Τι είναι το FOUP στην κατασκευή τσιπ;

Στην κατασκευή ημιαγωγών, ένα Front Opening Unified Pod (FOUP) είναι ένα κρίσιμο δοχείο που χρησιμοποιείται για την προστασία, τη μεταφορά και την αποθήκευση πλακών.Τα κύρια στοιχεία του περιλαμβάνουν ένα μπροστινό θάλαμο ανοίγματος και ένα ειδικό πλαίσιο πόρταςΩς βασικός φορέας σε αυτοματοποιημένα συστήματα μεταφοράς για εργοστάσια πλακιδίων 12 ιντσών, τα FOUP παραμένουν κλειστά κατά τη διάρκεια της διαμετακόμισης και ανοιχτά μόνο όταν τοποθετούνται σε μια θύρα φόρτωσης εργαλείου για τη μεταφορά πλακιδίων.

Τα FOUP είναι σχεδιασμένα για να ανταποκρίνονται σε αυστηρές απαιτήσεις για το μικροπεριβάλλον.Τα ρομπότ επεξεργασίας κυψελών λειτουργούν σε καθαρά δωμάτια κλάσης 1 (≤10 σωματίδια ≥0Τα σύγχρονα εργοστάσια χρησιμοποιούν συστήματα σιδηροδρόμων που τοποθετούνται στην οροφή για την κίνηση FOUP, αν και οι παλαιότερες εγκαταστάσεις μπορεί να χρησιμοποιούν επίγεια αυτοματοποιημένα οχήματα καθοδήγησης (AGV).

Εκτός από τη μεταφορά, τα FOUP χρησιμεύουν ως λύσεις αποθήκευσης.δεκάδες χιλιάδες πλακίδια μπορεί να βρίσκονται σε διαμετακόμιση ή προσωρινή αποθήκευση ανά πάσα στιγμήΤα FOUP υποβάλλονται σε περιοδικό καθαρισμό αζώτου για την πρόληψη της έκθεσης σε ρύπους, διατηρώντας εξαιρετικά υψηλή καθαριότητα κατά τη διάρκεια της αποθήκευσης.

Βασικές λειτουργίες και σημασία

Τα FOUP προστατεύουν τα πλακάκια από μηχανικά σοκ και μόλυνση κατά τη μεταφορά, επηρεάζοντας άμεσα την απόδοση.Τα προηγμένα FOUP χρησιμοποιούν καθαρισμό αερίων και τοπικό έλεγχο ατμόσφαιρας (LAC) για την άμβλυνση της υγρασίας και των πτητικών οργανικών ενώσεων (VOC)Τα σφραγισμένα συστήματά τους περιορίζουν τα εξωτερικά στοιχεία (οξυγόνο, υγρασία και ρύπους) σε επίπεδα <3 σωματίδια/ώρα στο εσωτερικό.
 

Ένα πλήρες FOUP ζυγίζει 9 kg, απαιτώντας αυτοματοποιημένα συστήματα επεξεργασίας υλικών (AMHS) για τη μεταφορά.Μαζί με ετικέτες RFID για την παρακολούθηση και την ταξινόμηση σε πραγματικό χρόνοΗ αυτοματοποίηση αυτή ελαχιστοποιεί το ανθρώπινο σφάλμα και αυξάνει την ασφάλεια/ακριβότητα.- Δεν ξέρω.

Διαρθρωτική και λειτουργική ταξινόμηση

Διάμετροι: 420 mm (Δ) × 335 mm (Δ) × 335 mm (Υ).

2Βασικά στοιχεία:

• Πάνω OHT (Ανωβάθμια Μεταφορά Μεταφορών): Διασύνδεση για συστήματα γερανού.
• Πύλη εμπρός: λιμάνι φόρτωσης/αφόρτωσης κυψελών.
• Πλευρική λαβή: Χρωματική κωδικοποίηση για την ένδειξη των ζωνών μόλυνσης (π.χ. κόκκινο για τις περιοχές υψηλού κινδύνου).
• Ετικέτα RFID: Μοναδικός αναγνωριστικός κωδικός για την αναγνώριση εργαλείου/αμύλων.
• Τρύπες ευθυγράμμισης: Τέσσερα σημεία τοποθέτησης για συμβατότητα εργαλείων.

3.Κατηγορίες χρήσης:

• PRD (παραγωγή): Για τα πλακάκια τελικού προϊόντος.
• ENG (Engineering) : Για Ε&Α/πειραματικές πλάκες.
• MON (Παρακολούθηση): Για την παρακολούθηση των διαδικασιών (CMP, λιθογραφία κλπ.).
• Σημείωση: Τα PRD FOUP μπορούν να χρησιμοποιηθούν για ENG/MON, το ENG μπορεί να χρησιμοποιηθεί για MON, αλλά η αντίστροφη χρήση ενέχει κίνδυνο μόλυνσης.

4. Κατηγορία μόλυνσης:

•FE FOUP: Πρόσωπο (επεξεργασίες χωρίς μέταλλα).

•BE FOUP: Back-end (επεξεργασίες που περιέχουν μέταλλα).

•Εξειδικευμένοι τύποι: NI (νικέλιο), CU ( χαλκός), CO (κοβάλτιο) για συγκεκριμένα στάδια μεταλλικοποίησης.

•- Δεν ξέρω.Σημείωση: Οι FOUP front-end είναι συμβατές με τις διαδικασίες back-end, αλλά όχι το αντίστροφο..

Συμπέρασμα

Τα FOUP είναι απαραίτητα στα σύγχρονα εργοστάσια, συνδυάζοντας προηγμένο αυτοματισμό, έλεγχο μόλυνσης και αντοχή για την προστασία των πλακών μέσω περίπλοκων κύκλων παραγωγής.Ο σχεδιασμός τους υποστηρίζει άμεσα τη βελτιστοποίηση της απόδοσης και την επεκτασιμότητα παραγωγής μεγάλου όγκου.

Ως κορυφαίος εγχώριος κατασκευαστής φορείς πυρήνα ημιαγωγών, η ZMSH δεσμεύεται να παρέχει λύσεις από άκρο σε άκρο που επικεντρώνονται στις υπηρεσίες κύκλου ζωής, συμπεριλαμβανομένου του προσαρμοσμένου σχεδιασμού,ταχεία παράδοση, και τεχνική υποστήριξη μετά την πώληση. Χρησιμοποιώντας ένα δίκτυο αλυσίδας εφοδιασμού που βασίζεται στην τεχνητή νοημοσύνη και τη βαθιά συνεργασία με τα παγκόσμια εργοστάσια κατηγορίας 1,Διασφαλίζουμε 48ωρη παγκόσμια ανταπόκριση και 72ωρη υπηρεσία έκτακτης ανάγκης για να διατηρήσουμε τη συνέχεια της παραγωγής.. Προχωρώντας μπροστά, we will expand our ​​localized service network​​ to provide more efficient and secure wafer transportation solutions for the global semiconductor industry through technological iteration and ecosystem synergy.