Τι είναι ένα δαχτυλίδι εστίασης;




Ένα δαχτυλίδι εστίασης κουαρτζού είναι ένα κρίσιμο καταναλωτικό συστατικό στις διεργασίες χαρακτικής με πλάσμα ημιαγωγών.Είναι συνήθως κατασκευασμένο από υψηλής καθαρότητας λιωμένο χαλαζία και παίζει αναπόφευκτο ρόλο στην κατασκευή τσιπΗ βασική του λειτουργία είναι να περιορίζει και να καθοδηγεί το πλάσμα για να εξασφαλίζει πολύ ομοιόμορφη απόδοση χαρακτικής σε όλη την επιφάνεια της πλάκας.


 

Βασικές λειτουργίες: Γιατί είναι απαραίτητο για τις διαδικασίες χαρακτικής;

Κατά τη διάρκεια της εικόνας πλάσματος, τα δαχτυλίδια εστίασης του κουάρτζου εκτελούν κυρίως τα ακόλουθα βασικά καθήκοντα:

• Εστίαση πλάσματος για ομοιόμορφη χαρακτικήΜέσα από ειδικό σχεδιασμό, διατηρεί το πλάσμα σταθερό και ομοιόμορφο ακόμη και στην άκρη του πλακέ.εξαλείφει το "φαινόμενο άκρου" και εξασφαλίζει υψηλά σταθερά ποσοστά χαρακτικής και κρίσιμες διαστάσεις (CD) σε ολόκληρη την επιφάνεια της πλάκας.
   
• Προστασία εξοπλισμού υψηλής αξίας και παράταση της ζωής των εξαρτημάτωνΤο δαχτυλίδι εστίασης λειτουργεί ως καταναλώσιμη προστατευτική ασπίδα που αντιστέκεται στον άμεσο βομβαρδισμό πλάσματος, προστατεύοντας τα υποκείμενα βασικά εξαρτήματα ακριβείας, όπως το ηλεκτροστατικό ελατήριο (ESC), από ζημιές.
   
• Πρόληψη της μόλυνσης και διαφύλαξη της απόδοσης των πλακιδίων: Ο ίδιος ο σίδηρος δεν περιέχει επιβλαβείς ακαθαρσίες όπως μέταλλα και απελευθερώνει αργά οξυγόνο υπό έκθεση στο πλάσμα.Αυτό το οξυγόνο αντιδρά με τα πολυμερή που παράγονται κατά τη διάρκεια της χαρακτικής για να σχηματίσουν εύκολα αντλούμενα αέρια όπως το CO και το CO2, αποτρέποντας αποτελεσματικά τη μόλυνση στο πίσω μέρος της πλάκας.

Jingge Semiconductor Προσαρμοσμένη επεξεργασία συσκευών υψηλής καθαρότητας κουαρτσού (5N, 6N καθαρότητα), συμπεριλαμβανομένου του συνθετικού κουαρτσού, του κουαρτσού που συγχωνεύεται με αέριο, του ηλεκτρικά συγχωνευμένου κουαρτσού, των εξαρτημάτων του κουαρτσού, των δαχτυλιδιών χαρακτικής κουαρτσού,Δαχτυλίδια εστίασης από χαλαζία, πλακίδια κουαρτς, οπτικά φύλλα κουαρτς κλπ. Τηλέφωνο: 17826693981.



Ανάλυση των Υλικών Πλεονεκτημάτων
 

Υπάρχουν πολλαπλές επιλογές υλικών για δαχτυλίδια εστίασης, αλλά το κουάρτς ξεχωρίζει για τον μοναδικό συνδυασμό των ιδιοτήτων του:

• Υψηλής καθαρότητας: Το κουάρτζιο της κατηγορίας των ημιαγωγών συνήθως φτάνει σε καθαρότητα 99,998% ή υψηλότερη, ελαχιστοποιώντας τη μόλυνση από μεταλλικές ακαθαρσίες στα πλακίδια ∙ το θεμέλιο για αξιόπιστη απόδοση τσιπ.
• Υψηλή αντοχή σε χημική διάβρωση: Το κουάρτζιο αντέχει στην διάβρωση από πολύ διαβρωτικά αέρια χαρακτικής (όπως CF4, SF6 και Cl2) και την επίθεση πλάσματος.
• Εξαιρετική θερμική σταθερότητα: Το κουάρτζι μπορεί να αντέξει θερμοκρασίες άνω των 1000°C και έχει εξαιρετικά χαμηλό συντελεστή θερμικής διαστολής, εξασφαλίζοντας ακριβή σταθερότητα διαστάσεων σε όλες τις διαδικασίες υψηλών θερμοκρασιών.
• Ευνοϊκές διηλεκτρικές ιδιότητες: Η διηλεκτρική σταθερά του (περίπου 3,8) υποστηρίζει τις επιθυμητές επιδόσεις εστίασης πλάσματος
  
  
  
  Κατασκευή & Αγορά: Τεχνικές επεξεργασίες ακριβείας και Παγκόσμιος εφοδιασμός
  
  
   
• Επεξεργασία ακριβείας: Η παραγωγή δαχτυλιδιών εστίασης κουαρτς επιβάλλει εξαιρετικά υψηλές απαιτήσεις ακρίβειας, απαιτώντας προηγμένες τεχνολογίες επεξεργασίας και γυαλισμού CNC 5 άξων.Οι βασικές διαμετρικές ανοχές μπορούν να ελεγχθούν εντός ±00,02 mm ή ακόμη και ±0,001 mm, με τραχύτητα επιφάνειας (Ra) μικρότερη από 0,002 μm.
• Μεγάλοι κατασκευαστές: Οι βασικοί παίκτες στην παγκόσμια αγορά περιλαμβάνουν διεθνείς ηγέτες όπως οι Entegris, CoorsTek, Heraeus Quartz και Tosoh Quartz, καθώς και κινέζικες επιχειρήσεις όπως η Dunyuan Juxin,Τεχνολογία Zhenbao και ημιαγωγός JinggeΤα προϊόντα είναι γενικά συμβατά με τις βασικές πλατφόρμες χαρακτικής από εφαρμοσμένα υλικά (AMAT), όπως η σειρά MXP + και Centura.