>
>
2023-08-16
01
Co. ημιαγωγών Tongguang Hebei, ΕΠΕ
Αυτή τη στιγμή, η συνήθως χρησιμοποιημένη τεχνολογία για τη σύνθεση της high-purity σκόνης καρβιδίου του πυριτίου υιοθετεί κυρίως την υψηλής θερμοκρασίας στερεάς κατάστασης σύνθεση της high-purity σκόνης πυριτίου και της high-purity σκόνης άνθρακα, δηλαδή μόνος-διαδίδοντας την υψηλής θερμοκρασίας σύνθεση. Για να λύσει το πρόβλημα της υψηλής συγκέντρωσης ακαθαρσιών αζώτου στην παραδοσιακή σύνθεση μόνος-διάδοσης της σκόνης SIC, Co. ημιαγωγών Hebei Tongguang, το ΕΠΕ έχει εφεύρει μια χαμηλή μέθοδο σύνθεσης σκονών καρβιδίου του πυριτίου συγκέντρωσης ακαθαρσιών αζώτου που μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την αύξηση των high-purity ημι μονώνοντας ενιαίων κρυστάλλων SIC. Αυτή η μέθοδος χρησιμοποιεί τις ουσίες αφαίρεσης αζώτου που υποβάλλονται στις χημικές αντιδράσεις με τα στοιχεία αζώτου στις υψηλές θερμοκρασίες. Τα διαμορφωμένα νιτρίδια υπάρχουν σε μια σταθερή μορφή μέσα στη σειρά θερμοκρασίας της σύνθεσης καρβιδίου του πυριτίου, αποφεύγοντας αποτελεσματικά τις ακαθαρσίες αζώτου από την είσοδο του δικτυωτού πλέγματος καρβιδίου του πυριτίου. Σπάζει μέσω της τρέχουσας παραδοσιακής μεθόδου σύνθεσης πρώτων υλών καρβιδίου του πυριτίου και επιτυγχάνει τη σύνθεση των χαμηλών πρώτων υλών καρβιδίου του πυριτίου περιεκτικότητας σε άζωτο, με μια περιεκτικότητα σε άζωτο κάτω από 2 × 1016 pieces/cm3, η οποία είναι ιδιαίτερα κατάλληλη για την αύξηση των high-purity ημι μονώνοντας ενιαίων κρυστάλλων SIC.
Αυτή τη στιγμή, η αποτελεσματικότερη μέθοδος για τα κρύσταλλα SIC είναι η φυσική μέθοδος μεταφορών ατμού (PVT), και τα κρύσταλλα που διαμορφώνονται στα συστήματα εξάχνωσης έχουν τα χαμηλότερα επίπεδα ατέλειας, που κάνουν τους την κύρια εμπορική τεχνολογία μαζικής παραγωγής. Κατά χρησιμοποίηση της μεθόδου PVT για να αυξηθούν τα κρύσταλλα SIC, την εξοπλισμός αύξησης, τα από γραφίτη συστατικά, και τα υλικά μόνωσης δεν μπορούν να αποφύγουν μόλυνση από τις ακαθαρσίες αζώτου. Αυτά τα υλικά θα προσροφήσουν τις ακαθαρσίες ενός μεγάλου ποσού αζώτου, με συνέπεια ένα υψηλό περιεχόμενο των ακαθαρσιών αζώτου στα κρύσταλλα SIC που αυξάνονται.
Αυτή τη στιγμή, η αγνότητα των high-purity πρώτων υλών σκονών SIC παραχθεισών εμπορικά μπορεί γενικά μόνο να φθάσει σε 99,999%, με μια περιεκτικότητα σε άζωτο συνήθως 5% × Α το επίπεδο πάνω από 1016 units/cm3 έχει σοβαρές επιπτώσεις στην περιεκτικότητα σε άζωτο στο επόμενο προϊόν του - high-purity ημι μονώνοντας ενιαία κρύσταλλα καρβιδίου του πυριτίου. Επομένως, η μείωση της περιεκτικότητας σε ακαθαρσίες αζώτου στις πρώτες ύλες σκονών είναι μεγάλης σημασίας για την προετοιμασία των high-purity ημι μονώνοντας κρυστάλλων καρβιδίου του πυριτίου. Κατωτέρω, βασισμένος στις πληροφορίες διπλωμάτων ευρεσιτεχνίας διάφορων γνωστών επιχειρήσεων που αποκαλύπτονται από Tianyancha, οι σχετικές τεχνολογίες για την προετοιμασία της high-purity σκόνης καρβιδίου του πυριτίου εισάγονται.
Αυτή η μέθοδος περιλαμβάνει τα ακόλουθα βήματα:
(1) αναμίξτε την πρώτη ύλη πυριτίου και την πρώτη ύλη άνθρακα λεπτομερώς
(2) προσθέστε τις ουσίες αφαίρεσης αζώτου στο μίγμα πρώτων υλών πυριτίου και πρώτων υλών άνθρακα, και τοποθετήστε έπειτα τη χοάνη που περιέχει τις ουσίες αφαίρεσης αζώτου και τις πρώτες ύλες μιγμάτων πυριτίου άνθρακα στην αίθουσα αντίδρασης Το υλικό χοανών είναι high-purity γραφίτης, με μια αγνότητα πάνω από 99.9995%
(3) σκουπίστε την αίθουσα αντίδρασης με ηλεκτρική σκούπα για να μειώσετε το περιεχόμενο του οξυγόνου και του αζώτου στην αίθουσα αντίδρασης
(4) θερμάνετε την αίθουσα αντίδρασης, αυξήστε τη θερμοκρασία, και αναγκάστε την ουσία αφαίρεσης αζώτου για να αντιδράσετε με το στοιχείο αζώτου, που διαμορφώνει μια μορφή στερεών ή αερίου νιτριδίου που δεν θα αποσυνθέσει κάτω από 2400 ℃
(5) εγχύσετε το αδρανές αέριο στην αίθουσα αντίδρασης, διατηρεί την πίεση της αίθουσας αντίδρασης, βαθμιαία αύξηση που η θερμοκρασία της αίθουσας αντίδρασης, αναγκάζει στον άνθρακα την πρώτη ύλη και το πυρίτιο πρώτη ύλη για να αντιδράσει, να δροσίσει βαθμιαία στη θερμοκρασία δωματίου, και να τελειώσει την αντίδραση
(6) αφαιρέστε το νιτρίδιο από το αποκτηθε'ν καρβίδιο του πυριτίου για να λάβετε τη χαμηλή πρώτη ύλη καρβιδίου του πυριτίου περιεκτικότητας σε άζωτο.
02
Co. ημιαγωγών του Πεκίνου Tankblue, ΕΠΕ
Το Tianke Heda έχει εφεύρει μια μέθοδο προετοιμασιών για τη χαμηλή σκόνη καρβιδίου του πυριτίου περιεκτικότητας σε άζωτο και το ενιαίο κρύσταλλο καρβιδίου του πυριτίου. Η μέθοδος προετοιμασιών περιλαμβάνει τα ακόλουθα βήματα: αναμιγνύοντας τη high-purity σκόνη πυριτίου, τη high-purity από γραφίτη σκόνη, και την πτητική high-purity οργανική ουσία, και αφήνοντας την πτητική high-purity οργανική ουσία να εξατμίσει λιγότερο από σε 10% της αρχικής μάζας κάτω από μια αδρανή ατμόσφαιρα. Το μικτό υλικό είναι συμπυκνωμένο για να λάβει τη χαμηλή σκόνη καρβιδίου του πυριτίου περιεκτικότητας σε άζωτο. Η εφεύρεση χρησιμοποιεί τις πτητικές και high-purity οργανικές ενώσεις για να αφαιρέσει το άζωτο από την επιφάνεια των πρώτων υλών και των ορίων σιταριού κατά τη διάρκεια της προετοιμασίας της σκόνης καρβιδίου του πυριτίου, με αυτόν τον τρόπο μειώνοντας την περιεκτικότητα σε άζωτο στο προϊόν. Τα πειραματικά αποτελέσματα δείχνουν ότι η περιεκτικότητα σε άζωτο της σκόνης καρβιδίου του πυριτίου και του ενιαίου κρυστάλλου είναι λιγότερο από 5 × 1016 pieces/cm3.
03
Σύνθετη Co. ημιαγωγών Zhongdian, ΕΠΕ
Η σύνθετη Co. ημιαγωγών Zhongdian, ΕΠΕ έχει εφεύρει μια μέθοδο σύνθεσης για τη σκόνη καρβιδίου του πυριτίου, η οποία περιλαμβάνει: μίξη της high-purity σκόνης άνθρακα και της high-purity σκόνης πυριτίου, και φόρτωση τους σε μια από γραφίτη χοάνη. Η από γραφίτη χοάνη είναι ευθυγραμμισμένη με το φθοριωμένο γραφίτη, και η από γραφίτη χοάνη τοποθετείται στην κοιλότητα φούρνων Αυξήστε τη θερμοκρασία της αίθουσας φούρνων, και κατά τη διάρκεια της διαδικασίας θέρμανσης, ένα μίγμα υδρογόνου και το αδρανές αέριο εισάγονται στην αίθουσα φούρνων, και η φθοριωμένη από γραφίτη επένδυση αποσυνθέτει για να απελευθερώσει το φθοριωμένο αέριο Εξάγετε το αέριο από την αίθουσα φούρνων, αναγκάζοντας τη high-purity σκόνη άνθρακα για να αντιδράσει με τη high-purity σκόνη πυριτίου για να λάβει τα ενδιάμεσα προϊόντα Αυξήστε τη θερμοκρασία της αίθουσας φούρνων για να αναγκάσετε τα ενδιάμεσα προϊόντα φάσης για να αντιδράσει και να παραγάγει τη σκόνη καρβιδίου του πυριτίου. Με την παροχή μιας μεθόδου για τη σκόνη καρβιδίου του πυριτίου, η high-purity σκόνη καρβιδίου του πυριτίου μπορεί να ληφθεί.
04
Co. προηγμένης τεχνολογίας Shandong SICC, ΕΠΕ
Το Tianyue προηγμένο έχει εφεύρει μια συσκευή και μια μέθοδο για τη σκόνη καρβιδίου του πυριτίου, η οποία περιλαμβάνει: ένα σώμα φούρνων, με έναν πίνακα χωρισμάτων που εγκαθίσταται μέσα στο σώμα φούρνων. Όταν τον πίνακα χωρισμάτων κλείνουν, το μέρος μέσα στο σώμα φούρνων διαιρείται σε δύο μέρη Όταν το χώρισμα ανοίγουν, το σώμα φούρνων συνδέεται εσωτερικά Η επιφάνεια του ηλεκτροδίου καλύπτεται τουλάχιστον μερικώς με τις πρώτες ύλες πηγής άνθρακα Χοάνη, που τοποθετείται μέσα στο σώμα φούρνων Η χοάνη και το ηλεκτρόδιο υποβάλλονται στη σχετική μετατόπιση για να επιτρέψουν στο ηλεκτρόδιο για να εισαγάγουν ή να αφήσουν τη χοάνη. Κατά τη διάρκεια της διαδικασίας τήξης των πρώτων υλών πηγής πυριτίου, ένα χώρισμα χρησιμοποιείται για να χωρίσει τις πρώτες ύλες πηγής πυριτίου και τις πρώτες ύλες ανθράκωσης στο φούρνο, αποφεύγοντας την εξάτμιση του υγρού πυριτίου κατά τη διάρκεια της θέρμανσης και της κρυστάλλωσης στις πρώτες ύλες ανθράκωσης, η οποία έχει επιπτώσεις στην αύξηση της σκόνης και βελτιώνει την ποιότητα της αύξησης σκονών. Αυτή η μέθοδος μπορεί να αποτρέψει την εξάτμιση του υγρού πυριτίου κατά τη διάρκεια της διαδικασίας τήξης πυριτίου υλών και της κρυστάλλωσης πηγής των πρώτων στις ανθρακωμένες πρώτες ύλες με τον έλεγχο του ανοίγματος ή του κλεισίματος του χωρίσματος, με συνέπεια τη χαμηλή περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες αζώτου και άλλη περιεκτικότητα σε ακαθαρσίες στην αποκτηθείσα σκόνη. Μπορεί να χρησιμοποιηθεί για την προετοιμασία των high-purity κρυστάλλων καρβιδίου του πυριτίου.
Μας ελάτε σε επαφή με ανά πάσα στιγμή
