Ο εξοπλισμός αυτός επιτρέπει τον ακριβή αραίωση εύθραυστων υλικών ημιαγωγών, όπως πυριτίου (Si), καρβιδίου πυριτίου (SiC), αρσενικού γαλλίου (GaAs) και υποστρώματος ζαφείριου.που επιτυγχάνει ακρίβεια ελέγχου πάχους ±1 μm και συνολική διακύμανση πάχους (TTV) ≤2 μm για την κάλυψη των αυστηρών απαιτήσεων της προηγμένης συσκευασίας και της κατασκευής συσκευών ισχύος.
Σύνοψη: Ανακαλύψτε το σύστημα αραίωσης κυψελών εξοπλισμός ακρίβειας αραίωσης, συμβατό με 4-12 ιντσών SiC, Si, GaAs, και ζαφείρι κυψέλες.Επιτυγχάνεται έλεγχος πάχους ±1 μm και TTV ≤2 μm για προηγμένη συσκευασία και κατασκευή συσκευών ισχύοςΟπτικοποιημένο για ημιαγωγούς μεγάλης ζώνης όπως το SiC.
Σχετικά χαρακτηριστικά προϊόντων:
Ακριβής λέπτυνση για εύθραυστα υλικά ημιαγωγών 4-12 ιντσών, συμπεριλαμβανομένων των Si, SiC, GaAs και ζαφειριού.
Επιτυγχάνει ακρίβεια ελέγχου πάχους ±1 μm και TTV ≤2 μm.
Βελτιωμένες παραμέτρους άλεσης και διαδικασίες γυαλισμού για τις διάφορες ιδιότητες υλικών.
Ενσωματωμένη αυτοματοποιημένη παρακολούθηση πάχους σε πραγματικό χρόνο για σταθερή απόδοση.
Προσαρμόσιμες λύσεις κενού για τα ακανόνιστα προϊόντα.
Υψηλής ακρίβειας αλεύρι In-Feed με ανώτερη ακρίβεια μηχανικής.
Εύκολη λειτουργία με εργονομικό HMI και ακριβή έλεγχο του άξονα Z.
Υποστηρίζει λειτουργίες πλήρους αυτόματης και ημιαυτόματης λειτουργίας με μέτρηση πάχους σε πραγματικό χρόνο.
FAQS:
Υποστηρίζει ο εξοπλισμός λέπτυνσης γκοφρετών προσαρμογή;
Ναι, παρέχουμε πλήρως εξατομικευμένες λύσεις, συμπεριλαμβανομένων εξειδικευμένων ελαττωμάτων για ακανόνιστες πλάκες και εξατομικευμένη ανάπτυξη συνταγών.
Ποια ακρίβεια ελέγχου πάχους μπορούν να επιτύχουν οι μηχανές αραίωσης πλακών;
Τα premium μοντέλα επιτυγχάνουν ομοιομορφία πάχους ± 0,5μm με TTV≤1μm (σύστημα παρακολούθησης πάχους με ίντερφερομετρία λέιζερ).
Ποια υλικά είναι συμβατά με το σύστημα αραίωσης κυψελών;
Το σύστημα είναι συμβατό με εύθραυστα ημιαγωγικά υλικά 4-12 ιντσών, συμπεριλαμβανομένου του πυριτίου (Si), του καρβιδίου του πυριτίου (SiC), του αρσενιδίου του γαλλίου (GaAs) και των υποστρωμάτων ζαφείρου.