Τεχνολογίες καθαρισμού κυψελών και ανταλλαγή δεδομένων

Η τεχνολογία καθαρισμού κυψελών είναι μια κρίσιμη διαδικασία στην κατασκευή ημιαγωγών, καθώς ακόμη και τα ατομικά μολυσματικά μπορούν να επηρεάσουν την απόδοση ή την απόδοση της συσκευής.Η διαδικασία καθαρισμού συνήθως περιλαμβάνει πολλά βήματα για την απομάκρυνση διαφορετικών τύπων ρύπων, όπως οργανικά υπολείμματα, μέταλλα, σωματίδια και εγγενή οξείδια.

1Σκοπός του καθαρισμού των κυψελών:

• Απομάκρυνση οργανικών μολυσματικών ουσιών (π.χ. φωτοαντίσταση, δακτυλικά αποτυπώματα)
• Απομάκρυνση των μεταλλικών ακαθαρσιών (π.χ. Fe, Cu, Ni)
• Απομάκρυνση σωματιδίων (π.χ. σκόνη, θραύσματα πυριτίου)
• Απομάκρυνση των εγγενών οξειδίων (π.χ. στρώματα SiO2 που σχηματίζονται κατά την έκθεση στον αέρα)

2Ο αυστηρός καθαρισμός των κυψελών εξασφαλίζει:

• Υψηλή απόδοση της διαδικασίας και απόδοση συσκευής
• Μειωμένα ελαττώματα και ποσοστά απορριμμάτων πλακιδίων
• Βελτιωμένη ποιότητα και συνέπεια της επιφάνειας

Πριν υποβληθούν οι πλακίδες πυριτίου σε εντατικές διαδικασίες καθαρισμού, πρέπει να αξιολογηθεί η υπάρχουσα επιφανειακή μόλυνση.και η κατανομή των σωματιδίων στην επιφάνεια της πλάκας βοηθά στην βελτιστοποίηση της χημείας καθαρισμού και της μηχανικής εισόδου ενέργειας.

3Προηγμένες αναλυτικές τεχνικές για την εκτίμηση της μόλυνσης:

3.1 Ανάλυση σωματιδίων επιφάνειας

Οι ειδικοί μετρητές σωματιδίων χρησιμοποιούν διάχυση λέιζερ ή οπτική μηχανή υπολογιστή για να μετρήσουν, να μετρήσουν το μέγεθος και να χαρτογραφήσουν τα συντρίμμια της επιφάνειας.Η ένταση της διάσπαρσης του φωτός συσχετίζεται στενά με το μέγεθος των σωματιδίων που είναι τόσο μικρά όσο δεκάδες νανομέτρα και τις πυκνότητες τόσο χαμηλές όσο 0.1 σωματίδια/cm2. Η προσεκτική βαθμονόμηση με τη χρήση προτύπων εξασφαλίζει αξιόπιστη απόδοση του υλικού. Η σάρωση της επιφάνειας της πλάκας πριν και μετά το καθαρισμό επαληθεύει σαφώς την αποτελεσματικότητα της αφαίρεσης,βελτιώσεις της διαδικασίας οδήγησης, όταν είναι απαραίτητο.

3.2 Στοιχειακή ανάλυση επιφάνειας

Οι επιφανειακά ευαίσθητες αναλυτικές τεχνικές προσδιορίζουν την στοιχειακή σύνθεση των ρύπων.Η φωτοηλεκτρονική φασματοσκόπηση ακτίνων Χ (XPS ή ESCA) εξετάζει τις χημικές καταστάσεις της επιφάνειας των στοιχείων με ακτινοβολία της πλάκας με ακτίνες Χ και μετρώντας τα εκπεμπόμενα ηλεκτρόνιαΗ οπτική φασματοσκόπηση εκπομπών φωτεινής εκκένωσης (GD-OES) διαχωρίζει διαδοχικά τα υπεραπλανά στρώματα της επιφάνειας, ενώ η φασματοσκόπηση εκπομπών καθορίζει τη σύνθεση των στοιχείων με βάση το βάθος.Οι αναλύσεις σύνθεσης, με όρια ανίχνευσης τόσο χαμηλά όσο μέρη ανά εκατομμύριο, καθοδηγούν τη βέλτιστη χημική καθαρισμού.

3.3 Ανάλυση μορφολογικής μόλυνσης

Η ηλεκτρονική μικροσκόπηση σάρωσης παρέχει λεπτομερή απεικόνιση των επιφανειακών μολυσματικών ουσιών, αποκαλύπτοντας τις τάσεις χημικής και μηχανικής προσκόλλησης με βάση το σχήμα και τις αναλογίες έκτασης/περιμέτρου.Χάρτες μικροσκόπησης ατομικής δύναμης Τοπολογικά προφίλ σε νανοκλίμακαΗ εστιασμένη αλεύρι ιόντων σε συνδυασμό με την ηλεκτρονική μικροσκόπηση μετάδοσης παρέχει εσωτερικές εικόνες των θαμμένων ρύπων.

4Άλλες προηγμένες μεθόδους καθαρισμού

Ενώ ο καθαρισμός με διαλύτες είναι ένα εξαιρετικό πρώτο βήμα για την αφαίρεση οργανικών μολυσματικών ουσιών από πλακίδια πυριτίου, απαιτείται μερικές φορές πρόσθετος προηγμένος καθαρισμός για την εξάλειψη ανόργανων σωματιδίων,ίχνη μετάλλου, και ιόντα υπολείμματα.

Αρκετές τεχνικές παρέχουν τον απαραίτητο βαθιά καθαρισμό, ελαχιστοποιώντας ταυτόχρονα την επιφανειακή βλάβη ή την απώλεια υλικού για τα πλακίδια πυριτίου ακριβείας:

4.1 Καθαρισμός RCA

• Αναπτύχθηκε από τα Εργαστήρια RCA, ο καθαρισμός RCA χρησιμοποιεί μια εξειδικευμένη διαδικασία διπλού λουτρού για την αφαίρεση των μολυσματικών που βασίζονται στην πολικότητα.

Αλληλουχική βύθιση:

• SC-1 (Κανονισμός καθαρισμού-1) ∆ Βασική οργανική αφαίρεση
• SC-2 (Κανονισμός καθαρισμού-2)

Παρέχει εξαιρετικά ισορροπημένο καθαρισμό της πλάκας προστατεύοντας την πλάκα.

4.2 Καθαρισμός του όζοντος

• Περιλαμβάνει βύθιση πλακιδίων σε υψηλής αντίδρασης, κορεσμένο με όζον, αποιονισμένο νερό
• Δυνατή απομάκρυνση οργανικών ουσιών χωρίς να προκαλεί βλάβη
• Αφήνει μια εξαιρετικά καθαρή, χημικά παθητική επιφάνεια

4.3 Μεγαζωνικός καθαρισμός

• Χρησιμοποιεί υπερηχητική ενέργεια υψηλής συχνότητας σε συνδυασμό με λύματα καθαρισμού
• Οι φυσαλίδες καβιτάσης απομακρύνουν τους ρύπους
• Διαπερνά δύσκολες γεωμετρίες
• Τα ειδικά συστήματα αποτρέπουν την καταστροφή των ευαίσθητων πλακών

4.4 Κρυογενής καθαρισμός

• Η ταχεία ψύξη σε κρυογενείς θερμοκρασίες καταστρέφει εύθραυστα τα μόλυντα
• Μετέπειτα το ξεπλύσιμο ή το απαλό βούρτσισμα προκαλούν την αποσπάσιμο των σωματιδίων
• Αποτρέπει τις ακαθαρσίες από την προσκόλληση ή τη διάχυση στην επιφάνεια
• Μια πολύ γρήγορη, ξηρή διαδικασία χωρίς πρόσθετα χημικά

Συμπεράσματα

Ως έμπιστος συνεργάτης σας, η ZMSH όχι μόνο προμηθεύει και πωλεί παγκοσμίως κορυφαίο εξοπλισμό κατασκευής ημιαγωγών, αλλά διαθέτει επίσης προηγμένες δυνατότητες επεξεργασίας και καθαρισμού πλακών.Κατανοούμε βαθιά τις αυστηρές απαιτήσεις για την καθαρότητα της επιφάνειας σε προηγμένες διαδικασίες και, υποστηριζόμενοι από μια επαγγελματική ομάδα μηχανικών και πρωτοποριακές λύσεις, δεσμεύονται να βελτιώσουν την απόδοση, να εξασφαλίσουν την απόδοση και να επιταχύνουν την καινοτομία για τους πελάτες μας.Από το βασικό εξοπλισμό στις κρίσιμες διαδικασίες, παρέχουμε εξαιρετική τεχνική υποστήριξη και υπηρεσίες σε όλη τη διάρκεια, τοποθετώντας τον εαυτό μας ως έναν απαραίτητο εταίρο στην αλυσίδα αξίας σας.