.Τελικά, η τιμή αυτή αποτελεί τη βάση για την αξιολόγηση της ποιότητας της πλακέτας πυριτίου.Σε πρακτικές εφαρμογές, η TTV ενός πλακιδίου πυριτίου 4 ιντσών είναι γενικά μικρότερη από 2um, και αυτή ενός πλακιδίου πυριτίου 6 ιντσών είναι γενικά μικρότερη από 3um.

Υποκλίνεσαι.

Η καμπύλη στην κατασκευή ημιαγωγών αναφέρεται στην κάμψη των πλακών πυριτίου.Η λέξη πιθανότατα προέρχεται από την περιγραφή του σχήματος ενός αντικειμένου όταν είναι λυγισμένο, όπως το καμπυλωτό σχήμα ενός τόξου.Η τιμή Bow καθορίζεται με τη μέτρηση της μέγιστης απόκλισης μεταξύ του κέντρου και της άκρης της πλακέτας πυριτίου.Η τιμή αυτή εκφράζεται συνήθως σε μικρομέτρα (μm).Το πρότυπο SEMI για τα πλακάκια πυριτίου 4 ιντσών είναι Bow<40 μm.

Δύση.

Η δίνη είναι ένα παγκόσμιο χαρακτηριστικό των πλακιδίων πυριτίου, που υποδεικνύει τη μέγιστη απόσταση της επιφάνειας του πλακιδίου από το επίπεδο.Μετρά την απόσταση μεταξύ του υψηλότερου και του χαμηλότερου σημείου μιας πλακέτας πυριτίου.Το πρότυπο SEMI για τα πλακίδια πυριτίου 4 ιντσών είναι Warp<40 μm.

Ποια είναι η διαφορά μεταξύ TTV, Bow, Warp;

• Το TTV επικεντρώνεται στις αλλαγές στο πάχος και δεν αφορά την κάμψη ή τη στρέβλωση της πλάκας.
• Το τόξο επικεντρώνεται στην συνολική κάμψη, λαμβάνοντας κυρίως υπόψη την κάμψη του κεντρικού σημείου και της άκρης.
• Η δίνη είναι πιο ολοκληρωμένη, συμπεριλαμβανομένης της κάμψης και της στρέβλωσης ολόκληρης της επιφάνειας της πλάκας.

Αν και οι τρεις αυτές παραμέτροι σχετίζονται με το σχήμα και τις γεωμετρικές ιδιότητες της πλακέτας πυριτίου, μετρούνται και περιγράφονται διαφορετικά,και η επίδρασή τους στη διαδικασία των ημιαγωγών και την επεξεργασία των κυψελών είναι επίσης διαφορετική..

• Επίδραση του TTV, του Bow, του Warp στη διαδικασία των ημιαγωγών:

Πρώτα απ' όλα, όσο μικρότερες είναι οι τρεις παραμέτροι, τόσο το καλύτερο.Έτσι, αν οι τιμές των τριών υπερβαίνουν το πρότυπο, το τσιπ πυριτίου θα καταργηθεί.

• Επίδραση στη διαδικασία λιθογραφίας:

Πρόβλημα εστιακού βάθους: Κατά τη διάρκεια της λιθογραφίας, μπορεί να προκύψουν αλλαγές στο εστιακό βάθος, γεγονός που επηρεάζει την οξύτητα του μοτίβου.

Προβλήματα ευθυγράμμισης: Μπορεί να προκαλέσει μετατόπιση της πλάκας κατά τη διάρκεια της ευθυγράμμισης, επηρεάζοντας περαιτέρω την ακρίβεια ευθυγράμμισης μεταξύ των στρωμάτων.

• Επιπτώσεις στην χημική μηχανική γυάλωση:

Αδιάμεση γυάλωση: Μπορεί να οδηγήσει σε αδιάμεση γυάλωση κατά τη διάρκεια της CMP, με αποτέλεσμα την τραχύτητα της επιφάνειας και την υπολειπόμενη πίεση.

• Επίδραση στην κατάθεση του φιλμ:

Αδιάμεση εναπόθεση: Οι κυψελώδεις και κωνικές πλάκες μπορεί να προκαλέσουν αδιάμεσο πάχος της εναποθετημένης ταινίας κατά τη διάρκεια της εναπόθεσης.

• Επιπτώσεις στη φόρτιση των πλακών:

Προβλήματα φόρτωσης: Οι κυψελώδεις και κωνικές πλάκες μπορούν να προκαλέσουν βλάβη στις πλάκες κατά την αυτόματη φόρτωση.

Τέλος, ως επαγγελματίες των ημιαγωγών, πρέπει να συνειδητοποιήσουμε τη σημασία των παραμέτρων προφίλ πλακιδίων για ολόκληρη τη διαδικασία της διαδικασίας και να δώσουμε προσοχή στις λεπτομέρειες κατά την εκτέλεση των διεργασιών των ημιαγωγών.