Λεπτομερή έκδοση της διαδικασίας κατασκευής ημιαγωγών σε πλακίδες πυριτίου
1. ΠΟΛΙΣΙΛΙΚΟΝΙΚΟΣ ΣΤΑΚΙΣΜΟΣ
Πρώτα, το πολυπυριτικό και το ντοπαντικό τοποθετούνται σε χρυσολιθικό χρυσολίβανο σε μονοκρυσταλλικό φούρνο και η θερμοκρασία αυξάνεται σε πάνω από 1000 βαθμούς Κελσίου για να ληφθεί το λιωμένο πολυπυριτικό.
2. ΑΓΡΑΦΙΚΗ ΤΗΣ ΕΝΤΟΥΣ
Η αύξηση του ίνγκοτ είναι μια διαδικασία κατά την οποία το πολυκρυσταλλικό πυρίτιο μετατρέπεται σε μονοκρυσταλλικό πυρίτιο και μετά την θέρμανση του πολυκρυσταλλικού σε υγρό,το θερμικό περιβάλλον ελέγχεται με ακρίβεια για να αναπτυχθεί σε μονοκρυστάλλιο υψηλής ποιότητας.
Σχετικές έννοιες:
Μονική ανάπτυξη κρυστάλλων:Αφού σταθεροποιηθεί η θερμοκρασία του πολυκρυσταλλικού διαλύματος πυριτίου, ο κρύσταλλος σπόρου μειώνεται αργά στο λιώσιμο πυριτίου (ο κρύσταλλος σπόρου θα λιώσει επίσης στο λιώσιμο πυριτίου),Και μετά ο κρύσταλλος σπόρου ανυψώνεται προς τα πάνω με μια ορισμένη ταχύτητα για τη διαδικασία κρυσταλλώσεως.Στη συνέχεια, οι εκτοπίσεις που δημιουργούνται κατά τη διάρκεια της διαδικασίας κρυστάλλωσης εξαλείφονται με τη λειτουργία κοπής.η διάμετρος μονοκρυσταλλικού πυριτίου αυξάνεται στην τιμή-στόχο με ρύθμιση της ταχύτητας και της θερμοκρασίας σύσφιξηςΤέλος, για να αποφευχθεί η εκτόνωση και η καθυστέρηση,η μονοκρυσταλλική ίνγκελ είναι τελειωμένη ώστε να λαμβάνεται η τελική μονοκρυσταλλική ίνγκελ, η οποία αφαιρείται μετά την ψύξη της θερμοκρασίας.
Μέθοδοι παρασκευής μονοκρυσταλλικής πυριτίου:Μέθοδος ευθείας έλξης (μέθοδος CZ) και μέθοδος ζώνης τήξης (μέθοδος FZ).που χαρακτηρίζεται από τη συγκέντρωση ενός θερμικού συστήματος τύπου ευθείας κυλίνδρου, θερμαίνεται με αντοχή γραφίτη και το πολυκρυσταλλικό πυρίτιο που είναι εγκατεστημένο σε χωνευτήρα υψηλής καθαρότητας λιθοποιείται, και στη συνέχεια το κρύσταλλο σπόρου εισάγεται στην επιφάνεια τήξης για συγκόλληση,και ο κρύσταλλος σπόρου περιστρέφεται την ίδια στιγμή, και στη συνέχεια το χωνάκι αντιστρέφεται, και ο κρύσταλλος σπόρου ανεβαίνει αργά προς τα πάνω, και το μονοκρυσταλλικό πυρίτιο λαμβάνεται μέσω της διαδικασίας εισαγωγής του κρυστάλλου, την ενίσχυση,στροφή ώμου, ίση διαμέτρου αύξηση, και την τελική επεξεργασία.
Η μέθοδος τήξης ζώνης είναι μια μέθοδος που χρησιμοποιεί πολυκρυσταλλικές ράβδους για τη τήξη και την ανάπτυξη κρυσταλλικών κρυστάλλων ημιαγωγών,που χρησιμοποιεί θερμική ενέργεια για τη δημιουργία ζώνης τήξης στο ένα άκρο της ράβδου των ημιαγωγώνΗ θερμοκρασία ρυθμίζεται έτσι ώστε η λιωμένη ζώνη να κινείται αργά προς το άλλο άκρο της ράβδου, και μέσω ολόκληρης της ράβδου,Μεγαλώνει σε έναν μόνο κρύσταλλο με την ίδια κατεύθυνση με τον κρύσταλλο του σπόρου.Υπάρχουν δύο είδη μεθόδων τήξης ζώνης: μέθοδος τήξης ζώνης οριζόντιου και μέθοδος τήξης ζώνης κάθετου αναστολής.Το πρώτο χρησιμοποιείται κυρίως για τον καθαρισμό και την ανάπτυξη μονοκρυστάλλων γερμανίου., ΓΑΑ και άλλα υλικά. a high-frequency coil is used to create a molten zone at the contact between the single crystal seed crystal and the polycrystalline silicon rod suspended above it in an atmosphere or vacuum furnace chamber, και στη συνέχεια η λιωμένη ζώνη μετακινείται προς τα πάνω για την ανάπτυξη ενός κρυστάλλου.
Περίπου το 85% των πλακών παράγεται με τη μέθοδο Zorgial και το 15% με τη μέθοδο zone melting.το μονοκρυσταλλικό πυρίτιο που καλλιεργείται με τη μέθοδο Zyopull χρησιμοποιείται κυρίως για την παραγωγή εξαρτημάτων ολοκληρωμένων κυκλωμάτωνΗ διαδικασία Straight-pull είναι ώριμη, ενώ η μονοκρυσταλλική πυριτίνη που παράγεται με τη μέθοδο τήξης ζώνης χρησιμοποιείται κυρίως για ημιαγωγούς ισχύος.και είναι ευκολότερο να αναπτυχθεί μεγάλης διαμέτρου μονοκρυσταλλικό πυρίτιοΤο μέσο τήξης ζώνης δεν έρχεται σε επαφή με το δοχείο, δεν μολύνεται εύκολα και έχει υψηλή καθαρότητα, η οποία είναι κατάλληλη για την παραγωγή ηλεκτρονικών συσκευών υψηλής ισχύος.αλλά είναι δύσκολο να αναπτυχθεί μεγάλης διαμέτρου μονοκρυσταλλικό πυρίτιοΣτο βίντεο, είναι η μέθοδος ευθείας έλξης.
3. ΣΤΗΣ ΤΗΣ ΤΗΣ ΤΗΣ ΤΗΣ ΤΗΣ ΤΗΣ ΤΗΣ ΤΗΣ ΤΗΣ ΤΗΣ
Επειδή είναι δύσκολο να ελεγχθεί η διάμετρος της μονοκρυσταλλικής ράβδου πυριτίου κατά τη διαδικασία τράβηξης του μονοκρυστάλλου, προκειμένου να ληφθεί η τυποποιημένη διάμετρος της ράβδου πυριτίου,όπως 6 ίντσες, 8 ίντσες, 12 ίντσες, κλπ. Μετά την τράβηξη του μονοκρυστάλλου, η διάμετρος του αργύρου του πυριτίου θα πέσει, και η επιφάνεια της ράβδου του πυριτίου μετά το πέσιμο είναι ομαλή,και το διαμετρικό σφάλμα είναι μικρότερο.
4. Τραπεζική πριονιστική
Χρησιμοποιώντας προηγμένη τεχνολογία κοπής σύρματος, η μονοκρυσταλλική ράβδος κοπεί σε πλακίδια πυριτίου κατάλληλου πάχους μέσω εξοπλισμού κοπής.
5. ΣΤΗΜΑΤΗΣΗ ΤΟΥ ΚΟΝΤΟΥ
Λόγω του μικρού πάχους της πλακέτας πυριτίου, η άκρη της κομμένης πλακέτας πυριτίου είναι πολύ κοφτερή και ο σκοπός της κοπής είναι να σχηματιστεί μια ομαλή άκρη,και δεν είναι εύκολο να σπάσει στο μέλλον κατασκευή τσιπ.
6. Κλαψούρισμα
Το LAPPING είναι όταν το τσιπ προστίθεται μεταξύ της βαριάς επιλεγμένης πλάκας και της κάτω πλάκας, και εφαρμόζεται πίεση για να περιστραφεί το τσιπ με τον αθρεπτικό παράγοντα για να ισοπεδώσει το τσιπ.
7- Οτιδήποτε.
Η χαρακτική είναι μια διαδικασία που αφαιρεί τη βλάβη της επεξεργασίας στην επιφάνεια μιας πλάκας διαλύοντας το επιφανειακό στρώμα που έχει υποστεί βλάβη από τη φυσική επεξεργασία με χημικό διάλυμα.
8. Δύο πλευρικές άλεση
Η διπλή άλεση είναι μια διαδικασία που επιπλατυώνει την πλάκα αφαιρώντας μικρά κρούσματα στην επιφάνεια.
9. Γρήγορη θερμική διαδικασία
Η RTP είναι μια διαδικασία ταχείας θέρμανσης της πλακέτας σε λίγα δευτερόλεπτα, έτσι ώστε τα ελαττώματα στο εσωτερικό της πλακέτας να είναι ομοιόμορφα, να αναστέλλουν τις μεταλλικές ακαθαρσίες και να αποτρέπουν την ανώμαλη λειτουργία του ημιαγωγού.
10. ΠΛΗΡΙΣΗ
Η γυάλωση είναι μια διαδικασία που εξασφαλίζει την ομοιότητα της επιφάνειας μέσω της επεξεργασίας επιφάνειας με ακρίβεια.μπορεί να εξαλείψει το στρώμα μηχανικής βλάβης που άφησε η προηγούμενη διαδικασία, και να αποκτήσουν μια πλακέτα πυριτίου με εξαιρετική επίπεδη επιφάνεια.
11. Καθαρισμός
Σκοπός του καθαρισμού είναι η αφαίρεση των υπολειμματικών οργανικών ουσιών, σωματιδίων, μετάλλων κ.λπ. στην επιφάνεια της πλακέτας πυριτίου μετά την γυάλωση,ώστε να εξασφαλίζεται η καθαρότητα της επιφάνειας της πλακέτας πυριτίου και να πληροί τις απαιτήσεις ποιότητας της ακόλουθης διαδικασίας.
12. ΕΠΙΤΡΟΠΗ
Ο δοκιμαστής επίπεδης και ανθεκτικότητας δοκιμάζει τα γυαλιστερά πλακάκια πυριτίου για να εξασφαλίσει ότι το πάχος, η επίπεδης, η τοπική επίπεδης, καμπυλότητα, καμπυλότητα, ανθεκτικότητα, κλπ.των γυαλισμένων πλακών πυριτίου πληρούν τις απαιτήσεις των πελατών.
13. ΑΠΟΛΗΣΗ ΣΥΜΒΑΛΑΚΩΝ
Ο αριθμός σωματιδίων είναι μια διαδικασία ακριβούς εξέτασης των επιφανειών των τσιπ για τον προσδιορισμό του αριθμού των ελαττωμάτων επιφάνειας και ελαττωμάτων μέσω διάσπασης λέιζερ.
14. ΕΠΙ ΑΝΑΓΡΩΠΗ
Η καλλιέργεια EPI είναι μια διαδικασία καλλιέργειας μονοκρυσταλλικών ταινιών πυριτίου υψηλής ποιότητας σε ένα πλακάκι πυριτίου με χημική εναπόθεση ατμού.
Σχετικές έννοιες:
Επιταξιακή ανάπτυξη:Αναφέρεται στην ανάπτυξη ενός μονοκρυσταλλικού στρώματος στο μονοκρυσταλλικό υπόστρωμα (υποστρώμα) που έχει ορισμένες απαιτήσεις και είναι το ίδιο με το κρύσταλλο του υποστρώματος,Σαν να εκτείνεται προς τα έξω για μια περίοδο.Η τεχνολογία επιταξιακής ανάπτυξης αναπτύχθηκε στα τέλη της δεκαετίας του 1950 και στις αρχές της δεκαετίας του 1960.είναι απαραίτητο να μειωθεί η σειρά αντίστασης του συλλέκτη, και απαιτούν από το υλικό να αντέχει υψηλή τάση και υψηλό ρεύμα, επομένως είναι απαραίτητο να αναπτυχθεί ένα λεπτό επιταξιακό στρώμα υψηλής αντίστασης στο υπόστρωμα χαμηλής αντίστασης.Η επιταξιακή ανάπτυξη του νέου μονοκρυσταλλικού στρώματος μπορεί να διαφέρει από το υπόστρωμα όσον αφορά τον τύπο αγωγιμότητας, αντίσταση κ.λπ. και μπορούν επίσης να αναπτύξουν πολυστρωτούς μονοκρυστάλλους με διαφορετικό πάχος και διαφορετικές απαιτήσεις,Έτσι βελτιώνεται σημαντικά η ευελιξία του σχεδιασμού της συσκευής και η απόδοση της συσκευής.
15. συσκευασία
Η συσκευασία είναι η συσκευασία του τελικού εγκεκριμένου προϊόντος.
Συγγενικά προϊόντα ZMSH:
